一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构

1.本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构。


背景技术：

2.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。
3.目前，现有的单晶硅的硅片加工多角度调试结构存在如下问题：不便自动化控制稳定夹持单晶硅，无法自动化控制单晶硅的支撑角度、高度和倾斜度，难以高效高精度的进行加工，单晶硅的硅片加工调试较为不便，效率低。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，解决了不便自动化控制稳定夹持单晶硅，无法自动化控制单晶硅的支撑角度、高度和倾斜度，难以高效高精度的进行加工，单晶硅的硅片加工调试较为不便，效率低的技术问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板、内固定架和外固定架，所述置物板的顶部左端固定设有定夹板，所述定夹板的右端设有动夹板，所述动夹板的右端固定设有推杆，所述推杆的右端连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置固定设于所述置物板的顶部右端，所述内固定架设于所述置物板的下端，所述内固定架的底部固定设有第一底板，所述第一底板的顶部中间设有气缸，所述气缸的顶部连接有气压杆，所述气压杆的顶部固定设有支板，所述支板的顶部设有第一电机，所述第一电机的顶部连接有第一电机轴，所述第一电机轴的固定设于所述置物板的底部中间，所述外固定架设于所述内固定架的底部外端，所述外固定架的底部焊接有第二底板，所述外固定架的内侧上端转动连接有第二电机轴，所述第二电机轴的内侧端焊接有第三安装板，所述第三安装板通过螺栓连接于所述内固定架的外端，所述第二电机轴贯穿外固定架的外端连接有第二电机。
8.优选的，所述定夹板与动夹板的内侧端均为弧形结构，所述定夹板与动夹板的内侧端粘接有硅胶垫。
9.优选的，所述定夹板的右侧前后端均固定设有连杆，所述动夹板的左侧前后端均
固定设有液压套筒，所述连杆与液压套筒液压连接。
10.优选的，所述推杆的左端焊接有第一安装板，所述电动推杆装置的底部焊接有第二安装板，所述第一安装板与第二安装板均通过螺栓连接于所述动夹板的右端和所述置物板的顶部。
11.优选的，所述第一电机轴的顶部焊接有上安装板，所述第一电机的底部焊接有下安装板，所述上安装板与下安装板的外端一周通过螺栓分别连接于所述置物板的底部和所述支板的顶部。
12.优选的，所述支板的两侧固定分布有滑块，所述内固定架的内侧开设分布有滑槽，所述滑块内嵌滑动连接于滑槽的内部。
13.优选的，所述第二电机轴的底部固定设有eva垫块，所述eva垫块的底部固定设有支撑架，所述支撑架安装于外固定架的外端，所述支撑架的底部前后端焊接有加强筋。
14.(三)有益效果
15.该单晶硅的硅片加工多角度调试结构，通过在动夹板右端经过推杆连接的电动推杆装置，便于自动化控制滑动夹持单晶硅于定夹板之间，稳定性能高，通过在置物板下端经过第一电机轴连接的第一电机和气压杆下端连接的气缸，方便自动化控制旋转调节硅片加工角度和升降调节硅片加工高度，并且通过在内固定架外端经过第二电机轴贯穿外固定架连接的第二电机，方便调节其整体的前后倾斜度，适用于单晶硅的硅片加工多角度调试，自动化性能高，设计合理。
附图说明
16.图1为本发明的左前端俯视立体结构示意图；
17.图2为本发明的右前端俯视立体结构示意图；
18.图3为本发明的前视结构示意图；
19.图4为本发明的右前端仰视立体结构示意图；
20.图5为本发明的俯视结构示意图。
21.图中，置物板1、定夹板11、连杆111、硅胶垫112、动夹板12、液压套筒121、电动推杆装置13、推杆131、第一安装板132、第二安装板133、内固定架2、第一电机21、第一电机轴211、上安装板212、下安装板213、气缸22、气压杆221、第一底板23、第二电机24、第二电机轴241、eva垫块242、支撑架243、滑块25、滑槽26、支板27、第三安装板28、外固定架3、第二底板31。
具体实施方式
22.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
23.请参阅图1-图5，本发明实施例提供一种技术方案：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板1、内固定架2和外固定架3，所述置物板1的顶部左端固定设有定夹板11，所述定夹板11的右端设有动夹板12，所述动夹板12的右端固定设有推杆131，所述推杆
131的右端连接有电动推杆装置13，所述电动推杆装置13固定设于所述置物板1的顶部右端，所述内固定架2设于所述置物板1的下端，所述内固定架2的底部固定设有第一底板23，所述第一底板23的顶部中间设有气缸22，所述气缸22的顶部连接有气压杆221，所述气压杆221的顶部固定设有支板27，所述支板27的顶部设有第一电机21，所述第一电机21的顶部连接有第一电机轴211，所述第一电机轴211的固定设于所述置物板1的底部中间，所述外固定架3设于所述内固定架2的底部外端，所述外固定架3的底部焊接有第二底板31，稳定支撑于台面，所述外固定架3的内侧上端转动连接有第二电机轴241，所述第二电机轴241的内侧端焊接有第三安装板28，所述第三安装板28通过螺栓连接于所述内固定架2的外端，所述第二电机轴241贯穿外固定架3的外端连接有第二电机24。
24.进一步改进地，所述定夹板11与动夹板12的内侧端均为弧形结构，所述定夹板11与动夹板12的内侧端粘接有硅胶垫112，稳定防滑的夹持单晶硅，安全有效。
25.进一步改进地，所述定夹板11的右侧前后端均固定设有连杆111，所述动夹板12的左侧前后端均固定设有液压套筒121，所述连杆111与液压套筒121液压连接，液压式伸缩控制，稳定可靠，避免夹持偏移位置。
