液体喷射头以及液体喷射装置的制作方法

1.本发明涉及一种喷射液滴的液体喷射头以及液体喷射装置，尤其是涉及一种作为液体而喷射油墨的喷墨式记录头以及喷墨式记录装置。


背景技术：

2.作为液体喷射头的代表例，可列举有作为液体而喷射油墨滴的喷墨式记录头。作为喷墨式记录头，例如已知有一种具备形成有与喷嘴连通的压力室的流道基板、和经由振动板而被设置于该流道基板的一个面侧的压电致动器，并且通过压电致动器而使压力室内的油墨产生压力变化，从而从喷嘴中喷射油墨滴的喷墨式记录头。
3.压电致动器具备被形成于流道形成基板的振动板上的第一电极、利用具有电气机械转换特性的压电材料而被形成于第一电极上的压电体层、和被设置于压电体层上的第二电极(例如，参照专利文献1)。
4.但是，存在有如下的问题，即，当为了增大从喷嘴中喷射的液滴的油墨重量而使振动板的杨氏模量降低时，振动板的共振频率也会降低，从而无法高速地实施油墨滴的连续的喷射。
5.另外，这样的问题不仅存在于喷墨式记录头中，在喷射除了油墨以外的液体的液体喷射头中也同样存在。
6.专利文献1：日本特开2017-139331号公报


技术实现要素：

7.解决上述课题的本发明在于，一种液体喷射头，其特征在于，其为压力室、具备第一振动板、第二振动板以及第三振动板的振动板、具备第一电极、压电体层以及第二电极的压电致动器依次层叠在一起的液体喷射头，在所述液体喷射头中，在从所述振动板和所述压电致动器的层叠方向进行的俯视观察中，所述压力室在第一方向上并排设置有多个，在所述第一方向上，在所述第一振动板和所述第二振动板中设置有层叠了所述压电体层和所述第三振动板的部分、和未层叠有所述压电体层和所述第三振动板的部分，所述第一振动板和所述第二振动板的一方具有压缩应力，另一方具有拉伸应力，所述第三振动板的杨氏模量大于所述第一振动板以及所述第二振动板的杨氏模量。
8.此外，本实施方式的另一方式在于，一种液体喷射装置，其特征在于，具备上述方式所述的液体喷射头。
附图说明
9.图1为本发明的实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。
10.图2为本发明的实施方式1所涉及的记录头的俯视图。
11.图3为本发明的实施方式1所涉及的记录头的剖视图。
12.图4为本发明的实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。
13.图5为本发明的实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。
14.图6为本发明的实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。
15.图7为本发明的实施方式2所涉及的记录头的主要部分剖视图。
16.图8为本发明的实施方式3所涉及的记录头的主要部分俯视图。
17.图9为本发明的实施方式3所涉及的记录头的主要部分剖视图。
18.图10为表示本发明的一个实施方式所涉及的记录装置的概要结构的图。
具体实施方式
19.在下文中，基于实施方式来对本发明进行详细地说明。但是，以下的说明为，表示本发明的一个方式的说明，在本发明的范围内能够任意地进行变更。在各附图中标记了相同符号的部件表示相同的部件，并且适当省略说明。此外，在各附图中，x、y、z表示相互正交的三个空间轴。在本说明书中，将沿着这些轴的方向设为x方向、y方向以及z方向。将各附图的箭头标记所朝向的方向设为正( )方向，将箭头标记的相反方向设为负(-)方向，从而进行说明。而且，对于没有限定正方向以及负方向的三个x、y、z空间轴而言，将设为x轴、y轴、z轴来进行说明。此外，z方向表示铅直方向， z方向表示铅直下方向，-z方向表示铅直上方向。
20.实施方式1
21.图1为在本发明的实施方式1中作为液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头的分解立体图。图2为记录头的俯视图。图3为图2的a-a’线剖视图。图4为图2的b-b’线剖视图。图5以及图6为对振动板的内部应力进行说明的剖视图。
22.如附图所示那样，在作为本实施方式的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头1(以下，也仅称为记录头1)中，作为“基板”的一个示例而具备流道形成基板10。流道形成基板10由硅基板、玻璃基板、soi(silicon-on-insulator：绝缘体上硅)基板、各种陶瓷基板构成。本实施方式的流道形成基板10由单晶硅构成。另外，流道形成基板10可以为(100)面优先取向的基板，也可以为(110)面优先取向的基板。
23.在流道形成基板10中，沿着作为“第一方向”的 x方向而并排配置有多个压力室12。也就是说，“第一方向”为压力室12的“并排设置方向”，且在本实施方式中，为 x方向。多个压力室12以 y方向的位置成为相同的位置的方式被配置在沿着 x方向的直线上。在 x方向上彼此相邻的压力室12通过隔壁11而被划分开来。当然，压力室12的配置并未被特别限定于此，例如，在于 x方向上并排配置的压力室12中，也可以采用每隔一个而配置在向 y方向偏移的位置上的、所谓交错配置。
24.此外，本实施方式的压力室12在从 z方向进行观察的俯视观察时，具有在与作为并排设置方向的 x方向交叉的方向上呈长条的长条形状。即，压力室12在从 z方向进行观察的俯视观察时，成为作为并排设置方向的 x方向为短边方向、与 x方向交叉的方向即本实施方式中的 y方向为长边方向的形状。此外，本实施方式的压力室12在从 z方向进行观察的俯视观察时，具有 y方向成为长边方向的长方形形状。当然，压力室12的从z方向进行观察的俯视观察时的形状并未被特别限定于此，压力室12也可以为平行四边形形状，也可以为以长方形形状为基础而将长边方向的两端部设为半圆形状的、所谓的圆角长方形状(别名也称为跑道形状)或椭圆形形状或卵形形状等卵形弧形状、或圆形形状、多边形形状
等。如此，压力室12能够通过从 z方向进行观察时将 x方向设为短边方向并将多个压力室12并排设置在 x方向上，从而将压力室12高密度地配置在流道形成基板10上。该压力室12相当于被设置在“基板”上的“凹部”。
