一种晶片盒信息RFID自动读取装置的制作方法

一种晶片盒信息rfid自动读取装置
技术领域
1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶片盒信息rfid自动读取装置。


背景技术：

2.现有技术中，一般晶片盒具有rfid芯片，但现有的8寸的ade9600平坦度检测设备不具备自动读取晶片盒信息的功能，目前流程如图7所示，需要人工在mes系统(英文：manufacturing execution system，中文：生产执行系统)中输入晶片盒信息，然后人工在mes系统下指令给eap系统，接着eap系统下指令给平坦度检测设备，最后平坦度检测设备才开始跑片，多次人工参与给自动化的厂线带来不便、增加了人工成本，同时也增加了手工录入信息出错风险。另外通过条形码扫描器读取晶片盒信息的方法，不能从根本上改进设备的自动化，还是需要通过人工在mes系统下指令给eap系统(equipment automation system)。


技术实现要素：

3.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种晶片盒信息rfid自动读取装置，以解决背景技术中提出的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
5.本实用新型提供一种晶片盒信息rfid自动读取装置，用于平坦度检测设备，所述平坦度检测设备包括晶片盒载台和eap系统，其特征在于，所述晶片盒信息rfid自动读取装置包括：
6.rfid读取器机构，所述rfid读取器机构包括rfid读取器，所述rfid读取器用于对晶片盒上的rfid芯片内部数据进行读取，所述晶片盒设置在晶片盒载台上；
7.安装架，所述rfid读取器机构通过所述安装架可拆卸连接在所述晶片盒载台上；
8.rfid主机，所述rfid读取器与所述rfid主机通讯连接，所述rfid主机用于接收和处理rfid读取器读取的数据，并将该数据传送给eap系统；
9.电源，所述电源与所述rfid主机电性连接。
10.所述安装架包括载板、连接板和安装板，所述载板可拆卸连接在晶片盒载台上，所述载板靠近rfid芯片的一端上表面或下表面上垂直可拆卸连接连接板，所述连接板远离载板的一端可拆卸连接在安装板的上表面或下表面上，所述安装板与载板平行设置。
11.所述载板的一端中部开设有u形孔，所述载板的中部开设有腰型孔一，所述载板通过两个紧固件分别穿过u形孔和腰型孔一固定在晶片盒载台上，所述载板远离u形孔的一端开设有两个连接孔，所述载板上表面或下表面上通过两个连接孔一可拆卸连接连接板。
12.所述连接板的一端设有与两个连接孔一相对应的连接孔二，所述连接板远离连接孔二的一端开设两个腰型孔二，所述连接板通过紧固件穿过腰型孔二垂直固定在安装板上。
13.所述安装板上等间距开设两排安装孔，每排安装孔有3-8个，两排所述安装孔的行
间距和列间距相等，所述安装板的中心处开设两个与腰型孔二相对应的中心孔。
14.所述u形孔、腰型孔一和两个连接孔在一条直线上。
15.所述载板、连接板和安装板均呈厚度相同的矩形板状，所述载板的长度大于连接板和安装板。
16.所述rfid读取器机构还包括底板和卡扣，所述底板左右两侧的中部固定有卡扣，所述底板通过卡扣卡接rfid读取器，所述底板的前后两端对称开设有两个定位孔，所述rfid读取器机构通过四个紧固件分别依次穿过定位孔、安装孔可拆卸连接在安装板上。
17.优选地，所述紧固件为螺栓。
18.本实用新型的有益效果在于：
19.(1)本实用新型的晶片盒信息rfid自动读取装置可以自动读取晶片盒信息数据，并将该数据传送给eap系统，eap系统自动下指令给平坦度检测设备，平坦度检测设备接到指令后自动跑片，满足生产过程中自动化需求，可以减少生产人工成本，有效减少人工出错率和提高生产效率；
20.(2)本实用新型的晶片盒信息rfid自动读取装置，由于载板u形孔和腰型孔一的设置、安装板上多个安装孔的设置，可以使本实用新型自动读取装置整体相对于晶片盒在左右方向上进行位置调整；同时由于连接板上腰形孔二的设置，使得本实用新型自动读取装置整体相对于晶片盒前后方向位置可以微调，再者还可以在高度上进行微调，使适应不同型号晶片盒；
