路径生成方法、装置、计算机设备和存储介质与流程

1.本发明涉及晶圆运输控制领域，具体涉及一种路径生成方法、装置、计算机设备和存储介质。


背景技术：

2.半导体工厂对晶圆传送盒（foup）的运送管理，运送的范围包括洁净室(fab)内部运送、洁净室（fab）与洁净室（fab）之间的运送、跨楼层的运送，运送的地点包括机台、存储仓、悬挂式暂存货架(ohb)、传送机（convery），其目标是减少机台之间运送时间，提升运送效率。
3.晶圆运输系统下达将晶圆从源地址送到目的地址的传送指令后，当存在多种运输系统时，晶圆运输系统需要协调用何种运输系统来运输晶圆；而且当运输距离较远时，运输过程中需要用到至少一个中转站，且到中转站的路径节点均存在多条，如何通过各种已知线路的节点筛选中转站，并且如何从源地址、到中转站，进而到目的地址的多条通道中选择最合适路径就成为了当前技术的一个难题。


技术实现要素：

4.因此，为了克服上述现有技术的缺点，本发明提供一种路径生成方法、装置、计算机设备和存储介质。
5.为了实现上述目的，本发明提供一种路径生成方法，应用在物料管控系统上，包括：接收待运输晶圆的运输请求，所述运输请求包含所述待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点；根据所述运输路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的多条初始运输路径，所述初始运输路径携带有各所述运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；根据所述当前等待时间、所述预估当前转移时间和所述权重计算出不同所述初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的所述初始运输路径作为目标路径。
6.在其中一个实施例中，所述基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点，包括：获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据所述预设存储阈值、所述待运输晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储所述待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
7.在其中一个实施例中，所述当前等待时间的获取方法，包括：获取所述运输路由节点的排队晶圆清单；根据所述排队晶圆清单统计当前等待时间。
8.在其中一个实施例中，所述预估当前转移时间的获取方法，包括：根据所述初始运
输路径中的运输路由节点确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备；接收所述运输设备发送的当前输送速度；根据所述运输距离以及所述当前输送速度统计预估当前转移时间。
9.在其中一个实施例中，所述权重的获取方法，包括：根据控制所述待运输晶圆的运输设备的设备类型获取权重计算规则；当判定为传送设备时，统计在所述初始运输路径中的所有所述运输路由节点的当前等待时间，并生成权重系数；当判定为存储设备时，统计在所述初始运输路径中的所有所述运输路由节点的传输命令，并生成权重系数。
10.在其中一个实施例中，所述根据所述当前等待时间、所述预估当前转移时间和所述权重计算出不同所述初始运输路径的度量标准和，包括：获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及所述运输路由节点的存储参数计算所述运输路由节点的理论状态值；根据所述当前等待时间、所述预估当前转移时间、所述权重和所述理论状态值计算得到所述运输路由节点的度量标准；统计所述初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
11.本发明还提供了一种路径生成装置，所述装置包括：请求接收模块，用于接收待运输晶圆的运输请求，所述运输请求包含所述待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置；节点列表获取模块，用于获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；路由节点筛选模块，用于基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点；初始路径生成模块，用于根据所述运输路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的多条初始运输路径，所述初始运输路径携带有各所述运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；目标路径筛选模块，用于根据所述当前等待时间、所述预估当前转移时间和所述权重计算出不同所述初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的所述初始运输路径作为目标路径。
12.在其中一个实施例中，所述路由节点筛选模块包括：晶圆清单获取单元，用于获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；节点筛选单元，用于根据所述预设存储阈值、所述待运输晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储所述待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
13.本发明还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法的步骤。
14.本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。
15.与现有技术相比，本发明的优点在于：可以通过度量标准和筛选从初始储存位置以及目的储存位置中的可使用的最短路径，从而达到传送时间短的效果，并从路由节点列表中筛选可暂时存储所述待运输晶圆的运输路由节点从而保证运输设备到达各接收待运输晶圆的设备之间的传送均匀性，避免某些传送设备过于忙碌或是过于空闲，实现传送资源的充分利用。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
17.图1是本发明的实施例中路径生成方法的流程示意图；图2是本发明的实施例中路由节点示意图；图3是本发明的实施例中初始运输路径的列表；图4是本发明的实施例中各路由节点的参数列表；图5是本发明的实施例中路径生成装置的结构框图；图6为本发明的实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
18.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
19.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
20.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
21.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
22.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践方面。