25.在这样的流道形成基板10的压力室12的内壁面上，设置有具有耐液耐性、也就是具有耐油墨性的流道保护膜13。这里所说耐油墨性是指，针对碱性的油墨的耐蚀刻性。作为这样的流道保护膜13，例如能够使用将选自氧化钽(tao
x
)、氧化锆(zro
x
)、镍(ni)、铬(cr)的至少一种材料设为单层或者层叠而成的物体。此外，作为流道保护膜13，也可以设为使用树脂。在本实施方式中，作为流道保护膜13，而使用了五氧化钽(tao5)。
26.在流道形成基板10的 z方向侧处，依次层叠有连通板15和喷嘴板20。
27.在连通板15中，设置有将压力室12和喷嘴21连通的喷嘴连通通道16。
28.此外，在连通板15中，设置有构成歧管100的一部分的第一歧管部17和第二歧管部18，所述歧管100成为多个压力室12共同连通的共同液室。第一歧管部17以在 z方向上贯穿连通板15的方式被设置。此外，第二歧管部18以在 z方向上不贯穿连通板15而在 z方向侧的面上开口的方式被设置。
29.进一步地，在连通板15中，针对压力室12的每一个而独立地设置有与压力室12的y轴的端部连通的供给连通通道19。供给连通通道19将第二歧管部18和压力室12连通，从而将歧管100内的油墨供给至压力室12。
30.作为这样的连通板15，能够使用硅基板、玻璃基板、soi基板、各种陶瓷基板、不锈钢基板等的金属基板等。另外，优选为，连通板15使用与流道形成基板10的热膨胀率大致相同的材料。通过以此方式使流道形成基板10和连通板15使用热膨胀率大致相同的材料，从而能够减少由于热膨胀率的差异而因热而产生翘曲的情况。
31.喷嘴板20被设置于，连通板15的与流道形成基板10相反一侧、也就是 z方向侧的面上。
32.在喷嘴板20上，形成有经由喷嘴连通通道16而与各个压力室12连通的喷嘴21。在本实施方式中，对于多个喷嘴21而言，以沿着 x方向而成为一列的方式被并排配置的喷嘴列在 y方向上分离设置有两列。即，各个列的多个喷嘴21以 y方向的位置成为相同的位置的方式被配置。当然，喷嘴21的配置并未被特别限定于此，例如，也可以设为在被并排配置于 x方向上的喷嘴21中，每隔一个而配置于向 y方向偏移的位置上的、所谓交错配置。作为这样的喷嘴板20，能够使用硅基板、玻璃基板、soi基板、各种陶瓷基板、不锈钢基板等金属基板、如聚酰亚胺树脂那样的有机物等。另外，优选为，喷嘴板20使用与连通板15的热膨胀率大致相同的材料。通过以此方式使喷嘴板20和连通板15使用热膨胀率大致相同的材料，从而减少由于热膨胀率的差异而因热而产生翘曲的情况。
33.此外，在连通板15的-z方向侧的面上，固定有外壳部件40。在外壳部件40中，设置有与第一歧管部17连通的第三歧管部42。并且，通过被设置于连通板15中的第一歧管部17以及第二歧管部18、和被设置于外壳部件40中的第三歧管部42，从而构成了本实施方式的歧管100。歧管100以跨及压力室12被并排配置的方向即 x方向而连续的方式被设置，将各个压力室12和歧管100连通的供给连通通道19在 x方向上被并排配置。此外，在外壳部件40上，设置有用于与歧管100连通并向各个歧管100供给油墨的导入口44。此外，在外壳部件40上，设置有与详细情况将在后文所述的保护基板30的贯穿孔32连通从而供配线基板120插
穿的连接口43。
34.此外，在连通板15的第一歧管部17以及第二歧管部18所开口的 z方向侧的面上，设置有可塑性基板45。该可塑性基板45对第一歧管部17和第二歧管部18的 z方向侧的开口进行密封。在本实施方式中，这样的可塑性基板45具备由具有可挠性的薄膜构成的密封膜46、和由金属等硬质的材料构成的固定基板47。由于固定基板47的与歧管100对置的区域成为在厚度方向上被完全去除的开口部48，因此歧管100的一个面成为仅被具有可挠性的密封膜46所密封的可挠部即可塑性部49。通过该可塑性部49进行挠曲变形从而吸收歧管100内的油墨的压力变动。
35.在流道形成基板10的-z方向侧的面上，依次层叠有振动板50、和具有第一电极60、压电体层70以及第二电极80的压电致动器300。也就是说，压力室12、振动板50、第一电极60、压电体层70以及第二电极80朝向-z方向而以次顺序被并排配置。
36.振动板50具备第一振动板51、第二振动板52和第三振动板53。第一振动板51、第二振动板52和第三振动板53朝向-z方向而以该顺序被层叠在一起。
37.第一振动板51为被设置于流道形成基板10的-z方向侧的面上的振动板，并且以跨及流道形成基板10的-z方向侧的整个面而连续的方式被设置。即，第一振动板51与由单晶硅构成的流道形成基板10的隔壁11相接。也就是说，第一振动板51被直接设置于流道形成基板10的-z方向侧的面上。在本实施方式中，第一振动板51以跨及流道形成基板10的-z方向侧的面的整个面的方式被设置。
38.第二振动板52被设置于第一振动板51的-z方向侧的面上。第二振动板52以跨及第一振动板51的-z方向侧的面的整个面而连续的方式被设置。
39.第三振动板53为被设置于第二振动板52的-z方向侧的面上的振动板。第三振动板53在从 z方向进行俯视观察时，在与压力室12重叠的部分处被局部地设置于压力室12的并排设置方向且作为短边方向的 x方向上。也就是说，振动板50存在有在 x方向上第一振动板51、第二振动板52以及第三振动板53层叠而成的部分、和未设置第三振动板53而第一振动板51以及第二振动板52层叠而成的部分。在此，在本实施方式中，将振动板50中的与压力室12对置的区域称为可挠区域p。将可挠区域p中的、在 z方向上观察时 x方向的与作为压力室12的端部的壁面相比靠内侧且不包含压力室12的中心部的区域称为边缘部p1。此外，将可挠区域p中的、除了边缘部p1以外的区域称为中央部p2。并且，在本实施方式中，在中央部p2上层叠有第一振动板51、第二振动板52以及第三振动板53。此外，在边缘部p1上，未设置有第三振动板53，而是层叠有第一振动板51和第二振动板52。换而言之，第三振动板53在 z方向上，在与压力室12对置的区域内，仅被设置在压力室12的并排设置方向且作为短边方向的 x方向的中央部p2上。此外，第三振动板53并未被形成在于 z方向上与压力室12对置的区域内的沿着x轴的方向的两端部、也就是作为 x方向侧的端部以及-x方向侧的端部的边缘部p1上，此处仅层叠有第一振动板51以及第二振动板52。
