一种真空镀膜机腔体清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及设备清洗技术领域，具体为一种真空镀膜机腔体清洗装置。


背景技术：

2.真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延和pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
3.真空镀膜机在长时间将使用后，需要对其腔体内胆进行清洗，目前多为直接清洗，对于腔体内的清洗效果较差，为实际使用带来不便，为此，我们提出一种真空镀膜机腔体清洗装置。


技术实现要素：

4.鉴于现有技术存在的上述问题，本实用新型提供了一种真空镀膜机腔体清洗装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型提供的一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座、腔体和清洗组件，所述腔体放置于底座的顶部，所述腔体的内部设置有旋转挂架，所述清洗组件设置在腔体的顶端开口处，且对腔体的内部进行清洗，所述清洗组件包括盖板、电机、水管、转动轴、支杆、固定块、清洁刷板、喷头，所述盖板压盖设置在腔体的顶端开口处，所述电机和水管安装在盖板上表面的中部，所述电机的输出轴延伸至盖板的下方且通过联轴器与转动轴固定连接，所述转动轴的另一端向下延伸至腔体的内部且与支杆固定连接，所述支杆的另一端通过螺栓安装固定块，所述固定块的另一侧安装有清洁刷板，所述清洁刷板的刷毛与腔体的内壁相触碰，所述盖板的下表面安装有位于支杆上方的喷头，所述喷头的顶端与水管的内部相连通。
6.优选的，所述支杆上安装有连接块，所述连接块的底端安装有清洁刷辊，所述清洁刷辊的刷毛与腔体内旋转挂架的侧边相接触。
7.优选的，所述连接块为套环结构且滑动套装在支杆上，所述连接块的外周设置有若干个用于紧固的螺栓，所述支杆上开设有均匀分布的螺孔，螺栓通过螺孔与支杆螺纹连接。
8.优选的，所述支杆远离固定块的一端下表面安装有套管，所述套管自上而下套装在腔体内旋转挂架的转轴顶端，且套管与转轴转动连接。
9.优选的，所述水管的一端上表面安装有与外接管道连通的接头，所述水管的底部通过支管与喷头相连通。
10.优选的，所述底座的上表面开设有用于放置腔体的定位槽。
11.与现有技术相比较，本实用新型提供的真空镀膜机腔体清洗装置，具有以下有益效果：
12.本实用新型在使用时，通过水管向喷头供水并喷洒到腔体内，再通过电机带动转
动轴转动，使得支杆带动固定块和清洁刷板沿着腔体的内壁转动，便于对腔体的内壁进行清洗，同时通过支杆带动连接块和清洁刷辊转动，便于对腔体内旋转挂架进行清洗，从而提高清洗效果，结构简单，操作便捷，为实际使用带来便利，具有广阔的市场前景，利于推广。
附图说明
13.图1为本实用新型的正面结构示意图；
14.图2为本实用新型的剖面结构示意图。
15.图中：1、底座；2、腔体；3、盖板；4、电机；5、水管；6、转动轴；7、支杆；8、固定块；9、清洁刷板；10、喷头；11、连接块；12、清洁刷辊；13、套管。
具体实施方式
16.为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。
17.本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
18.请参阅图1-2，一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座1、腔体2和清洗组件，腔体2放置于底座1的顶部，腔体2的内部设置有旋转挂架，清洗组件设置在腔体2的顶端开口处，且对腔体2的内部进行清洗，清洗组件包括盖板3、电机4、水管5、转动轴6、支杆7、固定块8、清洁刷板9、喷头10，盖板3压盖设置在腔体2的顶端开口处，电机4和水管5安装在盖板3上表面的中部，电机4的输出轴延伸至盖板3的下方且通过联轴器与转动轴6固定连接，转动轴6的另一端向下延伸至腔体2的内部且与支杆7固定连接，支杆7的另一端通过螺栓安装固定块8，固定块8的另一侧安装有清洁刷板9，清洁刷板9的刷毛与腔体2的内壁相触碰，盖板3的下表面安装有位于支杆7上方的喷头10，喷头10的顶端与水管5的内部相连通。
19.支杆7上安装有连接块11，连接块11的底端安装有清洁刷辊12，清洁刷辊12的刷毛与腔体2内旋转挂架的侧边相接触。