23.如图1所示，本技术实施例提供一种路径生成方法，可以应用在终端或服务器上，终端可以但不限于是各种个人计算机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑和便携式智能设备，服务器可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现，在一个实施例中，路径生成方法应用在mcs系统中的终端或服务器上，方法包括以下步骤：步骤101，接收待运输晶圆的运输请求，运输请求包含待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置。
24.mcs（material control system）为物料管控系统，主要应用于半导体工厂对晶圆传送盒（foup）的运送管理，运送的范围包括洁净室(fab)内部运送、洁净室（fab）与洁净室
（fab）之间的运送、跨楼层的运送，运送的地点包括机台、存储仓、悬挂式暂存货架(ohb)、传送机（convery），其目标是减少机台之间运送时间，提升运送效率。在半导体工艺中晶圆的加工步骤由mes（面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统）统一管理，晶圆下一站去哪里由mes通知给mcs，mcs收到mes的运输请求后，对运输请求进行拆解，依据不同的出发地对象及目的地对象拆解生成不同的指令，生成指令可以从晶圆批次类型、批次优先级、目标存储器容量、中继存储站的最优路径等方面综合考量。
25.在mcs（material control system）为物料管控系统中，初始储存位置以及目的储存位置均可以是物料存储仓（stocker）或者半导体工作机台。mcs收到mes的运输请求，并对运输请求中待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置进行提取。如图2所示，a路由节点为待运输晶圆的初始储存位置，h路由节点为待运输晶圆的目的储存位置。
26.步骤102，获取由所有储存位置映射的路由节点列表，路由节点列表携带有与储存位置对应的路由节点的属性信息，属性信息包括存储状态信息和权重。
27.储存位置囊括在mcs系统的所有可以存储晶圆传送盒（foup）的地理地址，因而也包含初始储存位置以及目的储存位置的地理地址。一个路由节点可与一个储存位置对应，但一个储存位置可以与多个路由节点对应。一个储存位置可以具有至少一个晶圆传送盒（foup）的存储入口和晶圆传送盒（foup）的传送出口，存储入口和传送出口分别与一个路由节点对应。属性信息可以包含该路由节点可对接的传输设备、存储状态信息和权重等。权重是根据物料管控系统的历史数据中传输设备的工作频次得到的。存储状态信息可以包含该路由节点已存储的晶圆信息、该路由节点在特定时间段即将存储的晶圆信息等。如图2所示，a路由节点到b路由节点仅可以通过rgvc（轨道引导小车控制器）进行晶圆运输，a路由节点到c、i或g路由节点仅可以通过ohvc（悬挂式小车控制器）进行晶圆运输，b路由节点到d、e则可以通过存储仓内部的传输设备进行运输。
28.mcs系统中的服务器获取由所有储存位置映射的路由节点列表，路由节点列表携带有与储存位置对应的路由节点的属性信息，属性信息包括存储状态信息和权重。
29.步骤103，基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点。
30.mcs系统中的服务器基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点。服务器可以根据存储状态信息筛选出所有空闲的运输路由节点。
31.步骤104，根据运输路由节点确定初始储存位置以及目的储存位置的多条初始运输路径，初始运输路径携带有各运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间。
32.mcs系统中的服务器根据筛选出的运输路由节点、初始储存位置以及目的储存位置确定各节点之间的连线，并根据各节点之间的连线确定初始储存位置以及目的储存位置之间的多条初始运输路径。节点之间的连线表示节点之间存在可以运输晶圆的输送设备。如图3所示，服务器筛选出了7条a到h的初始运输路径。而后服务器可以基于步骤103中的存储状态信息生成晶圆运输到各运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间，如图4所示，在该图中第一列为运输起始节点，第二列为接收晶圆的接收节点，第三列为运输设备（x’fer device），r-time为当前等待时间，d-time为预估当前转移时间，weight为权重，current status为度量标准。
33.步骤105，根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径
的度量标准和，将筛选出最小度量标准和的初始运输路径设置为目标路径。
34.mcs系统中的服务器根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的初始运输路径作为目标路径。度量标准和等于初始运输路径中的所有路由节点的度量标准相加。度量标准是可以用于形容两个路由节点之间的几何路径值。具体的各路由节点的度量标准计算：r-time d-time (当前状态值*权重)，其中：r-time、d-time、权重值可以根据经验值需要设定的，也可以根据当前存储状态信息计算得到。当前状态值由系统自动算出，当前状态值可以根据设备的运输类型和存储类型计算得到。运输类型与运输设备使用的次数相关，存储类型与储存位置所在的储存仓的设定最小存储容量、最大存储容量、已使用的存储容量、计算平均r-time(等待转移开始的时间)等相关。
35.根据图4中的数据，可以统计a到h节点的七条路径的度量标准和分别为：1、a、b、d、f、h
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度量标准和：6602、a、b、e、g、h
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度量标准和：4903、a、c、d、f、h
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度量标准和：5504、a、c、e、g、h
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度量标准和：5955、a、i、j、f、h
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度量标准和：4956、a、i、k、g、h
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度量标准和：5507、a、g、h
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度量标准和：910因此，选择第二条，度量标准和为490的路径作为目标路径。
36.上述路径生成方法，可以筛选从初始储存位置以及目的储存位置中的可使用的最短路径，从而达到传送时间短的效果，并保证运输设备到达各接收待运输晶圆的设备之间的传送均匀性，避免某些传送设备过于忙碌或是过于空闲，实现传送资源的充分利用。
37.在其中一个实施例中，基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，包括：获取路由节点列表中状态为肯定状态的各路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据预设存储阈值、待运输晶圆以及晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
