一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘的制作方法

技术特征：
1.一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，包括锥形天线盘(1)，与锥形天线盘(1)相连的工艺气体进气管(2)，以及套设于工艺气体进气管(2)外并与锥形天线盘(1)相连的水冷管(3)；锥形天线盘(1)内设有冷却水腔(4)，锥形天线盘(1)设有与工艺气体进气管(2)相连的气流分散盘(6)，水冷管(3)包括同轴套设于工艺气体进气管(2)外的冷却进水管(31)、以及同轴套设于冷却进水管(31)外的冷却回水管(32)，冷却进水管(31)和冷却回水管(32)均与冷却水腔(4)相连通。2.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，冷却水腔(4)内设有隔水板(5)，隔水板(5)将冷却水腔(4)由上而下分隔为回水腔(41)和冷却腔(42)，隔水板(5)外缘周向均布设有若干个用于连通冷却腔(42)和回水腔(41)的回水缺口(51)。3.根据权利要求2所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，隔水板(5)中心开设有与冷却进水管(31)相适配的进水通孔(52)，冷却进水管(31)密封嵌装于进水通孔(52)内并与冷却腔(42)相连通，冷却回水管(32)穿设至锥形天线盘(1)内并与回水腔(41)相连通。4.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，气流分散盘(6)上均布有若干个布气通孔(61)。5.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，气流分散盘(6)与锥形天线盘(1)之间设有一个气流缓冲腔(7)，气流缓冲腔(7)为倒凹型。6.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，气流分散盘(6)外缘周向均布设有若干个螺纹孔(62)，气流分散盘(6)通过螺栓固定于锥形天线盘(1)底面。7.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，水冷管(3)顶部设有水冷头(8)，水冷头(8)上安装有水冷头止水螺母(9)，水冷头止水螺母(9)中部开设有与工艺气体进气管(2)相适配的进气通孔(10)，工艺气体进气管(2)密封嵌装于进气通孔(10)内并与锥形天线盘(1)相连。8.根据权利要求7所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，水冷头(8)顶部开设有与水冷头止水螺母(9)相适配的螺母接口(11)，水冷头止水螺母(9)螺纹安装于螺母接口(11)内，水冷头止水螺母(9)底部套设有一圈密封橡胶圈(12)。9.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，水冷头(8)上设有与冷却进水管(31)相连通的进水口接口(13)。10.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，水冷头(8)上设有与冷却回水管(32)相连通的出水口接口(14)。

技术总结
本实用新型公开了一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，解决现有水冷天线对自身使用局限性以及对金刚石生长的不利影响。本实用新型包括锥形天线盘，与锥形天线盘相连的工艺气体进气管，以及套设于工艺气体进气管外并与锥形天线盘相连的水冷管；锥形天线盘内设有冷却水腔，锥形天线盘设有与工艺气体进气管相连的气流分散盘，水冷管包括同轴套设于工艺气体进气管外的冷却进水管、以及同轴套设于冷却进水管外的冷却回水管，冷却进水管和冷却回水管均与冷却水腔相连通。本实用新型结构简单、设计科学合理、使用方便，能够有效带走天线使用过程中产生的的热量，同时可均匀布气保证了生长的金刚石材料的质量稳定性。了生长的金刚石材料的质量稳定性。了生长的金刚石材料的质量稳定性。


技术研发人员：袁稳 袁良 郑怡
受保护的技术使用者：成都稳正科技有限公司
技术研发日：2021.12.10
技术公布日：2022/6/30