交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品的制作方法

技术特征：
1.一种交联性弹性体组合物，其含有交联性弹性体、和表面被氧化的非氧化物系陶瓷填料。2.如权利要求1所述的交联性弹性体组合物，其中，非氧化物系陶瓷填料为碳化硅。3.如权利要求1或2所述的交联性弹性体组合物，其中，非氧化物系陶瓷填料的平均粒径为0.1μm以下。4.如权利要求1～3中任一项所述的交联性弹性体组合物，其中，所述交联性弹性体为四氟乙烯与全氟(烷基乙烯基醚)的共聚物。5.一种氟橡胶成型品，其在下述条件下的o2等离子体照射后的重量减少率为2.5质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，nf3等离子体照射后的重量减少率为1.8质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，300℃、70小时下的压缩永久变形为50％以下，记样品：o型圈(as-568a-214)测定方法：(1)o2等离子体等离子体照射装置：icp高密度等离子体装置(samco inc.制造rie-101iph型)照射条件气体流量：16sccmrf输出功率：400wh压力：2.66pa蚀刻时间：30分钟温度：100℃全氟弹性体(非填料)的蚀刻速度相当于分钟的条件；(2)nf3等离子体等离子体照射装置：icp高密度等离子体装置(samco inc.制造rie-101iph型)照射条件气体流量：16sccmrf输出功率：400wh压力：10pa蚀刻时间：4小时温度：200℃硅晶片热氧化膜(sio2)的蚀刻速度相当于分钟的条件。

技术总结
本发明的目的在于提供一种交联性弹性体组合物，其在特定条件下的等离子体照射后的重量减少率与颗粒产生量、以及高温下的压缩永久变形小。本发明涉及一种交联性弹性体组合物和氟橡胶成型品，组合物含有交联性弹性体、和表面被氧化的非氧化物系陶瓷，氟橡胶成型品在特定条件下的O2等离子体照射后的重量减少率为2.5质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，NF3等离子体照射后的重量减少率为1.8质量％以下，颗粒产生量为0.05质量％以下，300℃、70小时下的压缩永久变形为50％以下。小时下的压缩永久变形为50％以下。


技术研发人员：平野诚一 野口刚
受保护的技术使用者：大金工业株式会社
技术研发日：2018.10.17
技术公布日：2022/5/10