21.(3)本实用新型的安装方式采用螺栓可拆卸连接，充分利用晶片盒载台上原开设有的螺纹孔，无需另外打孔，线路连接也利用晶片盒载台相邻版块之间间隙中穿到晶片盒载台的下方，无需额外打孔，不会对晶片盒载台进行破坏。
22.(4)本实用新型结构简单、成本低，缩短了检测流程，操作方便，只要把晶片盒放置在晶片盒载台上即可正常跑片。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型实施例提供的一种晶片盒信息rfid自动读取装置的结构示意图；
25.图2为本实用新型的放大图；
26.图3为本实用新型中安装板一种安装状态示意图；
27.图4为本实用新型中安装板另一种安装状态示意图；
28.图5为本实用新型中载板的结构示意图；
29.图6为本实用新型中rfid读取器机构的结构示意图；
30.图7为现有技术和采用本实用新型改进后晶圆平坦度检测设备对晶片盒信息读取的流程图。
31.附图标记说明：
32.rfid读取器1、底板11、定位孔12、卡扣13；
33.安装架2、载板21、连接板22、安装板23、u形孔211、腰型孔一212、连接孔213、腰型孔二221、连接孔二222、安装孔231、中心孔232；
34.rfid主机3；
35.电源4；
36.eap系统5；
37.晶片盒6；
38.rfid芯片7；
39.晶片盒载台8，间隙81；
40.数据线9；
41.电源线10。
具体实施方式
42.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
43.平坦度检测设备，用于检测硅片平整度，其主要包括晶片盒载台8，eap系统5和mes系统，晶片盒载台8用于放置晶片盒6，晶片盒载台8相邻板块之间留有间隙81，如图2所示。平坦度检测设备的结构、连接关系和使用方法采用现有技术，这里不再赘述。
44.如图1-6所示，本实用新型提供了一种晶片盒信息rfid自动读取装置，包括rfid读取器机构、安装架2、rfid主机3和电源4；其中，
45.所述rfid读取器1通过所述安装架2固定在平坦度检测设备的晶片盒载台8上，并且rfid读取器1可以相对晶片盒6的位置进行前后左右和高度上的微调；
46.所述rfid读取器机构包括rfid读取器1，rfid读取器1的探头正对晶片盒6上的rfid芯片7设置，所述rfid读取器1用于对晶片盒6上的rfid芯片7内部数据进行读取，所述晶片盒6设置在平坦度检测设备的晶片盒载台8上；
47.如图2和图6所示，所述rfid读取器机构还包括底板11和卡扣13，所述底板11左右两侧的中部固定有卡扣13，所述底板11通过卡扣13卡接rfid读取器1，所述底板11的前后两端对称开设有两个定位孔12，所述rfid读取器机构通过四个螺栓分别依次穿过定位孔12螺纹固定在安装架2的安装板23上。
48.所述载板21靠近rfid芯片7的一端上表面或下表面上垂直螺纹固定连接板22，所述连接板22远离载板21的一端螺纹固定在安装板23的上表面或下表面上，所述安装板23与载板21平行设置。
49.如图3-5所示，所述安装架2包括载板21、连接板22和安装板23，所述载板21的一端中部开设有u形孔211，所述载板21的中部开设有腰型孔一212，所述载板21通过两个螺栓分别穿过u形孔211和腰型孔一212固定在晶片盒载台8上，载板21带有u形孔211的一端靠近晶片盒载台8边沿设置，通过u形孔211和腰型孔一212的设置，可以使安装架2整体在左右方向上进行位置调整。所述载板21螺纹固定在晶片盒载台8上，晶片盒载台8上原开设有螺纹孔，
无需另外打孔。
