层叠件和制备该层叠件的方法与流程

技术特征：
1.一种层叠件，包括：基材；涂层，所述涂层层叠在所述基材上，并且包括交替层叠的第一涂层和第二涂层；和防水层，所述防水层层叠在所述涂层上，其中，所述第一涂层包括至少一种金属氧化物，所述金属氧化物选自由镧系金属氧化物、过渡金属氧化物、以及包括镧金属和过渡金属的复合金属氧化物组成的组，其中，所述第二涂层包括碱土金属氟化物和过渡金属氧化物。2.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述第一涂层中，所述过渡金属包括第iv族过渡金属。3.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述第一涂层中，所述镧系金属氧化物包括氧化镧，所述过渡金属氧化物包括氧化钛，而所述复合金属氧化物包括氧化钛镧。4.根据权利要求1所述的层叠件，其中，所述第二涂层包括约85重量百分比(wt％)至约95wt％的碱土金属氟化物和约5wt％至约15wt％的过渡金属氧化物。5.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述第二涂层中，所述过渡金属氧化物包括第iii族过渡金属氧化物。6.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述第二涂层中，所述碱土金属氟化物包括氟化镁，而所述过渡金属氧化物包括氧化钇。7.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述第二涂层中，所述碱土金属氟化物具有约0.06重量百分比(wt％)或更低的氧含量。8.根据权利要求1所述的层叠件，其中：所述第一涂层的最外面的部分定位在所述基材的表面上，所述防水层定位在所述第二涂层的最外面的部分的表面上。9.根据权利要求1所述的层叠件，其中，在所述涂层中，所述第一涂层和所述第二涂层被交替层叠1至5次。10.根据权利要求1所述的层叠件，其中，所述涂层包括由所述第一涂层和所述第二涂层形成第一对涂层、由所述第一涂层和所述第二涂层形成第二对涂层、和由所述第一涂层和所述第二涂层形成第三对涂层，所述第二对涂层层叠在所述第一对涂层上，所述第三对涂层层叠在所述第二对涂层上。11.根据权利要求10所述的层叠件，其中：所述第一对涂层中的第一涂层的厚度为约1nm至约30nm，所述第一对涂层中的第二涂层的厚度为约30nm至约80nm，所述第二对涂层中的第一涂层的厚度为约30nm至约80nm，所述第二对涂层中的所述第二涂层的厚度为约20nm至约60nm，所述第三对涂层中的第一涂层的厚度为约150nm至约300nm，和所述第三对涂层中的第二涂层的厚度为约100nm至约200nm。12.根据权利要求1所述的层叠件，其中，防水层还包括硅烷基氟化合物。13.一种用于制造层叠件的方法，所述方法包括：将涂层层叠在所述基材上；以及将防水层层叠在所述涂层上，
其中，将涂层层叠在所述基材上包括交替层叠第一涂层和第二涂层，其中，所述第一涂层包括选自由镧系金属氧化物、过渡金属氧化物、以及包含镧系金属和过渡金属的复合金属氧化物组成的组中的至少一种，其中，所述第二涂层包括碱土金属氟化物和过渡金属氧化物。14.根据权利要求13所述的方法，其中，交替层叠第一涂层和第二涂层包括离子辅助沉积。15.根据权利要求13所述的方法，其中，将防水层层叠在所述涂层上包括：离子蚀刻所述第二涂层的最外面的部分的表面；和将所述防水层层叠在所述第二涂层的所述最外面的部分的、被离子蚀刻的表面上。

技术总结
本公开涉及一种层叠件和一种用于制备该层叠件的方法。该层叠件包括基材、涂层和防水层，所述基材、所述涂层和所述防水层被依次层叠，涂层包括被交替层叠一次或多次的第一涂层和第二涂层，第一涂层包括至少一种金属氧化物，该金属氧化物选自由镧系金属氧化物、过渡金属氧化物、以及包括镧金属和过渡金属的复合金属氧化物组成的组，第二涂层包括碱土金属氟化物和过渡金属氧化物。化物和过渡金属氧化物。化物和过渡金属氧化物。


技术研发人员：姜炯宅 金铉敦 李根炯
受保护的技术使用者：现代摩比斯株式会社
技术研发日：2022.01.07
技术公布日：2022/7/8