20.连接块11为套环结构且滑动套装在支杆7上，连接块11的外周设置有若干个用于紧固的螺栓，支杆7上开设有均匀分布的螺孔，螺栓通过螺孔与支杆7螺纹连接，便于连接块11和清洁刷辊12的水平位置调节，方便对旋转挂架进行清洗。
21.支杆7远离固定块8的一端下表面安装有套管13，套管13自上而下套装在腔体2内旋转挂架的转轴顶端，且套管13与转轴转动连接，能够提高对腔体2内壁的清洗稳定性。
22.水管5的一端上表面安装有与外接管道连通的接头，水管5的底部通过支管与喷头10相连通，便于喷头10的供水。
23.底座1的上表面开设有用于放置腔体2的定位槽，便于腔体2的稳定放置和内腔清洗。
24.本实用新型在使用时，通过水管5向喷头10供水并喷洒到腔体2内，再通过电机4带动转动轴6转动，使得支杆7带动固定块8和清洁刷板9沿着腔体2的内壁转动，便于对腔体2的内壁进行清洗，同时通过支杆7带动连接块11和清洁刷辊12转动，便于对腔体2内旋转挂架进行清洗，从而提高清洗效果，结构简单，操作便捷，为实际使用带来便利，具有广阔的市场前景，利于推广。
25.以上所述仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座（1）、腔体（2）和清洗组件，所述腔体（2）放置于底座（1）的顶部，所述腔体（2）的内部设置有旋转挂架，所述清洗组件设置在腔体（2）的顶端开口处，且对腔体（2）的内部进行清洗，其特征在于，所述清洗组件包括盖板（3）、电机（4）、水管（5）、转动轴（6）、支杆（7）、固定块（8）、清洁刷板（9）、喷头（10），所述盖板（3）压盖设置在腔体（2）的顶端开口处，所述电机（4）和水管（5）安装在盖板（3）上表面的中部，所述电机（4）的输出轴延伸至盖板（3）的下方且通过联轴器与转动轴（6）固定连接，所述转动轴（6）的另一端向下延伸至腔体（2）的内部且与支杆（7）固定连接，所述支杆（7）的另一端通过螺栓安装固定块（8），所述固定块（8）的另一侧安装有清洁刷板（9），所述清洁刷板（9）的刷毛与腔体（2）的内壁相触碰，所述盖板（3）的下表面安装有位于支杆（7）上方的喷头（10），所述喷头（10）的顶端与水管（5）的内部相连通。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特征在于，所述支杆（7）上安装有连接块（11），所述连接块（11）的底端安装有清洁刷辊（12），所述清洁刷辊（12）的刷毛与腔体（2）内旋转挂架的侧边相接触。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特征在于，所述连接块（11）为套环结构且滑动套装在支杆（7）上，所述连接块（11）的外周设置有若干个用于紧固的螺栓，所述支杆（7）上开设有均匀分布的螺孔，螺栓通过螺孔与支杆（7）螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特征在于，所述支杆（7）远离固定块（8）的一端下表面安装有套管（13），所述套管（13）自上而下套装在腔体（2）内旋转挂架的转轴顶端，且套管（13）与转轴转动连接。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特征在于，所述水管（5）的一端上表面安装有与外接管道连通的接头，所述水管（5）的底部通过支管与喷头（10）相连通。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体清洗装置，其特征在于，所述底座（1）的上表面开设有用于放置腔体（2）的定位槽。

技术总结
本实用新型涉及设备清洗技术领域，且公开了一种真空镀膜机腔体清洗装置，包括底座、腔体和清洗组件，所述腔体放置于底座的顶部，所述腔体的内部设置有旋转挂架，所述清洗组件设置在腔体的顶端开口处，且对腔体的内部进行清洗，所述清洗组件包括盖板、电机、水管、转动轴、支杆、固定块、清洁刷板、喷头，所述盖板压盖设置在腔体的顶端开口处，所述电机和水管安装在盖板上表面的中部。本实用新型通过水管向喷头供水并喷洒到腔体内，通过电机带动转动轴转动，使得支杆带动固定块和清洁刷板沿着腔体的内壁转动，便于对腔体的内壁进行清洗，提高清洗效果，结构简单，操作便捷，为实际使用带来便利，具有广阔的市场前景，利于推广。利于推广。利于推广。


技术研发人员：顾晓雷 姜沁雨
受保护的技术使用者：玛奇纳米科技（苏州）有限公司
技术研发日：2022.03.22
技术公布日：2022/6/27