一种涂胶显影设备专用温控制设备厂务水热能再利用方法与流程

1.本发明涉及半导体芯片工厂专用超精密恒温恒湿设备领域，尤其涉及一种涂胶显影设备专用温控制设备厂务水热能再利用方法。


背景技术：

2.恒温恒湿设备首先通过制冷机组四大件对空气进行降温除湿。
3.制冷机组冷凝器部分，选用水冷冷凝器，外部或者工厂提供的恒温的工业冷却水，冷凝器的冷却水管路同压缩机出口端的高温高压的冷媒管路相遇，进行热交换，从而降低冷媒温度。
4.此时，热交换完成后的冷却水，温度升高，通常是直接排出，重新回到外部设备或者工厂回收端，从而造成水资源能源浪费。
5.以“换热and半导体andpid”为检索式在中国专利的公开系统进行检索。
6.发现如下四件专利：
7.2021108827510、北京京仪自动化装备技术股份有限公司、用于半导体生产的热交换器温控方法及温控系统；2018108278973-一种器官移植恒温修整装置以及应用方法；2009100478493-一种低温显微镜冷源系统；2020111832651-半导体生产用温控系统；
8.其中2021108827510用于半导体生产的热交换器温控方法及温控系统显示的技术第一是不能对换热后的冷却水进行进一步使用，还是需要单独的热源。其并没有考虑到后期对气体的加热；另外其主要是一种控制方法。
9.然而，在半导体控制中，先降温，随后升温实质上是一个重复耗能的过程，因为需要恒温恒湿；现有技术并没有想着将两个步骤进行综合调控。


技术实现要素：

10.发明的目的：为了提供效果更好的一种涂胶显影设备专用温控制设备厂务水热能再利用方法，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
11.为了达到如上目的，本发明采取如下技术方案：
12.一种涂胶显影设备专用温控制设备厂务水热能再利用方法，其特征在于，制冷机组冷凝器部分为水冷式冷凝器，冷凝器的冷却水管路同压缩机出口端的高温高压的冷媒管路进行热交换从而能够降低冷媒温度，热交换完成的高温冷却水的回收管并列有一条支路，该支路通往翘片换热器，该支路中流动的高温冷却水在翘片换热器中和经过蒸发器后的降温除湿后的气体进行换热进而对气体进行加热。
13.本发明进一步技术方案在于，水冷式冷凝器连接着外部或者工厂提供的恒温的工业冷却水。
14.本发明进一步技术方案在于，高温冷却水通往翘片换热器的支路上布置有pid流量控制阀。
15.本发明进一步技术方案在于，高温冷却水通往翘片换热器的支路上布置有温度传
感器，温度传感器能够反馈支路上的水的温度。
16.本发明进一步技术方案在于，系统控制主板通信连接着温度传感器、pid流量控制阀；还包含能够实现显示和操作的屏幕，该屏幕为显示操作屏。
17.本发明进一步技术方案在于，压缩机为涂胶显影设备专用温控制设备的压缩机。
18.采用如上技术方案的本发明，相对于现有技术有如下有益效果：将热交换完成的高温冷却水回收管路出，做出一条支路，通往翘片换热器，由于热交换完成后的冷却水温度较高，可以加热控温的热源，对于经过蒸发器后的降温除湿后的气体进行加热，以此来提高节能以及加热效率。热交换完成后的工厂高温冷却水管路，安装温度传感器，并通过安装设置电控式pid流量阀，以此来控制热交换完成后的厂务冷却水水温，最终达到所需温度。
附图说明
19.为了进一步说明本发明，下面结合附图进一步进行说明：
20.图1为发明流程示意图。
具体实施方式
21.下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本发明，应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
22.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
23.本专利提供多种并列方案，不同表述之处，属于基于基本方案的改进型方案或者是并列型方案。每种方案都有自己的独特特点。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。文中未表述的固定方式，可以是螺纹固定，螺栓固定或者是胶水粘结等任意一种固定方式。
24.实施例一：结合图1；一种涂胶显影设备专用温控制设备厂务水热能再利用方法，其特征在于，制冷机组冷凝器部分为水冷式冷凝器，冷凝器的冷却水管路同压缩机出口端的高温高压的冷媒管路进行热交换从而能够降低冷媒温度，热交换完成的高温冷却水的回收管并列有一条支路，该支路通往翘片换热器，该支路中流动的高温冷却水在翘片换热器中和经过蒸发器后的降温除湿后的气体进行换热进而对气体进行加热。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程即基本功能为如下：相对于现有技术换热后的冷却水，直接回去使用或者排掉的情况，将热交换完成的高温冷却水回收管路出，做出一条支路，通往翘片换热器，由于热交换完成后的冷却水温度较高，可以加热控温的热源，对于经过蒸发器后的降温除湿后的气体进行加热，以此来提高节能以及加热效率。热交换完成后的工厂高温冷却水管路，安装温度传感器，并通过安装设置电控式pid流量阀，以此来控制热交换完成后的厂务冷却水水温，最终达到所需温度。
25.以上特征有如下三种突出有益效果：1.提高水冷冷凝器的热交换后的高温厂务水
热能利用；2.提高加热速率及减少能耗；3.提高气体控制精确度。
26.实施例二：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，水冷式冷凝器连接着外部或者工厂提供的恒温的工业冷却水。
27.本发明进一步技术方案在于，高温冷却水通往翘片换热器的支路上布置有pid流量控制阀。
28.实施例三：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，高温冷却水通往翘片换热器的支路上布置有温度传感器，温度传感器能够反馈支路上的水的温度。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下：类似的温度控制部分均在本专利的保护范围内，比如，在水冷式冷凝器的相关管路上，也能够设置一些温度传感器。
29.实施例四：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，系统控制主板通信连接着温度传感器、pid流量控制阀；还包含能够实现显示和操作的屏幕，该屏幕为显示操作屏。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下：在该实施例的优选下，该显示操作屏为触摸屏。
30.实施例五：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，压缩机为涂胶显影设备专用温控制设备的压缩机。
31.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本领域的技术人员应该了解本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的范围内。