38.服务器获取路由节点列表中状态为肯定状态的各路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值。预设存储阈值可以包含路由节点所在的储存仓的最小存储容量和最大存储容量等。服务器可以根据各路由节点的排队晶圆清单统计已使用的存储容量。服务器根据预设存储阈值、待运输晶圆以及晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。每次运输任务被记为一个运输周次，因此路由节点的状态信息会随时发生变化。当路由节点处于接收晶圆状态或即将接收晶圆状态时，状态信息为否定信息；当路由节点处于空闲状态时，状态信息为肯定信息。
39.在其中一个实施例中，当前等待时间的获取方法，包括：获取运输路由节点的排队晶圆清单；根据排队晶圆清单统计当前等待时间。
40.服务器可以获取运输路由节点的排队晶圆清单；根据晶圆清单统计当前等待时间。排队晶圆清单可以包含当前已存储在运输路由节点的晶圆的存储时段和存储容量，还
可以包含即将存储在运输路由节点的晶圆的存储时段、存储容量和运输等待时间等。服务器根据晶圆清单统计当前等待时间。
41.在其中一个实施例中，预估当前转移时间的获取方法，包括：根据初始运输路径中的运输路由节点确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备；接收运输设备发送的当前输送速度；根据运输距离以及当前输送速度统计预估当前转移时间。
42.服务器根据初始运输路径中的各路由节点的地理位置确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备；服务器接收运输设备发送的当前输送速度；服务器根据运输距离以及当前输送速度统计预估当前转移时间。
43.在一个实施例中，权重的获取方法，包括：根据控制待运输晶圆的运输设备的设备类型获取权重计算规则；当判定为tsc设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的当前等待时间，并生成权重系数；当判定为stc设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的传输命令，并生成权重系数。
44.tsc设备为传送设备，并根据经验值生成权重系数。stc设备为存储设备，并根据经验值生成权重系数。经验值是根据物料管控系统的历史数据中传输设备的工作频次得到。
45.在其中一个实施例中，根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，包括：获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及运输路由节点的存储参数计算运输路由节点的理论状态值；根据当前等待时间、预估当前转移时间、权重和理论状态值计算得到运输路由节点的度量标准；统计初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
46.服务器获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及运输路由节点的存储参数获取运输路由节点的理论状态值，理论状态值是可以事先存储在映射表格中，理论状态值可以随着运输次数的增加而呈线性增加。服务器根据当前等待时间、预估当前转移时间、权重和理论状态值计算得到运输路由节点的度量标准，各运输路由节点的度量标准计算：r-time d-time (当前状态值*权重)，其中：r-time、d-time、权重值可以根据经验值需要设定的，也可以根据当前存储状态信息计算得到；统计初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
47.在一个实施例中，如图5所示，提供了一种路径生成装置，装置包括请求接收模块501、节点列表获取模块502、路由节点筛选模块503、初始路径生成模块504和目标路径筛选模块505。
48.请求接收模块501，用于接收待运输晶圆的运输请求，运输请求包含待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置。
49.节点列表获取模块502，用于获取由所有储存位置映射的路由节点列表，路由节点列表携带有与储存位置对应的路由节点的属性信息，属性信息包括存储状态信息和权重。
50.路由节点筛选模块503，用于基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点。
51.初始路径生成模块504，用于根据运输路由节点确定初始储存位置以及目的储存位置的多条初始运输路径，初始运输路径携带有各运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间。
52.目标路径筛选模块505，用于根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出
不同初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的初始运输路径作为目标路径。
53.在其中一个实施例中，路由节点筛选模块包括：晶圆清单获取单元，用于获取路由节点列表中状态为肯定状态的各路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值。
54.节点筛选单元，用于根据预设存储阈值、待运输晶圆以及晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
55.在其中一个实施例中，初始路径生成模块包括：排队晶圆清单获取单元，用于获取运输路由节点的排队晶圆清单。
56.当前等待时间统计单元，用于根据排队晶圆清单统计当前等待时间。
57.在其中一个实施例中，初始路径生成模块包括：节点确定单元，用于根据初始运输路径中的运输路由节点确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备。
58.输送速度接收单元，用于接收运输设备发送的当前输送速度。
59.当前转移时间预估单元，用于根据运输距离以及当前输送速度统计预估当前转移时间。
60.在其中一个实施例中，节点列表获取模块包括：类型获取单元，用于根据控制待运输晶圆的运输设备的设备类型获取权重计算规则。
61.权重系数生成单元，用于当判定为tsc设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的当前等待时间，并生成权重系数；当判定为stc设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的传输命令，并生成权重系数。
62.在其中一个实施例中，目标路径筛选模块包括：理论状态值计算单元，用于获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及运输路由节点的存储参数计算运输路由节点的理论状态值。
63.度量标准计算单元，用于根据当前等待时间、预估当前转移时间、权重和理论状态值计算得到运输路由节点的度量标准。
64.度量标准和计算单元，用于统计初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
