一种高纯氮气净化装置的制作方法

1.本技术属于氮气净化技术领域，尤其涉及一种高纯氮气净化装置。


背景技术：

2.在半导体工业过程中,经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料,并且需要这些气体具有超高纯度。氮气用于某些惰性气氛中以进行金属处理，并用于灯泡中以防止产生电弧，但它不是化学惰性的。它是动植物生命中必不可少的元素，并且是许多有用化合物的组成部分。氮气净化时为保证氮气内不含有水汽，大多会通过除湿装置对氮气进行除湿处理。
3.在实现本技术过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题：现有的氮气净化装置，在进行氮气除湿时，大多直接将活性炭或吸水树脂等直接放置在净化装置内部进行除湿，除湿更换吸水物质的较为麻烦，需要对除湿装置整体进行拆卸，工作较为繁琐。
4.为此，我们提出来一种高纯氮气净化装置解决上述问题。


技术实现要素：

5.本技术的目的是为了解决现有技术中，现有的氮气净化装置，除湿更换吸水物质的较为麻烦，需要对除湿装置整体进行拆卸，工作较为繁琐的问题，而提出的一种高纯氮气净化装置。
6.为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高纯氮气净化装置，包括罐体以及安装在罐体顶部处的导通管，上述导通管远离上述罐体的一端对称导通安装有连通管，上述导通管和上述连通管的连接处安装有三通阀，上述连通管远离上述三通阀的一端固定有安装盘，上述安装盘上卡接安装有密封筒，上述安装盘上安装有辅助密封筒定位紧固的调节组件；
7.上述调节组件包括转动嵌设安装在安装盘内部的转环以及与上述转环配合且辅助上述密封筒插接定位的插接块，上述密封筒的内侧边上开设有供插接块插接的插接孔，上述安装盘内部开设有供上述插接块安装的腔槽，腔槽内设置有辅助上述插接块推动的顶出弹簧，上述插接块与上述转环之间连接有连接带，上述转环的一侧边上固定有转盘，且上述转盘伸出安装盘。
8.通过设置的调节组件，调节组件中的转环、转盘、连接带和顶出弹簧以及插接块等之间的配合，可以在工作过程中方便对用于初始的密封筒进行快速拆卸，能提高除湿装置更换时的整体效率，尽量避免出现除湿装置内部除湿介质不便更换的问题发生。
9.作为进一步的优选方案，上述转环的外侧边上嵌设安装有若干个辅助转动的滚珠，上述转环的外侧边上开设有供连接带绕设的绕设槽。
10.通过设置的滚珠，可以在工作过程中方便转环转动，进而尽量避免转环在转动的过程中出现卡死的问题。
11.作为进一步的优选方案，上述安装盘靠近密封筒的一侧边上一体成型固定有半圆
筒状的伸出筒，上述密封筒的内顶部处设置有与伸出筒配合卡接的配合筒。
12.通过设置的伸出筒和配合筒，能形成一个供气体通过的气腔，进而供过滤桶来对气体进行过滤。
13.作为进一步的优选方案，上述伸出筒顶部处通过若干个定位环分为若干个过滤腔，过滤腔内安装有辅助的过滤桶。
14.通过设置的若干个过滤腔，可以方便对过滤介质进行区分，进而在更换时尽量避免对整体的过滤介质进行更换，降低整体成本。
15.作为进一步的优选方案，上述伸出筒底部处突出设置有定位条，上述密封筒的内侧边底部处开设有供定位条滑动的导通槽。
16.通过设置的定位条和导通槽之间的配合，可以在安装时起到辅助导向定位的作用，方便密封筒的快速安装，尽量避免出现安装时定位不便造成无法有效安装的问题。
17.作为进一步的优选方案，上述罐体内部等距设置有固定环，上述固定环上放置安装有辅助催化的催化剂网。
18.通过设置的催化剂网，可以在工作时对气体中的氧气进行辅助催化，进而对氮气中的少量氧气进行去除，且不引入其他杂质气体。
19.作为进一步的优选方案，上述催化剂网底部外缘处固定有横截面为凸字形的定位柱，上述固定环上开设有定位槽，上述定位槽包括供上述定位柱穿设的穿过孔以及供上述定位柱定位滑动的滑槽。
20.通过设置的定位柱和定位槽之间的配合，可以在催化剂网损坏后进行快速的拆卸更换，降低维修时间，尽量避免通过多组螺栓固定拆卸不便的问题发生。
21.作为进一步的优选方案，上述罐体的外侧边开设有检修口，上述罐体的外侧边铰接安装有检修板，上述罐体通过支撑板辅助支撑。
22.通过设置的检修口，可以方便对罐体内部进行观察检修，尽量避免后续检修不方便的问题发生。
23.综上所述，本技术的技术效果和优点：该高纯氮气净化装置，通过设置在安装盘上的调节组件，调节组件中的转环、转盘、连接带和顶出弹簧以及插接块等之间的配合，可以在工作过程中方便对用于初始的密封筒进行快速拆卸，能提高除湿装置更换时的整体效率，尽量避免出现除湿装置内部除湿介质不便更换的问题发生，通过设置在密封筒上的导通槽以及伸出筒上的定位条之间的配合，可以在安装时能够实现快速定位安装，尽量避免出现安装时整体不便于定位安装的问题发生，通过安装在罐体内部的固定环、定位槽、限位槽和定位柱以及催化剂网之间的配合，可以对氮气内的氧气进行辅助催化处理，并在催化剂网损坏后能实现快速的定位更换，提高整体更换效率，保证工作进行。
附图说明