40.第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量s1、s2小于第三振动板53的杨氏模量s3。即，满足s1＜s3、s2＜s3的关系。在此，第一振动板51以及第二振动板52中的至少一方包含氧化硅或者硅。在此，所谓第一振动板51以及第二振动板52包含氧化硅或者硅，只要是作为主要成分而包含氧化硅或者硅即可，也可以包含其他材料。另外，所谓对于第一振动板51以及第二振动板52的主要成分而言作为主要成分而包含氧化硅或者硅是指，第一振动板51
以及第二振动板52各自所包含的氧化硅或者硅为质量百分比50％以上。这样的包含氧化硅或者硅的第一振动板51以及第二振动板52通常是非晶形(非晶质)的。这样的第一振动板51以及第二振动板52由二氧化硅(sio2)构成。
41.本实施方式的压力室12等的流道通过从 z方向侧的面起对流道形成基板10进行各向异性蚀刻从而被形成，压力室12的-z方向侧的面通过第一振动板51而被划分形成。即，通过作为振动板50而在流道形成基板10侧设置包含氧化硅的第一振动板51，从而在从与振动板50相反面侧对流道形成基板10进行使用了koh等碱性溶液的各向异性蚀刻时，能够将第一振动板51作为蚀刻停止层来使用。因此，能够在流道形成基板10上通过各向异性蚀刻从而高密度且高精度地形成压力室12，并且能够抑制在振动板50的厚度上产生偏差的情况。当然，压力室12的形成方法并未被限定于各向异性蚀刻，也可以为干法蚀刻等。此外，第一振动板51并不被限定于氧化硅的振动板。作为第一振动板51，例如，也可以设为使用流道形成基板10的一部分。也就是说，作为第一振动板51，也可以设为使用硅基板、玻璃基板、soi基板、各种陶瓷基板。此外，例如，作为第一振动板51，也可以设为使用二氧化锆(zro2)等氧化锆(zro
x
)、氮化硅(si3n4)、氧化钛(tio
x
)、氧化铝(al2o3)、氧化铪(hfo
x
)、氧化镁(mgo)、铝酸镧(laalo3)。此外，作为第一振动板51，也可以设为使用聚酰亚胺、聚对二甲苯基等有机膜。另外，第一振动板51并未被限定于非晶质(非晶形)的材料，也可以为单晶硅等具有优先取向的结晶结构的材料。对于第二振动板52而言，也与第一振动板51相同。也就是说，优选为，第一振动板51以及第二振动板52中的至少一方为非晶质。通过以此方式将第一振动板51以及第二振动板52设为非晶质，从而能够使第一振动板51以及第二振动板52易于发生位移而难以碎裂。
42.此外，优选为，第一振动板51由热氧化膜构成。也就是说，通过使与第一振动板51相接的流道形成基板10的多个隔壁11由单晶硅构成，使第一振动板51由热氧化膜构成，从而能够提高隔壁11和第一振动板51的紧贴性。
43.在这样的第一振动板51以及第二振动板52中，一方具有压缩应力，另一方具有拉伸应力。也就是说，存在如图5所示那样第一振动板51具有压缩应力且第二振动板52具有拉伸应力的情况、和如图6所示那样第一振动板51具有拉伸应力且第二振动板52具有压缩应力的情况。另外，所谓第一振动板51以及第二振动板52中的一方具有压缩应力是指，内部应力成为压缩应力。同样地，所谓第一振动板51以及第二振动板52中的另一方具有拉伸应力是指，内部应力成为拉伸应力。
44.此外，如图5所示那样，在第一振动板51具有压缩应力、且第二振动板52具有拉伸应力的情况下，优选为，第一振动板51的沿着z轴的厚度d1大于第二振动板52的厚度d2(d1＞d2)。这是由于，一般情况下，压缩应力膜一方与拉伸应力膜相比容易发生位移。因此，通过使压缩应力的第一振动板51的厚度d1厚于拉伸应力的第二振动板52的厚度d2，从而能够更加增大振动板50的位移。
45.此外，如图6所示那样，在第一振动板51具有拉伸应力、且第二振动板52具有压缩应力的情况下，优选为，第二振动板52的厚度d2大于第一振动板51的厚度d1(d2＞d1)。也就是说，通过使压缩应力第二振动板52的厚度d2厚于拉伸应力的第一振动板51的厚度d1，从而能够更加增大振动板50的位移。
46.另外，由于如图5所示那样第一振动板51具有压缩应力且第二振动板52具有拉伸
应力的结构，与图6的结构相比，振动板50易于向压力室12侧即 z方向呈凸状地位移并且位移量变大，因此能够增大从喷嘴21被喷射的油墨滴的重量或者加快油墨滴的飞翔速度。
47.此外，由于如图6所示那样第一振动板51具有拉伸应力且第二振动板52具有压缩应力的结构，振动板50易于向与压力室12相反一侧即-z方向呈凸状地位移并且位移量变大，因此弯液面的撕扯会变得容易。
48.在此，如上述那样，第三振动板53的杨氏模量s3大于第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量s1、s2。也就是说，满足s3＞s1、s3＞s2的关系。因此，能够增大振动板50整体的杨氏模量，并能够抑制振动板50的共振频率的降低。顺便说明一下，虽然当在振动板50中未设置第三振动板53而仅设置第一振动板51以及第二振动板52的情况下，能够增大振动板50的位移量，但是振动板50整体的杨氏模量会降低，并且共振频率降低。在本实施方式中，通过将与第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量相比而杨氏模量较高的第三振动板53局部地设置在与压力室12对置的区域中，从而能够在提高振动板50的位移量的同时抑制共振频率降低的情况。
