一种用于MPW产品测试数据自动区分归类的方法与流程

一种用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法
技术领域
1.本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法。


背景技术：

2.芯片开发过程中，设计者为了验证不同种类的设计对芯片参数及性能所产生的影响，往往会选择在同一块掩模版中放入不同设计的图形—mpw产品。从而实现在同一枚晶圆上看到不同类型设计产品的参数及性能表现。
3.由于晶圆测试机台不具备按照mpw设计排布进行测试和保存数据的功能。因此在晶圆测试后，为了分析晶圆上特定设计的晶粒(die)的测试数据，需要人工对原始数据进行按照设计区分的数据归类处理。
4.现有mpw测试数据文件仅包含测试数据对应的测试样品晶粒(die)的坐标数据，无法直接标识测试样品对应的mpw设计名称。
5.现有mpw测试数据区分归类方法：1、在测试过程中，在测试现场确认测试的第一个样品晶粒所对应的设计名称和坐标；2、按照mpw的设计排布，对所有样品坐标进行除法计算取余数；例如，设计排布是三行四列，则对x坐标除以4，y坐标除以3，并分别取余数；3、按照坐标余数进行归类，相同余数的为相同设计名的样品晶粒测试数据；4、通过步骤1在测试现场确认的设计名称和坐标的对应关系，利用mpw设计排布的相对位置，推算出其余设计名称与坐标余数的对应关系；5、通过步骤4得出的设计名称与坐标余数的对应关系，将步骤3对余数归类后的测试数据附上对应的设计名称。


