一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置

技术特征：
1.一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置，其特征在于，包括三维夹持臂模块(1)、凸形旋转台模块(2)、样品电极掩膜模块(3)，所述样品电极掩膜模块(3)固定在三维夹持臂模块(1)，所述凸形旋转台模块(2)设置在样品电极掩膜模块(3)的正下方，所述凸形旋转台模块(2)包括从下到上依次设置的旋转台(200)、凸型垫块(201)以及弹性泡棉胶(202)，所述旋转台(200)固定在显微镜的载物台上方，所述凸型垫块(201)固定在旋转台(200)上方，所述弹性泡棉胶(202)固定在凸型垫块(201)上方。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述三维夹持臂模块(1)包括夹持臂(100)、三维位移台(101)和垫块(102)，所述夹持臂(100)固定在三维位移台(101)，所述三维位移台(101)固定在垫块(102)上方，所述垫块(102)底部两侧带有u型槽，所述夹持臂(100)的一端设有深度的凹槽，所述样品电极掩膜模块(3)插入到凹槽内固定在夹持臂(100)上。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品电极掩膜模块(3)包括载玻片(300)和pdms(301)，所述pdms(301)固定在载玻片(300)的下表面，样品(302)放置在pdms(301)的下表面，所述载玻片(300)插入夹持臂(100)的凹槽内固定。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括紫外曝光灯模块(4)，所述紫外曝光灯模块(4)为紫外灯(400)灯珠阵列并联焊接在电路板上，并外接电源(401)，电路板固定在可上下调节高度的光学支杆上，紫外灯(400)灯珠阵列设置在样品电极掩膜模块(3)正上方。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在制备电极时，将载玻片(300)更换成电极掩膜板。

技术总结
本发明公开了一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置，包括三维夹持臂模块、凸形旋转台模块、样品电极掩膜模块，所述样品电极掩膜模块固定在三维夹持臂模块，所述凸形旋转台模块设置在样品电极掩膜模块的正下方，所述凸形旋转台模块包括从下到上依次设置的旋转台、凸型垫块以及弹性泡棉胶，所述旋转台固定在显微镜的载物台上方，所述凸型垫块固定在旋转台上方，所述弹性泡棉胶固定在凸型垫块上方。本发明通过三维夹持臂模块实现样品电极掩膜模块上样品的三维空间移动，通过旋转旋转台以实现样品之间相对角度的调节，通过弹性泡棉胶实现目标衬底的固定、对准接触过程出现的位移补偿，实现高产率、低污染的角度可调的范德华异质结及电极的制备。华异质结及电极的制备。华异质结及电极的制备。


技术研发人员：李元元 王天杰 张璐 张楚浩 芮婷 常建华
受保护的技术使用者：南京信息工程大学
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/4/29