49.优选为，这样的第三振动板53使用也作为扩散防止层而发挥功能的材料，所述扩散防止层对压电体层70的成分向第二振动板52、第一振动板51以及流道形成基板10侧扩散的情况进行抑制。作为第三振动板53的材料，例如可列举出包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、包含硅的氮氧化物等。在本实施方式中，作为包含锆的氧化物而使用了二氧化锆(zro2)。另外，所谓第三振动板53为包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、包含硅的氮氧化物，只要是第三振动板53作为主要成分而包括包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、或者包含硅的氮氧化物即可，也可以包括其他材料。另外，所谓第三振动板53的主要成分为包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、包含硅的氮氧化物是指，第三振动板53中所包括的包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、包含硅的氮氧化物为质量百分比50％以上。在本实施方式中，作为第三振动板53而使用了二氧化锆(zro2)。通过以此方式设置包含氧化锆的第三振动板53，从而能够抑制压电体层70中所包含的成分例如铅(pb)或铋(bi)等向与第三振动板53相比靠下方、也就是第一振动板51、第二振动板52以及流道形成基板10扩散的情况。因此，通过设置包含氧化锆的第三振动板53，从而能够抑制因压电体层70中所包含的成分向第一振动板51、第二振动板52以及流道形成基板10扩散而产生的刚性的降低等不良状况。此外，通过设置包含氧化锆的第三振动板53，从而能够抑制被设置于与第三振动板53相比靠 z方向侧的第一振动板51、第二振动板52以及流道形成基板10等中所包含的成分向压电体层70侧扩散的情况。
50.此外，优选为，第三振动板53使用具有绝缘性的材料。通过由具有绝缘性的材料来构成第三振动板53，从而能够抑制针对详细情况将在后文叙述的每个活性部310而设置的第一电极60彼此由于第三振动板53而发生短路的情况。顺便说明一下，即使在第一电极60被构成作为多个活性部310的共同电极的情况下，也由于如果第三振动板53具有导电性，则在第一电极60以外的部分处第三振动板53会对压电体层70施加电场，因此对于第三振动板53而言，优选具有绝缘性的材料。
51.在这样的振动板50的-z方向侧的面上，设置有压电致动器300，所述压电致动器300使振动板50进行挠曲变形，从而使压力室12内的油墨产生压力变化。压电致动器300具备从作为振动板50侧的 z方向侧起朝向-z方向侧而被依次层叠的第一电极60、压电体层70
和第二电极80。压电致动器300成为使压力室12内的油墨产生压力变化的压力产生单元。这样的压电致动器300也称为压电元件，是指包含第一电极60、压电体层70和第二电极80的部分。此外，将在第一电极60与第二电极80之间施加电压时在压电体层70中产生压电应变的部分称为活性部310。相对于此，将在压电体层70中未产生压电应变的部分称为非活性部。即，活性部310是指，压电体层70被第一电极60和第二电极80夹持的部分。在本实施方式中，针对每个作为凹部的压力室12而形成有活性部310。也就是说，在压电致动器300中会形成有多个活性部310。而且，一般情况下，将活性部310的任意一方的电极构成作为针对每个活性部310而独立的独立电极，将另一方的电极构成作为多个活性部310中共同的共同电极。在本实施方式中，第一电极60构成独立电极，第二电极80构成共同电极。当然，第一电极60也可以构成共同电极，第二电极80也可以构成独立电极。该压电致动器300中的、在z轴上与压力室12对置的部分成为可挠部，压力室12的外侧部分成为非可挠部。
52.具体而言，如图2以及图3所示那样，第一电极60针对每个压力室12而被切分开来从而构成针对每个活性部310而独立的独立电极。第一电极60在 x方向上，以窄于压力室12的宽度的宽度而被形成。即，在 x方向上，第一电极60的端部位于与压力室12对置的区域的内侧处。此外，如图3所示那样，在第一电极60的y轴上，喷嘴21侧的端部被配置于与压力室12相比靠外侧处。在该第一电极60的被配置于在y轴上与压力室12相比靠外侧的端部上，连接有作为引出配线的独立引线电极91。
53.作为这样的第一电极60而为具有导电性的材料，例如可列举出铱(ir)、铂(pt)、钯(pd)、金(au)、镍(ni)、铬(cr)、镍铬(nicr)、钨(w)、钛(ti)、氧化钛(tio
x
)、钨钛(tiw)等。
54.如图2～图4所示那样，压电体层70以 y方向的宽度为预定的宽度、且以跨及 x方向而连续的方式被设置。压电体层70的 y方向的宽度长于作为压力室12的长边方向的 y方向的长度。因此，在压力室12的 y方向以及-y方向的两侧处，压电体层70延伸设置直至与压力室12对置的区域的外侧为止。这样的压电体层70的在y轴上与喷嘴21相反一侧的端部位于与第一电极60的端部相比靠外侧处。即，第一电极60的与喷嘴21相反一侧的端部被压电体层70所覆盖。此外，压电体层70的喷嘴21侧的端部位于与第一电极60的端部相比靠内侧处，第一电极60的喷嘴21侧的端部并未被压电体层70覆盖。另外，在第一电极60的延伸设置至压电体层70的外侧为止的端部上，连接有如上文所述那样由金(au)等构成的独立引线电极91。
55.此外，在压电体层70上，形成有与各个隔壁11相对应的凹部71。该凹部71的 x方向的宽度宽于隔壁11的宽度。此外，凹部71以在作为厚度方向的 z方向上贯穿压电体层70以及第三振动板53的方式而被设置。即，压电体层70以 x方向的宽度为与第三振动板53相同的宽度而被设置，第三振动板53的 x方向的宽度通过凹部71而被规定。也就是说，通过使凹部71的 x方向的宽度大于隔壁11的宽度，从而在振动板50中形成了层叠有第一振动板51、第二振动板52以及第三振动板53的中央部p2、和未层叠有第三振动板53而层叠有第一振动板51以及第二振动板52的边缘部p1。由于通过以此方式设置凹部71，从而抑制了振动板50的与压力室12的 x方向以及-x方向的端部对置的部分、所谓振动板50的臂部的刚性，因此能够使压电致动器300良好地位移。此外，如上文所述那样，压电体层70仅被设置于振动板50的形成有第三振动板53的中央部p2处，并未被设置于未形成有第三振动板53的边缘部p1处。因此，即使在边缘部p1上未形成有第三振动板53，也能够抑制压电体层70的成分向第二
振动板52、第一振动板51以及流道形成基板10扩散的情况。
