1.本实用新型涉及真空机组技术领域，且特别涉及一种二拖一高真空挡板阀。
背景技术：
2.由于真空机组在空间有限，只能选择小型号的扩散泵，但是抽速达不到客户要求，只能配两台小型号的扩散泵，但按正常摆放位置还是不够而且前级增加无形中又增加成本。
3.因此，如何在有限的空间内，我们尽量增加抽速，节约成本，减少占地面积，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现要素：
4.为了解决至少部分上述技术问题，本实用新型提供一种二拖一高真空挡板阀，其包括：
5.真空腔，其包括多个壁体，多个所述壁体围成真空内腔；所述壁体上开设有第一连接口和第二连接口，所述第一连接口用于连接第一扩散泵，所述第二连接口用于连接第二扩散泵，所述第一连接口和所述第二连接口设置在同一所述壁体上，或者，所述第一连接口和所述第二连接口设置在不同的所述壁体上；
6.设置在所述真空内腔中的挡板阀，所述挡板阀打开，满足所述第一扩散泵和所述第二扩散泵同时工作；
7.其中，至少一所述壁体包括硅胶结构，所述硅胶结构为该壁体的一部分，所述硅胶结构和非硅胶结构一体成型，所述硅胶结构具有弹性，所述硅胶结构受力后，可发生形变。
8.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述硅胶结构呈z字型折叠设置；所述z字型折叠可展开扩大硅胶结构面积，扩大包括所述硅胶结构的壁体面积，进而扩大所述真空内腔的容纳面积。
9.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述硅胶结构为扇形结构。
10.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述硅胶结构适用的温度范围为-80摄氏度～200摄氏度。
11.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述硅胶结构和所述非硅胶结构通过氧化硅膜一体成型。
12.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述真空腔为长方体。
13.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，所述硅胶结构设置在一所述壁体上，与该壁体相对应的壁体上设置有所述硅胶结构。
14.在某些实施方式中，所述的二拖一高真空挡板阀中，多个所述壁体一体成型设置。
15.本实用新型的有益效果如下：
16.1.本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀，其在真空腔内设置有二拖一挡板阀，两台扩散泵同时使用一台挡板阀同时也使用一套前级粗抽，在有限的空间内，我们尽量增
加抽速，节约成本，减少占地面积。
17.2.本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀，在真空腔的壁体中设置硅胶结构，利用硅胶材料的弹性形变，可增大真空腔的体积，同时弹性形变的可适性强，能更好地应用于真空机组中有限空间，最大限度地增大真空腔体积。
附图说明
18.图1为本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀的第一结构示意图；
19.图2为本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀的第二结构示意图；
20.图3为本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀中壁体的第一结构示意图；
21.图4为本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀中壁体的第二结构示意图。
22.附图标记：
23.1代表真空腔，11代表第一连接口，12代表第二连接口，13代表硅胶结构，14代表非硅胶结构，2代表挡板阀。
具体实施方式
24.下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
25.应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
26.如图1至图4所示，本实用新型提供一种二拖一高真空挡板阀2，包括：
27.真空腔1，其包括多个壁体，多个所述壁体围成真空内腔；所述壁体上开设有第一连接口11和第二连接口12，所述第一连接口11用于连接第一扩散泵，所述第二连接口12用于连接第二扩散泵，所述第一连接口11和所述第二连接口12设置在同一所述壁体上，或者，所述第一连接口11和所述第二连接口12设置在不同的所述壁体上；
