湿度传感器的制作方法

技术特征：
1.一种湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括：基板；共面波导信号线，悬设在所述基板上，所述共面波导信号线的长度大于其投影长度；第一共面波导地线和第二共面波导地线，分别设置在所述共面波导信号线两侧；第一匹配电阻和第二匹配电阻，分别将所述共面波导信号线与对应的共面波导地线连接；热电堆，与所述共面波导信号线相对间隔设置；至少一个湿度敏感元件，所述湿度敏感元件设置在所述共面波导信号线上。2.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感元件设置在所述共面波导信号线朝向所述第一共面波导地线的一侧；或，所述湿度敏感元件设置在所述共面波导信号线朝向所述第二共面波导地线的一侧。3.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括多个湿度敏感元件，其中，至少一个所述湿度敏感元件设置在所述共面波导信号线朝向所述第一共面波导地线的一侧，其余所述湿度敏感元件设置在所述共面波导信号线朝向所述第二共面波导地线的一侧。4.根据权利要求3所述的湿度传感器，其特征在于，所述多个湿度敏感元件交错对称分布于所述共面波导信号线的两侧。5.根据权利要求1至4任一项所述的湿度传感器，其特征在于，所述共面波导信号线的横截面呈s形。6.根据权利要求5所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感元件设置在s形共面波导信号线的最顶端或最底端。7.根据权利要求1至4任一项所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感元件采用水凝胶或者聚酰亚胺材料制作形成。8.根据权利要求1至4任一项所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度敏感元件的尺寸相同。9.根据权利要求1至4任一项所述的湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器还包括第一锚区和第二锚区，所述第一锚区靠近所述热电堆设置；所述共面波导信号线的第一端通过所述第一锚区与所述基板连接，所述共面波导信号线的第二端通过所述第二锚区与所述基板连接。10.根据权利要求9所述的湿度传感器，其特征在于，所述第一匹配电阻的第一端与所述第一共面波导地线连接，所述第一匹配电阻的第二端与所述第一锚区的第一端连接；所述第二匹配电阻的第一端与所述第二共面波导地线连接，所述第二匹配电阻的第二端与所述第一锚区的第二端连接。

技术总结
本发明提供一种湿度传感器，包括：基板；共面波导信号线，悬设在基板上，共面波导信号线的长度大于其投影长度；第一共面波导地线和第二共面波导地线，分别设置在共面波导信号线两侧；第一匹配电阻和第二匹配电阻，分别将共面波导信号线与对应的共面波导地线连接；热电堆，与共面波导信号线相对间隔设置；至少一个湿度敏感元件，湿度敏感元件设置在共面波导信号线上。本发明的湿度传感器，通过微电子加工工艺，结构尺寸的精度可以达到较高水平，体积大幅缩小，实现传感器的微型化；响应速度快，灵敏度高，结构新颖；测量方式简单，极大拓展了湿度传感器的实际适用性。度传感器的实际适用性。度传感器的实际适用性。


技术研发人员：李维平 兰之康 管武干 朱滨峰
受保护的技术使用者：南京高华科技股份有限公司
技术研发日：2022.04.14
技术公布日：2022/7/29