56.另外，优选为，被设置于上述的压力室12的内壁处的流道保护膜13的杨氏模量小于第三振动板53的杨氏模量。在本实施方式中，作为流道保护膜13而使用的五氧化钽的杨氏模量为130gpa左右，作为第三振动板53而使用的二氧化锆的杨氏模量为210gpa左右。通过以此方式使流道保护膜13的杨氏模量小于第三振动板53的杨氏模量，从而能够抑制振动板50的位移降低。
57.这样的压电体层70使用由以通式abo3所表示的钙钛矿结构的复合氧化物组成的压电材料来构成。在本实施方式中，作为压电材料而使用了锆钛酸铅(pzt；pb(zr，ti)o3)。通过在压电材料中使用pzt，从而可得到压电常数d31较大的压电体层70。
58.在以通式abo3所表示的钙钛矿结构的复合氧化物中，在a位点处氧配位12，在b位点处氧配位6，从而制成8面体(八面体)。在本实施方式中，铅(pb)位于a位点，锆(zr)以及钛(ti)位于b位点。
59.压电材料并未被限定于上述的pzt。也可以在a位点或b位点中包含其他元素。例如，压电材料也可以为钛酸锆钡(ba(zr，ti)o3)、锆钛酸铅镧((pb，la)(zr，ti)o3)、铌镁锆钛酸铅(pb(zr，ti)(mg，nb)o3)、包含硅的铌锆钛酸铅(pb(zr，ti，nb)o3)等钙钛矿材料。
60.此外，压电材料也可以为抑制了pb的含有量的材料即所谓的低铅类材料、或者不使用pb的材料即所谓的非铅类材料。如果作为压电材料而使用低铅类材料，则能够减少pb的使用量。此外，如果作为压电材料而使用非铅类材料，则不使用pb也可以。因此，通过作为压电材料而使用低铅类材料或非铅类材料，从而能够减少环境负荷。
61.作为非铅类压电材料，例如可列举出包含铁酸铋(bfo；bifeo3)的bfo类材料。在bfo中，铋(bi)位于a位点，铁(fe)位于b位点。在bfo中，也可以添加其他元素。例如，在bfo中，也可以添加选自锰(mn)、铝(al)、镧(la)、钡(ba)、钛(ti)、钴(co)、铈(ce)、钐(sm)、铬(cr)、钾(k)、锂(li)、钙(ca)、锶(sr)、钒(v)、铌(nb)、钽(ta)、钼(mo)、钨(w)、镍(ni)、锌(zn)、镨(pr)、钕(nd)、铕(eu)的至少一种元素。
62.此外，作为非铅类压电材料的其他示例，可列举出包含铌酸钠(knn；knanbo3)的knn类材料。在knn中，也可以添加其他的元素。例如，在knn中，也可以添加选自锰(mn)、锂(li)、钡(ba)、钙(ca)、锶(sr)、锆(zr)、钛(ti)、铋(bi)、钽(ta)、锑(sb)、铁(fe)、钴(co)、銀(ag)、镁(mg)、锌(zn)、铜(cu)、钒(v)、铬(cr)、钼(mo)、钨(w)、镍(ni)、铝(al)、硅(si)、镧(la)、铈(ce)、镨(pr)、钕(nd)、钷(pm)、钐(sm)、以及铕(eu)的至少一种元素。
63.在压电材料中，也包含具有元素的一部分缺损的组分的材料、具有元素的一部分过剩的组分的材料、以及具有元素的一部分被置换为其他元素的组分的材料。只要压电体层70的基本的特性不变，则因缺损或过剩而偏离了化学计量的组成的材料、或元素的一部分被置换为其他元素的材料也被包含在本实施方式所涉及的压电材料中。当然，在本实施方式中可使用的压电材料并未被限定于包括上述那样的pb、bi、na、k等的材料。
64.如图2～图4所示那样，第二电极80在压电体层70的与第一电极60相反一侧即-z方向侧以连续的方式被设置，并且构成在多个活性部310中共同的共同电极。第二电极80以 y方向成为预定的宽度的方式跨及 x方向而连续地被设置。此外，第二电极80也被设置于凹部71的内表面、也就是压电体层70的凹部71的侧面上以及作为凹部71的底面的第二振动板52上。当然，第二电极80也可以设为仅被设置于凹部71的内表面的一部分上，也可以设为不
设置于凹部71的内表面的整个面上。
65.此外，从第一电极60上引出作为引出配线的独立引线电极91。此外，从第二电极80上引出作为引出配线的共同引线电极92。在这些独立引线电极91以及共同引线电极92的与压电致动器300连接的端部的相反侧的端部上，连接有具有可挠性的配线基板120。在配线基板120上安装有驱动电路121，所述驱动电路121具有用于对压电致动器300进行驱动的开关元件。
66.如图1以及图3所示那样，在形成有这样的压电致动器300的流道形成基板10的-z方向侧的面上，接合有具有与流道形成基板10大致相同的大小的保护基板30。保护基板30具有对压电致动器300进行保护的空间即保持部31。保持部31为，针对在 x方向上被并排配置的压电致动器300的每一列而被独立设置的部件，并且在 y方向上并排形成有两个。此外，在保护基板30上，在于 y方向上被并排配置的两个保持部31之间设置有在 z方向上贯穿的贯穿孔32。从压电致动器300的电极上被引出的独立引线电极91以及共同引线电极92的端部以在该贯穿孔32内露出的方式被延伸设置，独立引线电极91以及共同引线电极92和配线基板120在贯穿孔32内被电连接。
67.此外，如图3所示那样，在保护基板30上固定有外壳部件40，所述外壳部件40与流道形成基板10一起划分形成了与多个压力室12连通的歧管100。外壳部件40在俯视观察时具有与上述的连通板15大致相同的形状，所述外壳部件40与保护基板30接合，并且也与上述的连通板15接合。在本实施方式中，外壳部件40与连通板15接合。此外，虽然没有特别地进行图示，但外壳部件40和保护基板30也被接合在一起。
68.这样的外壳部件40具有在保护基板30侧收纳有流道形成基板10以及保护基板30的深度的凹部41。该凹部41具有与保护基板30的与流道形成基板10接合的面相比较大的开口面积。并且，在于凹部41中收纳有流道形成基板10等的状态下，凹部41的喷嘴板20侧的开口面通过连通板15而被密封。由此，在流道形成基板10的外周部处，通过外壳部件40和流道形成基板10从而划分形成了第三歧管部42。并且，通过被设置于连通板15上的第一歧管部17以及第二歧管部18、和由外壳部件40和流道形成基板10划分形成的第三歧管部42，从而构成了本实施方式的歧管100。歧管100以跨及压力室12的并排配置的方向即 x方向而连续的方式被设置，并且将各个压力室12和歧管100连通的供给连通通道19在 x方向上被并排配置。
