一种抛光面型修正中心加压自动计算的方法与流程

1.本发明涉及抛光加工技术领域，具体为一种抛光面型修正中心加压自动计算的方法。


背景技术：

2.由于现在抛光机在修正面型数据时，需要操作员使用千分表测量贴在陶瓷盘上的硅片的内外厚度差，根据厚度差、抛光垫使用时间、抛光液使用时间等各种影响因素，操作员再依照自己的经验值设定抛光机的中心加压来调整硅片加工后的面型数据，经验值往往不会准确，所以经常需要多次调整，才能达到要求的数值，非常浪费时间和材料，而且加工数据不稳定，操作员难度非常大。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种抛光面型修正中心加压自动计算的方法，以解决上述背景技术中提出的由于现在抛光机在修正面型数据时，需要操作员使用千分表测量贴在陶瓷盘上的硅片的内外厚度差，根据厚度差、抛光垫使用时间、抛光液使用时间等各种影响因素，操作员再依照自己的经验值设定抛光机的中心加压来调整硅片加工后的面型数据，经验值往往不会准确，所以经常需要多次调整，才能达到要求的数值，非常浪费时间和材料，而且加工数据不稳定，操作员难度非常大。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种抛光面型修正中心加压自动计算的方法，其自动计算方法包括以下步骤：
5.s1、首先上料通过面型数据采集模块进行实时测量硅片内外厚度数据，并且通过无线传输模块将采集的测量数据传输给面型数据转换模块进行实时转换，在这传输至数据计算监控模块进行实时储存，同时通过液位传感器、温度传感器和计时器对抛光液的使用情况数据进行实时监测，通过抛光液使用数据收集装置进行实时记录。
6.s2、然后通过抛光垫检测传感器、温度传感器、计时器、清洗计时器和清洗次数检测器对抛光垫的使用数据和清洗数据进行实时监测，并且通过抛光垫使用收集装置进行实时采集，并且将如抛光液、抛光垫等参数的数据收集传输到数据计算监控模块。
7.s3、最后通过数据计算执行模块接受存储的各项数据计算需修改的中心加压值，通过数据显示监控模块显示在用户显示界面上，并发送给执行机构，执行机构根据接受的中心加压值修改，修改中心加压值后执行抛光作业，抛光完成后进行复测面型修正值。
8.优选的，所述数据计算执行模块用于存储收集的各部分相关数据和电感测头测量的硅片内外边厚度数值，并且根据收集的数据和硅片厚度数值计算所需要的中心加压值，各台抛光机之间数据传输。
9.优选的，所述数据显示监控模块用于显示测量的面型数据，计算的中心加压数值，抛光液和抛光垫使用时间、温度、等数值，监控设备运行中各部分的参数，下达测量、清零等各项操作。
10.优选的，所述面型数据转换模块用于接收无线数据传输模块的测头测量数据，将数据转换成数据执行模块能识别的数据格式。
11.优选的，所述无线数据传输模块用于无线接收面型数据采集模块采集的测头测量值数据，将数据转发给数据转换模块，所述面型数据采集模块用于采集两个电感测头测量的硅片厚度数值。
12.优选的，所述抛光垫使用数据收集装置用于采集温度传感器测量的抛光垫温度，记录抛光垫使用的时间，监测抛光垫更换的状态，重置抛光垫使用时间，记录抛光垫清洗时间和抛光垫清洗后加工数量，记录抛光垫清洗次数。
13.优选的，所述抛光液使用数据收集装置用于采集温度传感器测量的抛光液温度，记录抛光液使用时间，监测抛光液液位和加液泵开关情况和加液时间，重置抛光液使用时间。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.本发明采用自动采集、计算、监控、修改模式，生产过程设备自动采集和测量数据，根据数据自动生成中心加压值，数据具有逻辑性，可控及稳定，使生产的产品面型数据稳定可控，生产过程设备自动运行，大大减少了人员操作，大大降低人员作业强度，大大减少人对产品的影响，设备能自动记录加工过程中的各项数据参数，增强后期产品过程的可追溯性。
附图说明
16.图1为本发明的具体方案流程框图
17.图2为本发明的抛光面型修正中心加压自动计算的方法流程图。
具体实施方式
18.下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
19.请参阅图1-2，本一种抛光面型修正中心加压自动计算的方法，其自动计算方法包括以下步骤：
20.s1、首先上料通过面型数据采集模块进行实时测量硅片内外厚度数据，并且通过无线传输模块将采集的测量数据传输给面型数据转换模块进行实时转换，在这传输至数据计算监控模块进行实时储存，同时通过液位传感器、温度传感器和计时器对抛光液的使用情况数据进行实时监测，通过抛光液使用数据收集装置进行实时记录。
21.s2、然后通过抛光垫检测传感器、温度传感器、计时器、清洗计时器和清洗次数检测器对抛光垫的使用数据和清洗数据进行实时监测，并且通过抛光垫使用收集装置进行实时采集，并且将如抛光液、抛光垫等参数的数据收集传输到数据计算监控模块。
22.s3、最后通过数据计算执行模块接受存储的各项数据计算需修改的中心加压值，通过数据显示监控模块显示在用户显示界面上，并发送给执行机构，执行机构根据接受的中心加压值修改，修改中心加压值后执行抛光作业，抛光完成后进行复测面型修正值。
23.本实施例中，数据计算执行模块用于存储收集的各部分相关数据和电感测头测量的硅片内外边厚度数值，并且根据收集的数据和硅片厚度数值计算所需要的中心加压值，各台抛光机之间数据传输。
24.本实施例中，数据显示监控模块用于显示测量的面型数据，计算的中心加压数值，抛光液和抛光垫使用时间、温度、等数值，监控设备运行中各部分的参数，下达测量、清零等各项操作，使得工作人员能够更加直观的观察和操作设定相关数据。
25.本实施例中，面型数据转换模块用于接收无线数据传输模块的测头测量数据，将数据转换成数据执行模块能识别的数据格式，使得执行机构能够进行有效的数据识别和分析判断，进而控制抛光加工器件的协调运行。
26.本实施例中，无线数据传输模块用于无线接收面型数据采集模块采集的测头测量值数据，将数据转发给数据转换模块，面型数据采集模块用于采集两个电感测头测量的硅片厚度数值，可使数据信号之间能够进行远程的传输，提高数据的实时共享性。
27.本实施例中，抛光垫使用数据收集装置用于采集温度传感器测量的抛光垫温度，记录抛光垫使用的时间，监测抛光垫更换的状态，重置抛光垫使用时间，记录抛光垫清洗时间和抛光垫清洗后加工数量，记录抛光垫清洗次数，对抛光垫的使用参数和相关状态进行实时监测。
28.本实施例中，抛光液使用数据收集装置用于采集温度传感器测量的抛光液温度，记录抛光液使用时间，监测抛光液液位和加液泵开关情况和加液时间，重置抛光液使用时间，可对抛光液的相关参数进行实时采集记录。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、工艺、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、工艺、物品或者设备所固有的要素。
30.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。