65.关于路径生成装置的具体限定可以参见上文中对于路径生成方法的限定，在此不再赘述。上述路径生成装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
66.在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图6所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口和数据库。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的数据库用于存储属性信息等。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种路径生成方法。
67.本领域技术人员可以理解，图6中示出的结构，仅仅是与本技术方案相关的部分结构的框图，并不构成对本技术方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
68.在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，该存储器存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：应用在物料管控系统上，包括：接收待运输晶圆的运输请求，运输请求包含待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，路由节点列表携带有与储存位置对应的路由节点的属性信息，属性信息包括存储状态信息和权重；基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点；根据运输路由节点确定初始储存位置以及目的储存位置的多条初始运输路径，初始运输路径携带有各运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的初始运输路径作为目标路径。
69.在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，包括：获取路由节点列表中状态为肯定状态的各路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据预设存储阈值、待运输晶圆以及晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
70.在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的当前等待时间的获取方法，包括：获取运输路由节点的排队晶圆清单；根据排队晶圆清单统计当前等待时间。
71.在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的预估当前转移时间的获取方法，包括：根据初始运输路径中的运输路由节点确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备；接收运输设备发送的当前输送速度；根据运输距离以及当前输送速度统计预估当前转移时间。
72.在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的权重的获取方法，包括：根据控制待运输晶圆的运输设备的设备类型获取权重计算规则；当判定为传送设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的当前等待时间，并生成权重系数；当判定为存储设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的传输命令，并生成权重系数。
73.在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，包括：获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及运输路由节点的存储参数计算运输路由节点的理论状态值；根据当前等待时间、预估当前转移时间、权重和理论状态值计算得到运输路由节点的度量标准；统计初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
74.在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：应用在物料管控系统上，包括：接收待运输晶圆的运输请求，运输请求包含待运输晶圆的初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，路由节点列表携带有与储存位置对应的路由节点的属性信息，属性信息包括存储状态信息和权重；基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点；根据运输路由节点确定初始储存位置以及目的储存位置的多条初始运输路径，初始运输路径携带有各运输路由节点的当前等待时间和预估当前转移时
间；根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，筛选出最小度量标准和的初始运输路径作为目标路径。
75.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的基于存储状态信息从路由节点列表中筛选可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，包括：获取路由节点列表中状态为肯定状态的各路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据预设存储阈值、待运输晶圆以及晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储待运输晶圆的运输路由节点，并将不可存储待运输晶圆的路由节点在预设次数的运输周次中的状态设置为否定状态。
76.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的当前等待时间的获取方法，包括：获取运输路由节点的排队晶圆清单；根据排队晶圆清单统计当前等待时间。
77.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的根据初始运输路径中的运输路由节点确定各路由节点之间的运输距离以及与该运输距离对应的运输设备；接收运输设备发送的当前输送速度；根据运输距离以及当前输送速度统计预估当前转移时间。
78.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的权重的获取方法，包括：根据控制待运输晶圆的运输设备的设备类型获取权重计算规则；当判定为传送设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的当前等待时间，并生成权重系数；当判定为存储设备时，统计在初始运输路径中的所有运输路由节点的传输命令，并生成权重系数。
79.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的根据当前等待时间、预估当前转移时间和权重计算出不同初始运输路径的度量标准和，包括：获取运输设备在当前运输周次内的运输次数以及运输路由节点的存储参数计算运输路由节点的理论状态值；根据当前等待时间、预估当前转移时间、权重和理论状态值计算得到运输路由节点的度量标准；统计初始运输路径中各运输路由节点的度量标准和。
80.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。