一种横向激励体声波谐振器的制作方法

技术特征：
1.一种横向激励体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及设置于所述衬底上表面的压电层，所述衬底上表面设置有凹槽，所述凹槽与所述压电层形成腔体，所述压电层上设置有叉指电极结构，所述叉指电极结构包括多个平行间隔的条形正电极和条形负电极，所述条形正电极和/或所述条形负电极在所述腔体内投影位置处设置有支撑件，所述支撑件的一端与所述腔体的底面抵持、另一端与所述压电层抵持。2.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件包括至少两个，至少两个所述支撑件间隔分布于所述腔体内。3.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件的宽度小于等于所述支撑件对应的所述条形正电极或所述条形负电极的宽度。4.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件的长度小于等于所述支撑件对应的所述条形正电极或所述条形负电极的长度。5.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件为长方体结构。6.根据权利要求5所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述长方体结构内部中空，且壁厚在0.5um-1um之间。7.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件为多个间隔设置的柱体，多个所述柱体直线排列，所述直线的方向为所述条形正电极延伸方向，所述柱体的横截面为圆形或者多边形中的一种。8.根据权利要求7所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述柱体包括芯部以及环绕在芯部外周的环形部，所述芯部的声阻抗大于所述环形部的声阻抗。9.根据权利要求1-8任一项所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件由二氧化硅、碳化硅、氮化硅、氮化铝、硅、氧化铝、钼、铝中的一种或两种材料形成。10.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，还包括与多个所述条形正电极的端部均连接的正极汇流条，以及与多个所述条形负电极的端部均连接的负极汇流条，所述正极汇流条与所述负极汇流条分别位于所述压电层的两侧，所述正极汇流条和所述负极汇流条分别通过连接板连接信号端。

技术总结
本实用新型公开了一种横向激励体声波谐振器，涉及谐振器技术领域，本实用新型的横向激励体声波谐振器，包括衬底以及设置于衬底上表面的压电层，衬底上表面设置有凹槽，凹槽与压电层形成腔体，压电层上设置有叉指电极结构，叉指电极结构包括多个平行间隔的条形正电极和条形负电极，条形正电极和/或条形负电极在腔体内投影位置处设置有支撑件，支撑件的一端与腔体的底面抵持、另一端与压电层抵持。本实用新型提供的横向激励体声波谐振器，能够支撑压电层，避免压电层断裂或破损，从而提高器件稳定性。件稳定性。件稳定性。


技术研发人员：谢英 刘文娟 刘炎 蔡耀 孙成亮 孙博文
受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司
技术研发日：2022.03.31
技术公布日：2022/7/14