28.设置在所述真空内腔中的挡板阀2，所述挡板阀2打开，满足所述第一扩散泵和所述第二扩散泵同时工作；
29.其中，至少一所述壁体包括硅胶结构13，所述硅胶结构13为该壁体的一部分，所述硅胶结构13和非硅胶结构14一体成型，所述硅胶结构13具有弹性，所述硅胶结构13受力后，可发生形变。
30.本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀，其在真空腔1内设置有二拖一挡板阀2，两台扩散泵同时使用一台挡板阀2同时也使用一套前级粗抽，在有限的空间内，我们尽量增加抽速，节约成本，减少占地面积。在真空腔1的壁体中设置硅胶结构13，利用硅胶材料的弹性形变，可增大真空腔1的体积，同时弹性形变的可适性强，能更好地应用于真空机组中有限空间，最大限度地增大真空腔1体积。
31.上述方案中，所述硅胶结构13呈z字型折叠设置；所述z字型折叠可展开扩大硅胶结构13面积，扩大包括所述硅胶结构13的壁体面积，进而扩大所述真空内腔的容纳面积。
32.当需要扩大真空内腔体积时，z字型折叠结构展开，硅胶结构13面积增大，进而达到扩大真空内腔体积的作用。
33.上述方案中，所述硅胶结构13为扇形结构。
34.扇形结构的突出面朝向真空腔1外，增大壁体表面积，进而达到扩大真空内腔体积的作用。
35.上述方案中，所述硅胶结构13适用的温度范围为-80摄氏度～200摄氏度。
36.适用于不同的工作环境。
37.上述方案中，所述硅胶结构13和所述非硅胶结构14通过氧化硅膜一体成型。
38.上述方案中，所述真空腔1为长方体。
39.上述方案中，所述硅胶结构13设置在一所述壁体上，与该壁体相对应的壁体上设置有所述硅胶结构13。
40.硅胶结构13相对应地设置在相对应的壁体上，且位置对称，有利于真空腔1的使用，在扩大真空内腔体积的同时，保证真空腔1的使用寿命。
41.上述方案中，多个所述壁体一体成型设置。
42.真空腔1密闭性好。
43.尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
技术特征：
1.一种二拖一高真空挡板阀，其特征在于，包括：真空腔，其包括多个壁体，多个所述壁体围成真空内腔；所述壁体上开设有第一连接口和第二连接口，所述第一连接口用于连接第一扩散泵，所述第二连接口用于连接第二扩散泵，所述第一连接口和所述第二连接口设置在同一所述壁体上，或者，所述第一连接口和所述第二连接口设置在不同的所述壁体上；设置在所述真空内腔中的挡板阀，所述挡板阀打开，满足所述第一扩散泵和所述第二扩散泵同时工作；其中，至少一所述壁体包括硅胶结构，所述硅胶结构为该壁体的一部分，所述硅胶结构和非硅胶结构一体成型，所述硅胶结构具有弹性，所述硅胶结构受力后，可发生形变。2.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述硅胶结构呈z字型折叠设置；所述z字型折叠可展开扩大硅胶结构面积，扩大包括所述硅胶结构的壁体面积，进而扩大所述真空内腔的容纳面积。3.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述硅胶结构为扇形结构。4.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述硅胶结构适用的温度范围为-80摄氏度～200摄氏度。5.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述硅胶结构和所述非硅胶结构通过氧化硅膜一体成型。6.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述真空腔为长方体。7.根据权利要求6所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，所述硅胶结构设置在一所述壁体上，与该壁体相对应的壁体上设置有所述硅胶结构。8.根据权利要求1所述的二拖一高真空挡板阀，其特征在于，多个所述壁体一体成型设置。
技术总结
本实用新型提供一种二拖一高真空挡板阀，包括：真空腔，其包括多个壁体，壁体上开设有第一连接口和第二连接口；设置在真空内腔中的挡板阀，挡板阀打开，满足第一扩散泵和第二扩散泵同时工作；其中，至少一壁体包括硅胶结构，硅胶结构具有弹性，硅胶结构受力后，可发生形变。本实用新型所述的二拖一高真空挡板阀，能在有限的空间内，我们尽量增加抽速，节约成本，减少占地面积力。占地面积力。占地面积力。
技术研发人员：刘春雷 孙会民
受保护的技术使用者：沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/5/15
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