69.此外，在连通板15的开口有第一歧管部17以及第二歧管部18的 z侧的面上，设置有可塑性基板45。该可塑性基板45对第一歧管部17和第二歧管部18的液体喷射面20a侧的开口进行密封。在本实施方式中，这样的可塑性基板45具备由具有可挠性的薄膜构成的密封膜46、和由金属等硬质的材料构成的固定基板47。由于固定基板47的与歧管100对置的区域成为在厚度方向上被完全去除的开口部48，因此歧管100的一个面成为仅被具有可挠性的密封膜46所密封的可挠部即可塑性部49。
70.如以上说明的那样，在作为本发明的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头1中，依次层叠有压力室12、具备第一振动板51、第二振动板52以及第三振动板53的振动板50、具备第一电极60、压电体层70以及第二电极80的压电致动器300。此外，在喷墨式记录头1中，在从作为层叠方向的 z方向进行的俯视观察时，在作为第一方向的 x方向上并排设置有多个压力室12。此外，在喷墨式记录头1中，在 x方向上，在第一振动板51和第二振动板52中，
设置有层叠了压电体层70和第三振动板53的部分即中央部p2、和没有层叠压电体层70和第三振动板53的部分即边缘部p1。此外，在喷墨式记录头1中，第一振动板51和第二振动板52的一方具有压缩应力，另一方具有拉伸应力。并且，在喷墨式记录头1中，第三振动板53的杨氏模量大于第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量。
71.以此方式，通过在振动板50中设置层叠了第一振动板51、第二振动板52、第三振动板53的中央部p2、和没有层叠第三振动板53的边缘部p1，从而能够提高振动板50的位移量、也就是以较小的电压得到较大的位移。特别是，通过使第三振动板53的杨氏模量大于第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量，从而能够提高振动板50的没有设置第三振动板53的部分的位移量，并能够增大油墨滴的重量、或提高油墨滴的飞翔速度。
72.此外，由于第一振动板51和第二振动板52的一方具有压缩应力、另一方具有拉伸应力，因此在振动板50的没有设置第三振动板53的部分处能够取得应力平衡，因此能够抑制在振动板50位移时振动板50被破坏的情况。
73.进一步地，通过在振动板50中设置具有与第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量相比较大的杨氏模量的第三振动板53，从而能够提高振动板50的共振频率，提高驱动频率，并在短时间内实施油墨滴的连续喷射。一般情况下，由于位移量和共振频率成为此消彼长的关系，因此当为了增大振动板50的位移量而使用杨氏模量较小的材料时，共振频率变小。相反地，当为了增大振动板50的共振频率而使用杨氏模量较大的材料时，存在振动板50的位移量变小且被喷射的油墨滴的重量变小的情况，或者为了使振动板50位移而需要向压电致动器300施加较大的电压。在本实施方式中，通过设置形成有第三振动板53的部分、和没有形成第三振动板53的部分，从而能够增大振动板50的位移量并且增大共振频率。
74.此外，在本实施方式的喷墨式记录头中，优选为，没有层叠压电体层70以及第三振动板53的部分为，与作为第一方向的 x方向的压力室12的两端部相对应的部分即边缘部p1。由此，由于抑制了振动板50的与压力室12的 x方向以及-x方向的两端部相对置的部分、所谓振动板50的臂部的刚性，因此能够使压电致动器300良好地进行位移。
75.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第一振动板51由热氧化膜构成，隔开多个压力室12的隔壁11由单晶硅构成，第一振动板51和隔壁11相接。通过以此方式由热氧化膜来构成与单晶硅的隔壁11相接的第一振动板51，从而能够提高隔壁11和第一振动板51的紧贴性，从而抑制产生剥离等不良现象的情况。
76.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，在压力室12的内壁上，形成有流道保护膜13，并且流道保护膜13的杨氏模量小于第三振动板53的杨氏模量。通过以此方式使流道保护膜13的杨氏模量小于第三振动板53的杨氏模量，从而能够抑制因流道保护膜13而使振动板50的位移显著降低的情况。
77.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，压电体层70包含铅，第三振动板53为包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、或者包含硅的酸性氮化物，第一振动板51和第二振动板52的至少一方包含氧化硅或者硅。以此方式，通过在压电体层70与第二振动板52之间设置包含锆的氧化物、包含硅的氮化物、或者包含硅的酸性氮化物的第三振动板53，从而能够抑制压电体层70中所包含的铅向与第三振动板53相比靠第二振动板52侧扩散的情况。此外，由于在没有形成第三振动板53的部分即边缘部p1中也没有形成压电体层70，因此能够抑制压电体层70中所包含的铅向第二振动板52以及第一振动板51扩散的情况。
78.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第一振动板51和第二振动板52的至少一方为非晶质。通过将第一振动板51以及第二振动板52设为非晶质，从而能够使振动板50易于进行位移，从而难以产生裂纹。
79.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第一振动板51具有压缩应力，第二振动板52具有拉伸应力。以此方式，通过使第一振动板51具有压缩应力、第二振动板52具有拉伸应力，从而能够使振动板50易于呈凸状地向压力室12侧进行位移并使位移量较大。因此，能够增大从喷嘴21喷射的油墨滴的重量或者加快油墨滴的飞翔速度。
80.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第一振动板51的厚度d1大于第二振动板52的厚度d2。这是说，一般情况下，压缩应力膜一方与拉伸应力膜相比易于进行位移。因此，通过使具有压缩应力的第一振动板51的厚度d1厚于具有拉伸应力的第二振动板52的厚度d2，从而能够更加增大振动板50的位移。
