用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器的制作方法

技术特征：
1.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：第一槽路电容器，具有第一端子，并且具有被耦合至接地的第二端子；第二槽路电容器，具有第一端子，并且具有被耦合至接地的第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第一开关电路将所述第一输出节点耦合至所述第一槽路电容器的所述第一端子，并且使所述第三开关电路将所述第二输出节点耦合至所述第二槽路电容器的所述第一端子；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；d)在第三阶段期间，使所述第一开关电路将所述第二输出节点耦合至所述第一槽路电容器的所述第一端子，并且使所述第三开关电路将所述第一输出节点耦合至所述第二槽路电容器的所述第一端子；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行d)、c)、b)和a)。2.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于mems设备的致动器。3.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间。4.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。5.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第四开关和第五开关，所述第四开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第五开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端
子之间。6.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第七开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。7.根据权利要求1所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。8.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点，并且使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；d)在第三阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第五开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行d)、c)、b)和a)。9.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于mems设备的致动器。10.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之
间。11.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。12.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第四开关和第五开关，所述第四开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第五开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间。13.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第七开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。14.根据权利要求8所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。15.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：第一槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第二槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第三开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第四开关电路，被配置为选择性地将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第五开关电路，被配置为选择性地将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第六开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在供应电压和/或接地之间；第七开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第七开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第一开关电路将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第五开关电路将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点；c)在第二阶段期间，使所述第二开关电路将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第四开关电路将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦
合至所述第二输出节点；d)在第三阶段期间，使所述第三开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；e)在第四阶段期间，使所述第四开关电路将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第二开关电路将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；f)在第五阶段期间，使所述第五开关电路将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第一开关电路将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点；g)在第六阶段期间，使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第七开关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行f)、e)、d)、c)、b)和a)。16.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于mems设备的致动器。17.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第二端子之间。18.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关和第四开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第四开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第二端子之间。19.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第五开关，所述第五开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。20.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关和第七开关，所述第六开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第七开关被耦合在所述第二输出节点与所述第二槽路电容器的所述第一端子之间。21.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述第一输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第九开关被耦合在所述第二输出节点与所述第一槽路电容器的所述第一端子之间。22.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第六开关电路包括第十开关和第十一开关，所述第十开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第十一开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。23.根据权利要求15所述的电荷恢复驱动器，其中所述第七开关电路包括第十二开关和第十三开关，所述第十二开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第十三开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。24.一种用于负载对的电荷恢复驱动器，包括：