50.所述载板21远离u形孔211的一端开设有两个连接孔213，如图5所示，所述载板21上表面或下表面上通过两个连接孔一213螺纹固定连接板22，所述连接板22垂直于载板21设置，如图3和图4所示，所述连接板22的一端设有与两个连接孔一213相对应的连接孔二222，所述连接板22远离连接孔二222的一端开设两个腰型孔二221，所述连接板22通过螺栓穿过腰型孔二221垂直固定在安装板23上，所述安装板23上横向开设两排安装孔231，每排安装孔231有3-8个，本实施例中，每排安装孔231有4个，两排所述安装孔231的行间距和列间距相等，且等于底板11上相邻定位孔12之间的距离，所述安装板23的中心处开设两个与腰型孔二221相对应的中心孔232。
51.进一步地，所述u形孔211、腰型孔一212和两个连接孔213在一条直线上。
52.进一步地，所述载板21、连接板22和安装板23均呈厚度相同的矩形板状，所述载板21的长度大于连接板22和安装板23的长度。
53.所述rfid读取器1通过数据线9与所述rfid主机3连接，所述rfid主机3用于接收和处理rfid读取器1读取的数据，并将该数据传送给eap系统5；由于晶片盒载台8相邻版块之间留有间隙81，数据线9从晶片盒载台8相邻版块之间间隙81中穿到晶片盒载台8下方，无需额外打孔。所述rfid主机3具有独立ip地址，所述rfid主机3通过网线11与eap系统5连接。
54.所述电源4为24伏直流电，通过220伏工厂电经过变压器转化成24伏直流电，所述电源4与所述rfid主机3通过电源线10连接。
55.本实用新型的晶片盒信息rfid自动读取装置应用于平坦度检测设备，例如型号为kla ade9600平坦度检测设备。
56.工作原理：
57.如图7所示，晶片盒6放置于平坦度检测设备的晶片盒载台8上，电源4通电后，rfid读取器1通过探头自动读取晶片盒6上的rfid芯片7内部数据，并将该数据传送至rfid主机3，rfid主机3接收和处理rfid读取器1读取的数据，并将该数据传送给eap系统5，eap系统5自动下指令给平坦度检测设备，最后平坦度检测设备执行命令跑片。
58.同时，本实用新型可以根据实际需求调节rfid读取器1的位置，具体左右方向调节方式有以下几种：
59.(1)由于晶片盒载台8上的螺纹孔位置时固定的(图2中载板21上u形孔211和腰型孔一212中两个螺栓所在的位置)，通过移动载板21，调整螺栓在u形孔211和腰型孔一212中的位置，可以使本实用新型自动读取装置整体在左右方向上进行位置调整；
60.(2)当载板21位置固定时，连接板22的一端固定在载板21上，其另一端可以螺纹固定在安装板23的安装孔231上，也可以固定在中心孔232上，rfid读取器机构可以根据需要固定在安装板23的左、中、右三个位置，其中，当连接板22通过腰形孔二221固定在中心孔232上时，结构如图3所示；当连接板22通过腰形孔二221固定在安装孔231上时，仅需要一个螺栓从上到下穿过一个腰形孔二221和安装孔231即可，如图4所示；
61.(3)前后方向调节方法：由于腰形孔二221的设置，可以对rfid读取器1在前后方向上进行微调。
62.高度上也可以对rfid读取器1进行调节，调节方式有以下几种：
63.(1)在安装架2下方与晶片盒载台8之间所有螺栓的螺杆上加装螺母，可以使安装
架2整体高度提高，螺母的数量根据实际选择，可以为1-5个，数量不宜过多；
64.(2)通过调整连接板22的位置，使得连接板22的上表面位于安装板23的下方，或者使得连接板22的两端位于载板21和安装板23的下方，如此，安装架2整体提高一个连接板22的高度。
65.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
66.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
67.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
68.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
69.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
70.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。