密封方法及粘结工装与流程

1.本发明涉及半导体制造的技术领域，具体而言，涉及一种密封方法及粘结工装。


背景技术：

2.产品在生产过程中装配时，各零件之间会出现缝隙，当有液体流过时，液体会流入缝隙中，造成液体浪费，同时还会影响产品的使用，所以需要将缝隙进行密封。
3.现有技术中，对缝隙的密封方法主要包括填充密封和遮盖密封两种，其中，遮盖密封的步骤为：根据待密封缝隙的形状制作相应形状的胶带，然后将胶带粘贴至缝隙处。
4.但是，使用现有技术中的方法密封缝隙，容易发生缝隙密封不严的情况。


技术实现要素：

5.本发明的第一个目的在于提供一种密封方法，以解决现有技术中存在的密封缝隙时容易发生密封不严的情况的技术问题。
6.本发明提供的密封方法，用于密封光刻机部件的缝隙，该密封方法包括：
7.模切胶带，获得与待粘结缝隙形状匹配的胶带部分即粘结带；
8.层叠粘结至少两层支撑膜，然后模切位于最外层的支撑膜，得到用于容纳胶带的通槽，同时形成粘结工装；
9.将胶带的背侧粘结至通槽内；
10.将粘结带具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙，并揭掉粘结工装。
11.进一步地，所述密封方法还包括：
12.模切胶带获得粘结带之前，在胶带的两侧分别粘结保护膜；模切时，同时模切胶带以及胶带具有胶粘剂的一侧的保护膜；
13.将胶带背侧的保护膜粘结至通槽内，然后揭掉胶带具有胶粘剂的一侧的与粘结带形状相同的保护膜部分。
14.进一步地，所述密封方法还包括：
15.在所述将胶带背侧的保护膜粘结至通槽内前，在胶带组件打第一定位孔组，胶带组件包括胶带及其两侧的保护膜；在与通槽对应的支撑膜部分打第二定位孔组，第二定位孔组的定位孔与第一定位孔组的定位孔一一对应；
16.在所述将胶带背侧的保护膜粘结至通槽内时，使第一定位孔组的定位孔与第二定位孔组的定位孔一一对齐。
17.进一步地，模切得到通槽时，使通槽的形状与胶带组件的形状匹配。
18.进一步地，胶带组件呈矩形，第一定位孔组包括两个第一定位孔，两个第一定位孔均位于粘结带外侧，且设置于胶带组件的对角；
19.通槽呈矩形，第二定位孔组包括两个第二定位孔，两个第二定位孔设置于通槽的对角。
20.进一步地，所述密封方法还包括：
21.在层叠粘结好后的支撑膜打第三定位孔组，第三定位孔组的定位孔与待粘结物体的第四定位孔组的定位孔一一对应；
22.在所述将粘结带具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙前，使第三定位孔组的定位孔与待粘结物体的第四定位孔组的定位孔一一对齐。
23.进一步地，粘结工装呈矩形，第三定位孔组包括两个第三定位孔，两个第三定位孔均位于通槽外侧，且设置于粘结工装的对角。
24.本发明提供的密封方法，能够产生以下有益效果：
25.本发明提供的密封方法，制作的粘结工装具有至少两层支撑膜，将粘结带粘结至粘结工装的通槽内后，粘结工装的支撑膜对粘结带起到支撑作用，使粘结带不易发生变形而维持平整，从而密封待粘结缝隙时，粘结带的各部位能够同时与待粘结物体接触，平整地粘结于待粘结物体，严格地密封待粘结缝隙；此外，粘结带维持平整不变形，还有利于避免气泡的产生，进而保证密封效果。
26.本发明的第二个目的在于提供一种粘结工装，以解决现有技术中存在的密封缝隙时容易发生密封不严的情况的技术问题。
27.本发明提供的粘结工装，所述粘结工装包括至少两层粘结的支撑膜，且位于最外层的所述支撑膜设置有通槽，所述通槽用于容纳粘结带，所述粘结带为与待粘结缝隙形状匹配的胶带。
28.进一步地，所述粘结工装设置有第二定位孔组，所述第二定位孔组的定位孔与胶带组件的第一定位孔组的定位孔一一对应，所述胶带组件包括胶带及层叠粘结于所述胶带两侧的保护膜。
29.进一步地，所述粘结工装还设置有第三定位孔组，所述第三定位孔组的定位孔与待粘结物体的第四定位孔组的定位孔一一对应。
30.本发明提供的粘结工装，能够产生以下有益效果：
31.本发明提供的粘结工装，包括至少两层支撑膜，使用时，先将胶带的背侧粘结至粘结工装的通槽内，然后将粘结带具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙，并揭掉粘结工装，即完成对待粘结缝隙的密封。
32.本发明提供的粘结工装，支撑膜对粘结带起到支撑作用，使粘结带不易发生变形而维持平整，从而密封待粘结缝隙时，粘结带的各部位能够同时与待粘结物体接触，平整地粘结于待粘结物体，严格地密封待粘结缝隙；此外，粘结带维持平整不变形，还有利于避免气泡的产生，进而保证密封效果。
附图说明
33.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
34.图1为本发明实施例提供的密封方法的流程简图；
35.图2为本发明实施例提供的密封方法中制作粘结带的流程示意图；
36.图3为本发明实施例提供的密封方法中胶带组件的分解结构示意图；
37.图4为本发明实施例提供的密封方法中制作粘结工装的流程示意图；
38.图5为本发明实施例提供的密封方法中粘结工装的分解结构示意图；
39.图6为本发明实施例提供的密封方法中装配的流程示意图；
40.图7为本发明实施例提供的密封方法中粘结密封的流程示意图。
41.附图标记说明：