槽路电容器，具有第一端子和第二端子；第一输出节点和第二输出节点，被耦合至所述负载对；第一开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至第一输出节点和/或第二输出节点；第二开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；第三开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点和/或所述第二输出节点；第四开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至接地；第五开关电路，被配置为选择性地将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至供应电压；第六开关电路，被配置为选择性地将所述第一输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；第七开关电路，被配置为选择性地将所述第二输出节点耦合在所述供应电压和/或接地之间；以及控制电路装置，被配置为：a)在初始阶段期间，使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至接地，并且使所述第七开关电路将所述第二输出节点耦合至所述供应电压；b)在第一阶段期间，使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点；c)在第二阶段期间，使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第五开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压，同时允许所述第二输出节点浮置；d)在第三阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点，并且使所述第四开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，同时允许所述第一输出节点浮置；e)在第四阶段期间，使所述第二开关电路将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合；f)在第五阶段期间，使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，并且使所述第四开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，同时允许所述第二输出节点浮置；g)在第六阶段期间，使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点，并且使所述第五开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压，同时允许所述第一输出节点浮置；h)在第七阶段期间，使所述第一开关电路将所述槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点，并且使所述第三开关电路将所述槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点；i)使所述第六开关电路将所述第一输出节点耦合至所述供应电压，并且使所述第七开
关电路将所述第二输出节点耦合至接地；以及执行h)、g)、f)、e)、d)、c)、b)和a)。25.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述负载对包括用于mems设备的致动器。26.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中c)和d)被交换顺序和/或f)和g)被交换顺序。27.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第一开关电路包括第一开关和第二开关，所述第一开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之间，并且所述第二开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第二端子之间。28.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第二开关电路包括第三开关，所述第三开关被耦合在所述第一输出节点与所述第二输出节点之间。29.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第三开关电路包括第四开关和第五开关，所述第四开关被耦合在所述第一输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间，并且所述第五开关被耦合在所述第二输出节点与所述槽路电容器的所述第一端子之间。30.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第四开关电路包括第六开关，所述第六开关被耦合在所述槽路电容器的所述第二端子与接地之间。31.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第五开关电路包括第七开关，所述第七开关被耦合在所述槽路电容器的所述第一端子与所述供应电压之间。32.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第六开关电路包括第八开关和第九开关，所述第八开关被耦合在所述供应电压与所述第一输出节点之间，并且所述第九开关被耦合在所述第一输出节点与接地之间。33.根据权利要求24所述的电荷恢复驱动器，其中所述第七开关电路包括第十开关和第十一开关，所述第十开关被耦合在所述供应电压与所述第二输出节点之间，并且所述第十一开关被耦合在所述第二输出节点与接地之间。34.一种操作电荷恢复驱动器的方法，所述方法包括：a)在初始阶段期间，将第一输出节点耦合至接地，并且将第二输出节点耦合至供应电压，同时使至少一个槽路电容器的第一端子和第二端子浮置；b)在第一中间阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器、并且从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点；c)在第二中间阶段期间，通过将所述第一输出节点和所述第二输出节点彼此耦合，同时使所述至少一个槽路电容器的所述第一端子和所述第二端子浮置，使所述第一输出节点与所述第二输出节点之间电荷均衡；d)在第三中间阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器、并且从所述至少一个
槽路电容器转移到所述第一输出节点；e)在最终阶段期间，将所述第一输出节点耦合至所述供应电压并且将所述第二输出节点耦合至接地，同时使至少一个槽路电容器的第一端子和第二端子浮置；执行d)、c)、b)和a)。35.根据权利要求34所述的方法，还包括：在执行c)之前，重复b)给定次数。36.根据权利要求34所述的方法，还包括：在执行e)之前，重复d)给定次数。37.根据权利要求34所述的方法，其中所述至少一个槽路电容器包括第一槽路电容器和第二槽路电容器；以及其中b)包括：b1)通过将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述第一槽路电容器、并且从所述第一槽路电容器转移到所述第一输出节点；以及b2)通过将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述第二槽路电容器、并且从所述第二槽路电容器转移到所述第一输出节点。38.根据权利要求37所述的方法，其中d)包括：d1)通过将所述第二槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述第二槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述第二槽路电容器、并且从所述第二槽路电容器转移到所述第一输出节点；以及d2)通过将所述第一槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述第一槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述第一槽路电容器、并且从所述第一槽路电容器转移到所述第一输出节点。39.根据权利要求34所述的方法，其中b)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：b1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及b2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。40.根据权利要求39所述的方法，其中d)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：d1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及d2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使
电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。41.根据权利要求35所述的方法，其中b)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：b1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及b2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。42.根据权利要求41所述的方法，其中d)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：d1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及d2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。43.根据权利要求36所述的方法，其中b)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：b1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第二输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及b2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第一输出节点，使电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。44.根据权利要求43所述的方法，其中d)被分成两个后续子阶段，所述后续子阶段能够以任何顺序被执行：d1)在第一中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述供应电压、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至所述第二输出节点，使电荷从所述第二输出节点转移到所述至少一个槽路电容器；以及d2)在第二中间子阶段期间，通过将所述至少一个槽路电容器的所述第一端子耦合至所述第一输出节点、并且通过将所述至少一个槽路电容器的所述第二端子耦合至接地，使电荷从所述至少一个槽路电容器转移到所述第一输出节点。

技术总结
本公开的实施例涉及用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器。一种电荷恢复驱动器用于负载对，并且包括被耦合至负载对的第一输出节点和第二输出节点。在初始阶段期间，第一输出节点是接地的，并且第二输出节点与供应电压相连。在第一阶段期间，第一输出节点被耦合至第一槽路电容器，并且第二输出节点被耦合至第二槽路电容器。在第二阶段期间，第一输出节点和第二输出节点被彼此耦合。在第三阶段期间，第二输出节点被耦合至第一槽路电容器，并且第一输出节点被耦合至第二槽路电容器。在第四阶段期间，第一输出节点被耦合至供应电压，并且第二输出节点被耦合至接地。然后第三阶段、第二阶段和第一阶段按照此顺序被重复。复。复。


技术研发人员：F
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/6/3