一种超精密角传感器圆周角度检测系统的制作方法

技术特征：
1.一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：包括大理石平台(1)、莫氏锥结构组件(2)、旋转运动系统(3)、直线运动系统(4)、可调支脚组件(6)以及采集对比系统；可调支脚组件(6)位于大理石平台(1)下方，用于对大理石平台(1)进行调平；旋转运动系统(3)和直线运动系统(4)安装在大理石平台1的中心线上，旋转运动系统(3)的旋转轴中心线和直线运动系统(4)的定轴中心线重合；莫氏锥结构组件(2)包括旋转轴莫氏锥结构组件和定轴莫氏锥结构组件；检测时，被测角传感器的转子通过旋转轴莫氏锥结构组件安装在旋转运动系统(3)的旋转轴上，被测角传感器的定子通过定轴莫氏锥结构组件安装在直线运动系统(4)的定轴上；直线运动系统(4)能够带动被测角传感器的定子在平台上进行直线运动，从而调节被测角传感器的转子与定子达到被测角传感器标称的最佳距离；旋转运动系统(3)带动被测角传感器转子转动一定角度a，发送给采集对比系统；采集对比系统采集被测角传感器的转子实际转动角度b，并进行对比，若a＝b，则角传感器满足要求；否则，角传感器不满足要求。2.根据权利要求1所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：旋转运动系统(3)包括旋转运动系统伺服电机(7)、精密轴承(8)、旋转轴(9)、辅助轴承(12)、角度编码器(13)以及基座(14)；基座(14)安装在大理石平台(1)上，旋转运动系统伺服电机(7)安装在基座上，旋转轴(9)前端安装在精密轴承(8)上，后端安装在辅助轴承(12)上，精密轴承(8)和辅助轴承(12)均安装在基座上，安装到位后，旋转运动系统伺服电机(7)位于旋转轴(9)的中部；角度编码器(13)固定在旋转轴(9)后端面，用于检测旋转轴的角位置信息；旋转轴(9)靠近直线运动系统(4)的一端定义为前端，远离直线运动系统(4)的一端定义为后端；旋转运动系统伺服电机(7)能够驱动旋转轴(9)转动。3.根据权利要求2所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：直线运动系统(4)包括直线运动系统伺服电机(15)、滚珠丝杠直线导轨(16)、滑块结构(17)以及定轴支架结构组件(18)；滚珠丝杠直线导轨(16)固定安装在大理石平台(1)上，滑块结构(17)与滚珠丝杠直线导轨(16)滑动连接，所述定轴支架结构组件(18)包括定轴支架(19)和定轴(20)，定轴支架(19)固定在滑块结构(17)上，定轴(20)固定在定轴支架(19)上；直线运动系统伺服电机(15)安装在大理石平台(1)上，用于驱动滑块结构(17)沿滚珠丝杠直线导轨(16)做直线运动。4.根据权利要求3所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：直线运动系统(4)上还包括光电限位组件(5)，光电限位组件(5)包括前光电限位件(23)、后光电限位件(24)、限位拨叉(25)以及光电探测装置；前光电限位件(23)安装在滚珠丝杠直线导轨(16)的侧面前端位置，后光电限位件(24)安装在滚珠丝杠直线导轨(16)的侧面后端位置，限位拨叉(25)固定安装在滑块结构(17)的侧边，限位拨叉(25)随滑块结构(17)运动，当限位拨叉(25)运动中触碰到前光电限位件(23)或后光电限位件(24)时，前光电限位件(23)或后光电限位件(24)向光电探测装置发送光电信号，光电探测装置接收到光电信号后向直线运动系统伺服电机(15)发送停止工作指令，直线运动系统伺服电机(15)停止驱动滑块结构(17)，滑块结构(17)停止运动；
滚珠丝杠直线导轨(16)靠近旋转运动系统(3)的一端定义为前端，远离旋转运动系统(3)的一端定义为后端。5.根据权利要求4所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：旋转轴莫氏锥结构组件包括旋转轴莫氏锥套(10)和旋转轴锥柄(11)，定轴莫氏锥结构组件包括定轴莫氏锥套(21)和定轴莫氏锥柄(22)；旋转轴莫氏锥套(10)的大端开口固定在旋转轴前端，旋转轴锥柄(11)插入旋转轴莫氏锥套(10)的小端开口处，被测角传感器转子固定在旋转轴锥柄(11)上；定轴莫氏锥套(21)的大端开口固定在定轴前端，定轴莫氏锥柄(22)插入定轴莫氏锥套(21)的小端开口处，被测角传感器定子固定在定轴莫氏锥套21上。6.根据权利要求1所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：可调支脚组件(6)包括支脚座(28)、支柱(26)和锁紧螺母(27)；支脚座(28)上加工有柱形槽，支柱(26)一端置于所述柱形槽中，支柱(26)和支脚座(28)通过锁紧螺母(27)固定，支柱(26)另一端与大理石平台(1)螺纹连接；松开锁紧螺母(27)，能够调节支柱(26)伸出支脚座(28)柱形槽的高度，调节到位后，拧紧锁紧螺母(27)，从而实现大理石平台(1)平面高度的调节。7.根据权利要求6所述的一种超精密角传感器圆周角度检测系统，其特征在于：共有三个可调支脚组件(6)，三个可调支脚组件(6)在大理石平台(1)下表面呈等腰三角形分布。

技术总结
一种超精密角传感器圆周角度检测系统，包括：大理石平台、旋转运动系统、直线运动系统、莫氏锥结构组件、光电限位组件、可调支脚组件、采集对比系统。该系统提供精确的旋转运动和直线运动，其中莫氏锥结构组件实现批量化被测产品统一的定位、安装以及测量基准，旋转运动系统实现自动化的角位置精确定位，直线运动系统实现水平相对位置精确定位。智能化的超精密角传感器圆周角度测量标定系统具有全自动化、标准化、一体化的测量功能，解决了高精度角位移的智能化测量以及稳定性、重复性、一致性和工作效率问题，可用于精密角度传感器的检测，为批量化生产高性能角度传感器产品提供良好的测试和标定环境。测试和标定环境。测试和标定环境。


技术研发人员：鲍诺 王立 孙佳晋 王晓燕 钟正虎 桂普国
受保护的技术使用者：北京控制工程研究所
技术研发日：2021.12.16
技术公布日：2022/4/1