81.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第一振动板51具有拉伸应力，第二振动板52具有压缩应力。以此方式，通过使第一振动板51具有拉伸应力、第二振动板52具有压缩应力，从而能够使振动板50呈凸状地向作为与压力室12侧相反一侧的-z方向进行位移并使位移量较大。因此，能够使从喷嘴21被喷射的油墨滴易于从弯液面上撕扯下。
82.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，优选为，第二振动板52的厚度d2大于第一振动板51的厚度d1。这是说，一般情况下，压缩应力膜一方与拉伸应力膜相比易于进行位移。因此，通过使具有压缩应力的第二振动板52的厚度d2厚于具有拉伸应力的第一振动板51的厚度d1，从而能够更加增大振动板50的位移。
83.实施方式2
84.图7为，作为本发明的实施方式2所涉及的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头的主要部分剖视图。另外，对与上述的实施方式相同的部件标记相同的符号，并省略重复的说明。
85.如图7所示那样，凹部71以达到作为第二振动板52的厚度方向的 z方向的中途的深度被形成。即，在凹部71的 z方向的底面上，第二振动板52的一部以残留的方式被形成。也就是说，在凹部71的底面上，形成有第一振动板51和第二振动板52的厚度方向的一部分。
86.这样的凹部71以及振动板50例如能够在通过蚀刻来形成压电体层70以及第三振动板53时，通过利用过度蚀刻来同时去除第二振动板52的一部分，从而形成。
87.即使是这样的结构，也与上述的实施方式1同样地，通过在振动板50中设置层叠了第一振动板51、第二振动板52、第三振动板53的中央部p2、和没有层叠第三振动板53的边缘部p1，从而提高振动板50的位移量、也就是以较小的电压得到较大的位移。特别是，通过使第三振动板53的杨氏模量大于第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量，从而能够提高振动板50的没有设置第三振动板53的部分的位移量，并能够增大油墨滴的重量或者提高油墨滴的飞翔速度。
88.此外，由于第一振动板51和第二振动板52的一方具有压缩应力、另一方具有拉伸应力，因此能够在振动板50的没有设置第三振动板53的部分处取得应力平衡，并能够抑制在振动板50的位移时振动板50被破坏的情况。
89.进一步地，通过在振动板50中设置具有与第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量相比较大的杨氏模量的第三振动板53，从而能够提高振动板50的共振频率，提高驱动
频率，并在短时间内实施油墨滴的连续喷射。由于一般情况下位移量和共振频率成为此消彼长的关系，因此当为了增大振动板50的位移量而使用杨氏模量较小的材料时，共振频率变小。相反地，当为了增大振动板50的共振频率而使用杨氏模量较大的材料时，存在振动板50的位移量变小且被喷射的油墨滴的重量变小的情况，或者为了使振动板50位移而需要对压电致动器300施加较大的电压。在本实施方式中，通过设置形成了第三振动板53的部分、和没有形成第三振动板53的部分，从而能够增大振动板50的位移量并且增大共振频率。
90.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，与层叠有压电体层70以及第三振动板53的中央部p2相比，在没有层叠压电体层70以及第三振动板53的边缘部p1处，第一振动板51和第二振动板52的至少一方变薄。
91.以此方式，通过在没有形成第三振动板53以及压电体层70的部分即边缘部p1处减薄第一振动板51以及第二振动板52的至少一方的厚度，从而能够进一步提高振动板50的位移量。另外，虽然在本实施方式中，设为在边缘部p1处减薄第二振动板52的厚度，但并未被特别限定于此，也可以设为在边缘部p1处使第一振动板51的厚度薄于中央部p2。
92.实施方式3
93.图8为作为本发明的实施方式3所涉及的液体喷射头的一个示例的喷墨式记录头的主要部分俯视图。图9为图8的c-c’线剖视图。另外，对与上述的实施方式相同的部件标记相同的符号，并省略重复的说明。
94.如附图所示那样，在流道形成基板10中，沿着x方向而并排设置有多个压力室12。对于压力室12而言，在 z方向上进行观察时的形状、也就是 z方向的开口形状成为如下形状，即，将 y方向成为长边方向的长方形形状作为基础，并将长边方向的两端部设为半圆形状的、所谓圆角长方形形状(别名也称为跑道形状)。也就是说，压力室12具有在 z方向进行观察时 y方向成为长边方向、且 x方向成为短边方向的长条形状。当然，在 z方向上观察压力室12时的形状与上述的实施方式1同样地并没有被特别限定。
95.在流道形成基板10的-z方向侧的面上，形成有振动板50和压电致动器300。
96.在振动板50中，第一振动板51、第二振动板52和第三振动板53依次朝向-z方向而被层叠在一起。
97.压电致动器300的活性部310被设置于振动板50的可挠区域p的边缘部p1处。而且，活性部310被设置至与边缘部p1相比靠外侧、即与压力室12相比靠外侧为止。而且，活性部310没有被设置于中央部p2处。
98.并且，第三振动板53以及压电体层70被设置到设置有活性部310的区域、也就是边缘部p1和与边缘部p1靠外侧处、也就是与压力室12靠外侧处。此外，第三振动板53以及压电体层70没有被设置于中央部p2处。也就是说，中央部p2成为未被形成有第三振动板53和压电体层70的区域。
99.即使是这样的结构，也与上述的实施方式同样地，通过在振动板50中设置层叠了第一振动板51、第二振动板52、第三振动板53的边缘部p1、和没有层叠第三振动板53的中央部p2，从而能够提高振动板50的位移量、也就是以较小的电压得到较大的位移。特别是，通过使第三振动板53的杨氏模量大于第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量，从而能够提高振动板50的没有设置第三振动板53的部分即中央部p2的位移量，并能够增大油墨滴的重量或者提高油墨滴的飞翔速度。
