压电致动器、液体喷出头以及记录装置的制作方法

技术特征：
1.一种压电致动器，具有第1面以及其背面的第2面，并在沿着所述第1面的方向的多个位置具有多个压电元件，所述压电致动器的特征在于，具有：压电体层，其沿着所述第1面扩展；共通电极，其对于所述压电体层重叠在所述第1面侧，遍及所述多个压电元件扩展；多个第1单独电极，其对于所述压电体层重叠在所述第2面侧，单独位于所述多个压电元件，相互不电连接；第1绝缘层，其对于所述共通电极重叠在所述第1面侧，遍及所述多个压电元件扩展；和多个第2单独电极，其对于所述第1绝缘层重叠在所述第1面侧，单独位于所述多个压电元件，在平面透视下，与所述多个第1单独电极的中央单独重叠，相互电连接。2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器还具有：多个第1布线，其对于所述压电体层重叠在所述第2面侧，与所述多个第1单独电极单独连接；和多个第2布线，其对于所述第1绝缘层重叠在所述第1面侧，将所述多个第2单独电极相互连接，所述多个第1布线从所述多个第1单独电极单独延伸出的方向和所述多个第2布线从所述多个第2单独电极单独延伸出的方向相互交叉。3.根据权利要求2所述的压电致动器，其特征在于，所述多个第2单独电极分别在俯视观察下具有在长边方向上长的形状，所述多个第2布线从所述多个第2单独电极向与所述长边方向交叉的方向延伸出。4.根据权利要求2或3所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器还具有：第2绝缘层，其对于所述压电体层从所述多个第1单独电极的上方重叠；和多个第3单独电极，其对于所述第2绝缘层重叠在所述第2面侧，单独位于所述多个压电元件，相互电连接，所述多个第2单独电极以及所述多个第2布线的面积的总和比所述多个第1单独电极以及所述多个第1布线的面积的总和大。5.根据权利要求4所述的压电致动器，其特征在于，所述第2绝缘层是与所述压电体层不同的压电体层。6.根据权利要求1～5中任一项所述的压电致动器，其特征在于，所述多个第2单独电极各自的面积比所述多个第1单独电极各自的面积小。7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电致动器，其特征在于，在所述第1面的平面透视下，所述多个第2单独电极各自的形状与所述多个第1单独电极各自的形状相似。8.根据权利要求1～7中任一项所述的压电致动器，其特征在于，所述多个第1单独电极各自的形状在俯视观察下是将圆形的区域和从所述圆形的区域向给定方向的两侧突出的区域合在一起的形状。9.一种液体喷出头，其特征在于，具有：
权利要求1～8中任一项所述的压电致动器；和流路构件，其具有重叠在所述第1面或所述第2面的加压面、和其背面的喷出面，所述流路构件具有：多个加压室，其在所述加压面的平面透视下与所述多个压电元件单独重叠；和多个喷出孔，其单独地通到所述多个加压室，在所述喷出面开口。10.根据权利要求9所述的液体喷出头，其特征在于，在所述第1面的平面透视下，所述多个第2单独电极各自的形状与所述多个加压室各自的形状相似。11.一种记录装置，其特征在于，具有：权利要求9或10所述的液体喷出头；和控制部，其与所述液体喷出头电连接，进行对所述共通电极以及所述多个第2单独电极赋予基准电位并且对所述多个第1单独电极单独输入驱动信号的控制。

技术总结
在压电致动器，共通电极对压电体层重叠在第1面侧，遍及多个压电元件扩展。多个第1单独电极对压电体层重叠在第2面侧，单独位于多个压电元件，设为相互不电连接。第1绝缘层对于共通电极重叠在第1面侧，遍及多个压电元件扩展。多个第2单独电极对于第1绝缘层重叠在第1面侧，单独位于多个压电元件，在平面透视下与多个第1单独电极的中央单独重叠。此外，多个第2单独电极相互电连接。单独电极相互电连接。单独电极相互电连接。


技术研发人员：田畑周平 东别府诚 平山武 长谷川幸弘 志村元 宫原崇 石原笃志
受保护的技术使用者：京瓷株式会社
技术研发日：2020.12.25
技术公布日：2022/7/29