42.100-胶带组件；110-胶带；111-粘结带；120-保护膜；130-第一定位孔；
43.200-粘结工装；210-支撑膜；211-通槽；220-第二定位孔；230-第三定位孔；
44.300-待粘结物体；310-待粘结缝隙；320-第四定位孔。
具体实施方式
45.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
46.图1为本实施例提供的密封方法的流程简图，图2为本实施例提供的密封方法中制作粘结带111的流程示意图，图4为本实施例提供的密封方法中制作粘结工装200的流程示意图，图6为本实施例提供的密封方法中装配的流程示意图，图7为本实施例提供的密封方法中粘结密封的流程示意图。
47.本实施例提供一种密封方法，用于密封光刻机部件的缝隙，如图1、图2、图4、图6和图7所示，该密封方法包括：
48.制作粘结带111：模切胶带110，获得与待粘结缝隙310形状匹配的胶带部分即粘结带111；
49.制作粘结工装200：层叠粘结至少两层支撑膜210；然后模切位于最外层的支撑膜210，得到用于容纳胶带110的通槽211；
50.装配：将胶带110的背侧粘结至通槽211内；
51.粘结密封：将粘结带111具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙310，并揭掉粘结工装200。
52.本实施例提供的密封方法，包括制作粘结带111、制作粘结工装200、装配以及粘结密封等步骤。其中，制作的粘结工装200具有至少两层支撑膜210，将粘结带111粘结至粘结工装200的通槽211内后，粘结工装200的支撑膜210对粘结带111起到支撑作用，使粘结带111不易发生变形而维持平整，从而密封待粘结缝隙310时，粘结带111的各部位能够同时与待粘结物体300接触，平整地粘结于待粘结物体300，严格地密封待粘结缝隙310；此外，粘结带111维持平整不变形，还有利于避免气泡的产生，进而保证密封效果。
53.需要说明的是，本实施例中，“缝隙”不限于零件之间狭长的间隙，而是还可以包括零件之间其他形状的间隙以及零件本身需要密封的裂缝或者孔洞等。此外，本实施例提供的密封方法，除了可以应用于半导体制造领域以外，还可以应用于其他需要使用胶带110精确密封缝隙的领域。
54.具体地，本实施例中，制作粘结带111的步骤，包括：
55.s102模切胶带110获得粘结带111之前，在胶带110的两侧分别粘结保护膜120，形成胶带组件100；
56.s104模切时，同时模切胶带110以及胶带110具有胶粘剂的一侧的保护膜120；
57.装配的步骤，包括：将胶带110背侧的保护膜120粘结至通槽211内，然后揭掉胶带110具有胶粘剂的一侧的与粘结带111形状相同的保护膜120部分。
58.本实施例提供的密封方法，在胶带110的两侧粘结保护膜120，装配时，相对于仅将粘结带111粘结于通槽211内，将模切后的胶带组件100整体粘结至粘结工装200的通槽211内，夹取胶带组件100等操作更方便实施；保护膜120对胶带110起到支撑作用，从而能够进一步保证粘结带111维持平整，进而便于平整地将粘结带111粘结于待粘结物体300，并严格地密封待粘结缝隙310；此外，保护膜120对胶带110起到保护作用，能够有效避免夹具等对粘结带111造成损伤或者使粘结带111发生变形。
59.具体地，本实施例中，制作粘结带111的步骤，还包括：在胶带组件100打第一定位孔组；
60.制作粘结工装200的步骤，还包括：在与通槽211对应的支撑膜210部分打第二定位孔组，第二定位孔组的定位孔与第一定位孔组的定位孔一一对应；
61.封装的步骤，还包括：在将胶带110背侧的保护膜120粘结至通槽211内前，使第一定位孔组的定位孔与第二定位孔组的定位孔一一对齐。
62.本实施例提供的密封方法，通过在胶带组件100打第一定位孔组、在粘结工装200打第二定位孔组，以及在将模切后的胶带组件100装配至粘结工装200时，使第一定位孔组的定位孔与第二定位孔组的定位孔一一对齐，提高了胶带组件100与粘结工装200的装配精度，有利于将粘结带111精确地粘结于待粘结物体300，从而能够保证对待粘结缝隙310的密封效果。
63.具体地，本实施例中，模切得到通槽211时，使通槽211的形状与胶带组件100的形状匹配。如此操作，使得通槽211对胶带组件100也起到定位作用，有利于胶带组件100与粘结工装200的快速、准确装配。
64.具体地，本实施例中，胶带组件100呈矩形，第一定位孔组包括两个第一定位孔130，两个第一定位孔130均位于粘结带111外侧，且设置于胶带组件100的对角；
65.通槽211呈矩形，第二定位孔组包括两个第二定位孔220，两个第二定位孔220设置于通槽211的对角。
66.具体地，本实施例中，制作粘结工装200的步骤，还包括：在层叠粘结好后的支撑膜210打第三定位孔组，第三定位孔组的定位孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对应；
67.粘结密封的步骤，还包括：在将粘结带111具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙310前，使第三定位孔组的定位孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对齐。