100.此外，由于第一振动板51和第二振动板52的一方具有压缩应力、另一方具有拉伸应力，因此能够在振动板50的未被设置有第三振动板53的部分处取得应力平衡，故此，能够抑制在振动板50的位移时振动板50被破坏的情况。
101.进一步地，通过在振动板50中设置具有与第一振动板51以及第二振动板52的杨氏模量相比较大的杨氏模量的第三振动板53，从而能够提高振动板50的共振频率，提高驱动频率，并在短时间内实施油墨滴的连续喷射。由于一般情况下位移量和共振频率成为此消彼长的关系，因此当为了增大振动板50的位移量而使用杨氏模量较小的材料时，共振频率变小。相反地，当为了增大振动板50的共振频率而使用杨氏模量较大的材料时，存在振动板50的位移量变小且被喷射的油墨滴的重量变小的情况，或者为了使振动板50进行位移而需要对压电致动器300施加较大的电压。在本实施方式中，通过设置形成有第三振动板53的部分、和未被形成有第三振动板53的部分，从而能够增大振动板50的位移量并且增大共振频率。
102.此外，在本实施方式的喷墨式记录头1中，没有层叠压电体层70以及第三振动板53的部分为，与作为第一方向的 x方向的压力室12的中央相对应的部分即中央部p2。
103.其他实施方式
104.虽然上文对本发明的各个实施方式进行了说明，但本发明的基本结构并未被限定于上述的结构。
105.例如，虽然在上述的实施方式1中，将第一电极60设为针对每个活性部310而独立的独立电极，将第二电极80设为在多个活性部310中共同的共同电极，但并未被限定于此。
106.此外，虽然在上述的各个实施方式中，设为如下结构，即，在可挠区域p内的 x方向上，设置了相对于第一振动板51以及第二振动板52而设置有第三振动板53以及压电体层70的部分、和未被设置有第三振动板53以及压电体层70的部分，但除此之外，也可以设为如下结构，即，例如即使在可挠区域p内的 y方向上，也同样地设置相对于第一振动板51以及第二振动板52而设置有第三振动板53以及压电体层70的部分、和未被设置有第三振动板53以及压电体层70的部分。在实施方式1以及2的记录头1中，例如，只要设为如下结构即可，即，在沿着y轴的方向的两端部、也就是 y方向的端部以及-y方向的端部处不设置第三振动板53以及压电体层70，而在中央部处设置第三振动板53以及压电体层70。此外，在实施方式3的记录头中，只要设为如下结构即可，即，例如，在 y方向的端部以及-y方向的端部处设置第三振动板53以及压电体层70，而在中央部处不设置第三振动板53以及压电体层70。当然，在沿着y轴的方向上设置了第三振动板53以及压电体层70的部分和不设置它们的部分并未被限定于此。
107.此外，这些各个实施方式的记录头1被搭载于作为液体喷射装置的一个示例的喷墨式记录装置上。图10为，表示作为一个实施方式所涉及的液体喷射装置的一个示例的喷墨式记录装置的一个示例的概要图。
108.在图10所示的喷墨式记录装置i中，记录头1以可拆装的方式被设置在构成油墨供给单元的盒2上，并被搭载于滑架3上。搭载了该记录头1的滑架3以移动自如的方式被设置在被安装于装置主体4上的滑架轴5的轴向上。
109.并且，通过使驱动电机6的驱动力经由未图示的多个齿轮以及同步齿型带7而被传递至滑架3，从而使搭载了记录头1的滑架3沿着滑架轴5而进行移动。另一方面，在装置主体
4上设置有作为输送单元的输送辊8，纸等的作为记录介质的记录薄片s通过输送辊8而被输送。另外，对记录薄片s进行输送的输送单元并不限于输送辊，也可以为带或滚筒等。
110.在这样的喷墨式记录装置i中，在使记录薄片s相对于记录头1而向 x方向进行输送并使滑架3相对于记录薄片s而在y方向上进行往复移动的同时，通过使油墨滴从记录头1喷出从而跨及记录薄片s的大致整个面而执行油墨滴的喷落、所谓印刷。
111.此外，虽然在上述的喷墨式记录装置i中，例示了将记录头1被搭载于滑架3上并在作为主扫描方向的y方向上进行往复移动的装置，但并未被特别限定于此，例如，也能够在记录头1被固定而使纸等的记录薄片s仅在作为副扫描方向的x方向上进行移动从而实施印刷的、所谓行式记录装置中应用本发明。
112.另外，虽然在上述实施方式中，作为液体喷射头的一个示例而列举了喷墨式记录头、并且作为液体喷射装置的一个示例而列举了喷墨式记录装置来进行了说明，但是本发明是广泛地以所有液体喷射头以及液体喷射装置为对象的发明，显然也能够应用于喷射油墨以外的液体的液体喷射头或液体喷射装置中。作为其它液体喷射头，例如能够列举出在打印机等的图像记录装置中所使用的各种记录头、在液晶显示器等彩色滤波器的制造中所使用的颜色材料喷射头、在有机el(electro luminescence：电致发光)显示器、fed(面发光显示器)等的电极形成中所使用的电极材料喷射头、在生物芯片制造中所使用的生物体有机物喷射头等，并且也能够应用于具备所涉及的液体喷射头的液体喷射装置中。
113.符号说明
114.i
…
喷墨式记录装置(液体喷射装置)；1
…
喷墨式记录头(液体喷射头)；2
…
盒；3
…
滑架；4
…
装置主体；5
…
滑架轴；6
…
驱动电机；7
…
同步齿型带；8
…
输送辊；10
…
流道形成基板；11
…
隔壁；12
…
压力室；13
…
流道保护膜；15
…
连通板；16
…
喷嘴连通通道；17
…
第一歧管部；18
…
第二歧管部；19
…
供给连通通道；20
…
喷嘴板；20a
…
液体喷射面；21
…
喷嘴；30
…
保护基板；31
…
保持部；32
…
贯穿孔；40
…
外壳部件；41
…
凹部；42
…
第三歧管部；43
…
连接口；44
…
导入口；45
…
可塑性基板；46
…
密封膜；47
…
固定基板；48
…
开口部；49
…
可塑性部；50
…
振动板；51
…
第一振动板；52
…
第二振动板；53
…
第三振动板；60
…
第一电极；70
…
压电体层；71
…
凹部；80
…
第二电极；91
…
独立引线电极；92
…
共同引线电极；100
…
歧管；120
…
配线基板；121
…
驱动电路；300
…
压电致动器；310
…
活性部；p
…
可挠区域；p1
…
边缘部；p2
…
中央部；s
…
记录薄片。