26.进一步改进地，所述推杆131的左端焊接有第一安装板132，所述电动推杆装置13的底部焊接有第二安装板133，所述第一安装板132与第二安装板133均通过螺栓连接于所述动夹板12的右端和所述置物板1的顶部，可快速拆装推杆131和电动推杆装置13组件，组合式结构，更加方便。
27.进一步改进地，所述第一电机轴211的顶部焊接有上安装板212，所述第一电机21的底部焊接有下安装板213，所述上安装板212与下安装板213的外端一周通过螺栓分别连接于所述置物板1的底部和所述支板27的顶部，可快速拆装第一电机轴211和第一电机21组件。
28.进一步改进地，所述支板27的两侧固定分布有滑块25，所述内固定架2的内侧开设分布有滑槽26，所述滑块25内嵌滑动连接于滑槽26的内部，辅助升降滑动调节，稳定性能高，安全限位。
29.具体改进地，所述第二电机轴241的底部固定设有eva垫块242，所述eva垫块242的底部固定设有支撑架243，缓冲减震，噪音小，所述支撑架243安装于外固定架3的外端，所述支撑架243的底部前后端焊接有加强筋，结构强度高，方便拆装，结构简单，承恩低。
30.实例1
31.本发明实施例提供一种技术方案：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板1、内固定架2和外固定架3，所述置物板1的顶部左端固定设有定夹板11，所述定夹板11的右端设有动夹板12，所述动夹板12的右端固定设有推杆131，所述推杆131的右端连接有电动推杆装置13，所述电动推杆装置13固定设于所述置物板1的顶部右端，所述定夹板11与动夹板12的内侧端均为弧形结构，所述定夹板11与动夹板12的内侧端粘接有硅胶垫112；所述定夹板11的右侧前后端均固定设有连杆111，所述动夹板12的左侧前后端均固定设有液压套筒121，所述连杆111与液压套筒121液压连接；所述推杆131的左端焊接有第一安装板132，所述电动推杆装置13的底部焊接有第二安装板133，所述第一安装板132与第二安装板133均通过螺栓连接于所述动夹板12的右端和所述置物板1的顶部。
32.实例2
33.本发明实施例提供一种技术方案：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，所述内固定架2设于所述置物板1的下端，所述内固定架2的底部固定设有第一底板23，所述第一底板23的顶部中间设有气缸22，所述气缸22的顶部连接有气压杆221，所述气压杆221的顶部固定设有支板27，所述支板27的顶部设有第一电机21，所述第一电机21的顶部连接有第一电机轴211，所述第一电机轴211的固定设于所述置物板1的底部中间，所述第一电机轴211的顶部焊接有上安装板212，所述第一电机21的底部焊接有下安装板213，所述上安装板212与下安装板213的外端一周通过螺栓分别连接于所述置物板1的底部和所述支板27的顶部；所述支板27的两侧固定分布有滑块25，所述内固定架2的内侧开设分布有滑槽26，所述滑块25内嵌滑动连接于滑槽26的内部。
34.实例3
35.本发明实施例提供一种技术方案：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，所述外固定架3设于所述内固定架2的底部外端，所述外固定架3的底部焊接有第二底板31，所述外固定架3的内侧上端转动连接有第二电机轴241，所述第二电机轴241的内侧端焊接有第三安装板28，所述第三安装板28通过螺栓连接于所述内固定架2的外端，所述第二电机轴241贯穿外固定架3的外端连接有第二电机24；所述第二电机轴241的底部固定设有eva垫块242，所述eva垫块242的底部固定设有支撑架243，所述支撑架243安装于外固定架3的外端，所述支撑架243的底部前后端焊接有加强筋。
36.工作原理：将单晶硅直接置于置物板1顶部的定夹板11和动夹板12之间，启动电动推杆装置13，自动化控制推杆131伸缩调节动夹板12的位置，使得动夹板12稳定夹持单晶硅于定夹板11之间，启动气缸22，控制气压杆221升降调节支板27的高度，以便于调节置物板1上单晶硅的高度，同时启动第一电机21，自动化控制第一电机轴211转动，使得置物板1上单晶硅的旋转调节角度，启动第二电机24，自动化控制第二电机轴241转动，使得内固定架2整体翻转调节，调节置物板1上单晶硅的倾斜度，适用于单晶硅的硅片加工自动化多角度调试。
37.本发明的置物板1、定夹板11、连杆111、硅胶垫112、动夹板12、液压套筒121、电动推杆装置13、推杆131、第一安装板132、第二安装板133、内固定架2、第一电机21、第一电机轴211、上安装板212、下安装板213、气缸22、气压杆221、第一底板23、第二电机24、第二电机轴241、eva垫块242、支撑架243、滑块25、滑槽26、支板27、第三安装板28、外固定架3、第二底板31，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本发明解决的问题是不便自动化控制稳定夹持单晶硅，无法自动化控制单晶硅的支撑角度、高度和倾斜度，难以高效高精度的进行加工，单晶硅的硅片加工调试较为不便，效率低，本发明通过上述部件的互相组合，便于自动化控制滑动夹持单晶硅于定夹板之间，自动化控制旋转调节硅片加工角度和升降调节硅片加工高度，并且方便调节其整体的前后倾斜度，适用于单晶硅的硅片加工多角度调试，设计合理。
38.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说
明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
39.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。