技术实现要素：

6.鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法，用于解决现有技术中的mpw测试数据不能直接标识测试样品对应的mpw设计名称的问题。
7.为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法，
8.步骤一、提供工作表对话框，在所述工作表对话框中设置mpw掩膜版设计排布的行列数；
9.步骤二、提供原始测试数据文件，所述原始测试数据文件中包含mpw产品晶粒所对应的坐标x、y；根据所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y获取行列最大值r、c；之后根据所述行列最大值r、c建立二维数组；将所述二维数组初始化为0；
10.步骤三、将所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y进行比较，若所述原始测试数据文件中某测试坐标有测试数据，则将对应的所述二维数组的对应位置数据设置为1；
11.步骤四、遍历所述二维数组，判断所述原始测试数据文件是否有测试数据，若无测
试数据，则继续遍历；若有测试数据，则将所述测试数据替换为设计名称。
12.步骤五、在所述原始测试数据文件中的坐标列前添加设计名称列，将所述坐标与所述二维数组的坐标进行匹配，将所述二维数组内的所述设计名称复制到对应的所述原始测试数据文件中的所述坐标前的所述设计名称列中。
13.优选地，步骤一中通过弹出所述工作表对话框，在所述工作表对话框中进行设置所述mpw掩膜版设计排布的行列数。
14.优选地，步骤二中所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y一一对应。
15.优选地，步骤三中将所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y进行比较的方法为通过测试抽样与程序矩阵定位比较的方法。
16.优选地，步骤四中当判断所述原始测试数据文件有测试数据时，按照步骤一中所述mpw掩膜版设计排布，将所述测试数据替换为设计名称。
17.优选地，步骤五中实现mpw按自定义设计排布自动区分归类。
18.如上所述，本发明的用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法，具有以下有益效果：本发明提出一种用于mpw产品对测试数据自动区分归类的方法，可任意定义掩模版上的mpw排布方式以及每种设计的名称，对测试数据按照设定实现一键自动区分归类，并在数据文件上自动添加“设计名称”信息列。
附图说明
19.图1显示为本发明的工作表对话框示意图；
20.图2显示为本发明中在工作表对话框中设置行数和列数后的示意图；
21.图3显示为本发明中全晶圆面内取10各shot的示意图；
22.图4显示为本发明中的二维数组示意图；
23.图5显示为本发明中的将二维数组替换为设计名称后的示意图；
24.图6显示为本发明中测试数据按二维数组的设计名称自动添加设计名称后的示意图；
25.图7显示为本发明的用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法流程图。
具体实施方式
26.以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
27.请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
28.本发明提供一种用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法，如图7所示，图7显示为本发明的用于mpw产品测试数据自动区分归类的方法流程图，该方法至少包括以下步骤：
29.步骤一、提供工作表对话框，在所述工作表对话框中设置mpw掩膜版设计排布的行列数；如图1所示，图1显示为本发明的工作表对话框示意图；
30.本发明进一步地，本实施例的步骤一中通过弹出所述工作表对话框，在所述工作表对话框中进行设置所述mpw掩膜版设计排布的行列数。图1中显示的所述工作表对话框，其中设置有待填写的所述mpw掩膜版设计排布的行数和列数。
31.步骤二、提供原始测试数据文件，所述原始测试数据文件中包含mpw产品晶粒所对应的坐标x、y；根据所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y获取行列最大值r、c；之后根据所述行列最大值r、c建立二维数组；将所述二维数组初始化为0；该步骤二对原始测试数据文件的x、y坐标数据获取行列最大值r,c。并根据行列最大值r,c，建立一个二维数组(r,c)，初始化为0,即(i,j)＝0。二维数组(r,c)即与原始测试数据的x、y坐标一一对应，即i＝x，j＝y。
32.本发明进一步地，本实施例的步骤二中所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y一一对应。
33.如图2所示，图2显示为本发明中在工作表对话框中设置行数和列数后的示意图。
34.步骤三、将所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y进行比较，若所述原始测试数据文件中某测试坐标有测试数据，则将对应的所述二维数组的对应位置数据设置为1；该步骤三将二维数组(r,c)与原始测试数据进行比较，如果数据文件中某测试坐标有测试数据，则将对应二维数组(r,c)对应位置数据设置为1，即(i,j)＝1。
35.如图3所示，图3显示为本发明中全晶圆面内取10各shot的示意图。
36.本发明进一步地，本实施例的步骤三中将所述二维数组与所述原始测试数据文件中的所述mpw产品晶粒所对应的坐标x、y进行比较的方法为通过测试抽样与程序矩阵定位比较的方法。
37.步骤四、遍历所述二维数组，判断所述原始测试数据文件是否有测试数据，若无测试数据，则继续遍历；若有测试数据，则将所述测试数据替换为设计名称。该步骤四按行遍历该二维数组(r,c)，判断(i,j)＝1，即该坐标是否有测试数据。如果为否，继续检索遍历；如果为是，按照步骤1中定义的mpw排布规则，将数据替换为对应的设计名称，即(i,j)＝design，其中design为设计名称。
38.本发明进一步地，本实施例的步骤四中当判断所述原始测试数据文件有测试数据时，按照步骤一中所述mpw掩膜版设计排布，将所述测试数据替换为设计名称。如图4所示，图4显示为本发明中的二维数组示意图。
39.步骤五、在所述原始测试数据文件中的坐标列前添加设计名称列，将所述坐标与所述二维数组的坐标进行匹配，将所述二维数组内的所述设计名称复制到对应的所述原始测试数据文件中的所述坐标前的所述设计名称列中。
40.该步骤五在原始测试数据文件的“坐标列”前添加“设计名称列”，将测试数据坐标与二维数组(r,c)坐标进行匹配，将二维数组(r,c)内的设计名称，复制到对应测试数据坐标前的“设计名称列”中。实现mpw按自定义设计排布自动区分归类。
41.图5显示为本发明中的将二维数组替换为设计名称后的示意图。
42.本发明进一步地，本实施例的步骤五中实现mpw按自定义设计排布自动区分归类。如图6所示，图6显示为本发明中测试数据按二维数组的设计名称自动添加设计名称后的示
意图。
43.综上所述，本发明提出一种用于mpw产品对测试数据自动区分归类的方法，可任意定义掩模版上的mpw排布方式以及每种设计的名称，对测试数据按照设定实现一键自动区分归类，并在数据文件上自动添加“设计名称”信息列。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
44.上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。