24.图1为本技术结构示意图；
25.图2为本技术安装盘对应调节组件处的纵向剖视图；
26.图3为本技术图1中a处的放大图；
27.图4为本技术罐体的整体剖视图；
28.图5为本技术罐体对应固定环处的横向剖视图。
29.图中：1、罐体；2、支撑板；3、导通管；4、三通阀；5、连通管；6、安装盘；61、过滤腔；7、密封筒；71、插接孔；72、导通槽；8、过滤桶；9、调节组件；10、转环；101、滚珠；102、转盘；11、连接带；12、顶出弹簧；13、插接块；14、固定环；141、定位槽；142、限位槽；15、定位柱；16、催化剂网。
具体实施方式
30.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
31.参照图1，一种高纯氮气净化装置，包括罐体1以及安装在罐体1顶部处的导通管3，导通管3远离罐体1的一端对称导通安装有连通管5，导通管3和连通管5的连接处安装有三通阀4，三通阀4的设置，可以在更换除湿介质时保证其中一组安装盘6内的除湿介质处于工作状态，连通管5远离三通阀4的一端固定有安装盘6，安装盘6上卡接安装有密封筒7，安装盘6上安装有辅助密封筒7定位紧固的调节组件9。
32.其中，罐体1的外侧边开设有检修口，罐体1底部处设置有进气口，罐体1的外侧边铰接安装有检修板，罐体1通过支撑板2辅助支撑，通过设置的检修口，可以方便对罐体1内部进行观察检修，尽量避免后续检修不方便的问题发生。
33.安装盘6靠近密封筒7的一侧边上一体成型固定有半圆筒状的伸出筒，密封筒7的内顶部处设置有与伸出筒配合卡接的配合筒，通过设置的伸出筒和配合筒，能形成一个供气体通过的气腔，进而供过滤桶8来对气体进行过滤。
34.参照图2和图3，调节组件9包括转动嵌设安装在安装盘6内部的转环10以及与转环10配合且辅助密封筒7插接定位的插接块13，通过设置的调节组件9，可以在工作过程中方便对用于初始的密封筒7进行快速拆卸，能提高除湿装置更换时的整体效率，尽量避免出现除湿装置内部除湿介质不便更换的问题发生，密封筒7的内侧边上开设有供插接块13插接的插接孔71，安装盘6内部开设有供插接块13安装的腔槽，腔槽内设置有辅助插接块13推动的顶出弹簧12，顶出弹簧12的设置可以在工作过程中辅助插接块13推出，避免出现插接块13在插接状态时回缩的问题发生，插接块13与转环10之间连接有连接带11，转环10的一侧边上固定有转盘102，且转盘102伸出安装盘6。
35.其中，转环10的外侧边上嵌设安装有若干个辅助转动的滚珠101，转环10的外侧边上开设有供连接带11绕设的绕设槽，通过设置的滚珠101，可以在工作过程中方便转环10转动，进而尽量避免转环10在转动的过程中出现卡死的问题。
36.参照图3，伸出筒顶部处通过若干个定位环分为若干个过滤腔61，过滤腔61内安装有辅助的过滤桶8，通过设置的若干个过滤腔61，可以方便对过滤介质进行区分，进而在更换时尽量避免对整体的过滤介质进行更换，降低整体成本。
37.伸出筒底部处突出设置有定位条，密封筒7的内侧边底部处开设有供定位条滑动的导通槽72，通过设置的定位条和导通槽72之间的配合，可以在安装时起到辅助导向定位的作用，方便密封筒7的快速安装，尽量避免出现安装时定位不便造成无法有效安装的问题。
38.参照图4、图5，罐体1内部等距设置有固定环14，固定环14上放置安装有辅助催化的催化剂网16，具体工作时，可通过进气口向罐体1内部通入对应容量的氢气，进而在催化
剂网16的作用下使氢气和氧气结合形成水分子，通过设置的催化剂网16，可以在工作时能对气体中的氧气进行辅助催化的作用，进而对氮气中的少量氧气进行去除，且不引入其他杂质气体。
39.催化剂网16底部外缘处固定有横截面为凸字形的定位柱15，固定环14上开设有定位槽141，定位槽141包括供定位柱15穿设的穿过孔以及供定位柱15定位滑动的滑槽。
40.具体工作时可在催化剂网16和固定环14上垂直钻设有限位槽142并通过定位销进行辅助定位处理，从而能尽量避免工作时催化剂网16位置发生改变造成固定不稳定的问题发生，通过设置的定位柱15和定位槽141之间的配合，可以在催化剂网16损坏后进行快速的拆卸更换，降低维修时间，尽量避免通过多组螺栓固定拆卸不便的问题发生。
41.工作原理：当需要对过滤桶8进行更换时，扭动三通阀4，使对应的一侧连通管5没有气体通过，扭动转盘102，转盘102转动时带动转环10转动，从而带动连接带11收卷，在收卷时带动插接块13向内移动，进而使插接块13从插接孔71处退出，即可完成密封筒7的快速拆卸，更换过滤桶8，安装时，将插接孔71与定位条之间配合定位，将密封筒7安装在伸出筒上推动，使插接孔71与插接块13配合定位即可进行定位，将检修板打开，拔出定位销，转动催化剂网16，使催化剂网16上的定位柱15与定位槽141之间配合拆卸，更换上新的固定环14即可完成新的固定环14的更换，氮气净化时采用催化氧化的方法对氮气中的少量氧气进行去除，且不引入其他杂质气体。
42.以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。