68.本实施例提供的密封方法，将粘结带111粘结至待粘结物体300前，可以先使粘结工装200的第三定位孔组的定位孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对齐，从而能够提高粘结工装200的定位精度，进而有利于将粘结带111精确地粘结于待粘结物体300，保证对待粘结缝隙310的密封效果。
69.通过在粘结工装200打第三定位孔组，以及在将粘结带111粘结至待粘结物体300时，首先对装配好的胶带组件100和粘结工装200进行定位，使第三定位孔组的定位孔与第四定位孔组的定位孔一一对齐，有利于保证粘结工装200的位置精度，进而有利于将粘结带
111精确地粘结于待粘结物体300和保证对待粘结缝隙310的密封效果。
70.具体地，本实施例中，第四定位孔组包括两个第四定位孔320。
71.具体地，本实施例中，粘结工装200呈矩形，第三定位孔组包括两个第三定位孔230，两个第三定位孔230均位于通槽211外侧，且设置于粘结工装200的对角。如此操作，第三定位孔组与通槽211内的胶带组件100的距离较远，能够有效避免将粘结工装200定位至待粘结物体300时对胶带组件100造成影响。
72.图3为本实施例提供的密封方法中胶带组件100的分解结构示意图，图5为本实施例提供的密封方法中粘结工装200的分解结构示意图。
73.综上，本实施例提供的密封方法，具体可以包括以下步骤：
74.s100制作粘结带111，如图2和图3所示，具体可以包括：s102在胶带110的两侧分别粘结保护膜120，形成胶带组件100；s104同时模切胶带110以及胶带110具有胶粘剂的一侧的保护膜120；在胶带组件100打第一定位孔组；
75.s200制作粘结工装200，如图4和图5所示，具体可以包括：s202层叠粘结至少两层支撑膜210；s204模切位于最外层的支撑膜210，得到用于容纳胶带110的通槽211；在层叠粘结好后的支撑膜210打第二定位孔组和第三定位孔组。
76.s300装配，如图6所示，使第一定位孔组的定位孔与第二定位孔组的定位孔一一对齐，将胶带110的背侧粘结至通槽211内；
77.s400粘结密封，如图7所示，使第三定位孔组的定位孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对齐，将粘结带111具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙310，并揭掉粘结工装200。
78.本实施例还提供一种粘结工装200，可以用于上述的密封方法，粘结工装200包括至少两层粘结的支撑膜210，且位于最外层的支撑膜210设置有通槽211，通槽211用于容纳粘结带111，粘结带111为与待粘结缝隙310形状匹配的胶带。
79.本实施例提供的粘结工装200，包括至少两层支撑膜210，使用时，先将胶带110的背侧粘结至粘结工装200的通槽211内，然后将粘结带111具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙310，并揭掉粘结工装200，即完成对待粘结缝隙310的密封。
80.本实施例提供的粘结工装200，支撑膜210对粘结带111起到支撑作用，使粘结带111不易发生变形而维持平整，从而密封待粘结缝隙310时，粘结带111的各部位能够同时与待粘结物体300接触，平整地粘结于待粘结物体300，严格地密封待粘结缝隙310；此外，粘结带111维持平整不变形，还有利于避免气泡的产生，进而保证密封效果。
81.具体地，本实施例中，粘结工装200设置有第二定位孔组，第二定位孔组的定位孔与胶带组件100的第一定位孔组的定位孔一一对应，胶带组件100包括胶带110及层叠粘结于胶带110两侧的保护膜120。将模切和打孔后的胶带组件100粘结至粘结工装200的通槽211内前，可以先使胶带组件100的第一定位孔组的定位孔与粘结工装200的第二定位孔组的定位孔一一对齐，从而能够提高胶带组件100与粘结工装200的装配精度，进而有利于将粘结带111精确地粘结于待粘结物体300，保证对待粘结缝隙310的密封效果。
82.更具体地，第二定位孔组包括两个第二定位孔220，两个第二定位孔220与胶带组件100的两个第一定位孔130一一对应。
83.具体地，本实施例中，粘结工装200还设置有第三定位孔组，第三定位孔组的定位
孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对应。将粘结带111粘结至待粘结物体300前，可以先使粘结工装200的第三定位孔组的定位孔与待粘结物体300的第四定位孔组的定位孔一一对齐，从而能够提高粘结工装200的定位精度，进而有利于将粘结带111精确地粘结于待粘结物体300，保证对待粘结缝隙310的密封效果。
84.更具体地，第三定位孔组包括两个第三定位孔230，两个第三定位孔230与待粘结物体300的两个第四定位孔320一一对应。
85.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
86.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。