晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括晶圆固定机构，所述晶圆固定机构包括一供所述晶圆(1)进出的通道，且还包括：外壳(630)，所述晶圆固定机构设置于所述外壳(630)内，且所述外壳(630)对应所述通道的至少一端设置有用于供所述晶圆(1)进出的开口。2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述外壳(630)与所述驱动机构的执行端连接，并在其驱动下绕平行于水平面且垂直于所述通道的轴线旋转，以使所述通道平行或垂直于水平面。3.一种晶圆翻转系统，其特征在于，包括权利要求1或2所述的晶圆翻转装置(600)。4.根据权利要求3所述的晶圆翻转系统，其特征在于，还包括晶圆承载装置(700)，所述晶圆承载装置(700)用于承载由所述晶圆翻转装置(600)翻转为垂直状态的晶圆(1)。5.根据权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述晶圆承载装置(700)包括：至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，且至少一组所述承载晶圆梳组能够相对其他所述承载晶圆梳组升降，所述承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳(731)，以分别夹持垂直状态的所述晶圆(1)的相对两侧边缘，并配合承载所述晶圆(1)。6.一种晶圆固定机构，其特征在于，包括：水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱(610)，以配合支撑水平状态的晶圆(1)，且两所述支撑梳柱(610)之间形成供所述晶圆(1)进出的通道；周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱(620)，至少两个所述夹持梳柱(620)与所述支撑梳柱(610)相配合，以夹持位于所述支撑梳柱(610)上的所述晶圆(1)。7.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的两个夹持梳柱(620)，且两个所述夹持梳柱(620)的中心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。8.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少三个夹持梳柱(620)，且至少三个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。9.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括两两分设于所述通道两端的四个夹持梳柱(620)，四个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置重合。10.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑梳柱(610)包括多个支撑板(613)，多个所述支撑板(613)沿垂直于水平面的方向依次间隔层叠设置，以水平支撑多片所述晶圆(1)。11.根据权利要求9所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构还包括两个驱动组件二，所述驱动组件二用于驱动位于所述通道同一端的两个所述夹持梳柱(620)转动，所述驱动组件二包括驱动件、与所述驱动件的执行端连接的连杆(622)和两个传动件(623)，所述连杆(622)的两端分别设置有腰型孔(6221)，所述传动件(623)的一端与所述夹持梳柱(620)的一端固定，另一端伸入对应所述腰型孔(6221)内并能够沿所述腰型孔(6221)滑动，以带动对应所述夹持梳柱(620)旋转。12.根据权利要求10所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑梳柱(610)还包括沿
所述通道的高度方向设置的转轴(611)，多个所述支撑板(613)与所述转轴(611)连接，以在所述转轴(611)的旋转带动下靠近并支撑所述晶圆(1)，或远离并避让所述晶圆(1)。13.根据权利要求10所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持梳柱(620)包括多片夹持板(621)，所述夹持板(621)与对应所述支撑板(613)相配合，以接触对应所述支撑板(613)上的所述晶圆(1)边缘。14.根据权利要求12所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑板(613)通过连接件(612)与所述转轴(611)连接，且所述连接件(612)和所述支撑板(613)的任意一端之间设置有避让空间，所述避让空间用于所述支撑板(613)与所述晶圆(1)脱离时避让所述晶圆(1)。15.根据权利要求12所述的晶圆固定机构，其特征在于，多个所述支撑板(613)沿所述转轴(611)的周向设置有一列，且所述支撑板(613)的任意一端支撑所述晶圆(1)；或，多个所述支撑板(613)沿所述转轴(611)的周向至少设置有两列，且两列中的任意一列所述支撑板(613)支撑所述晶圆(1)。16.根据权利要求13所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持板(621)的端头设置有与所述晶圆(1)的厚度相配合的v型槽(6211)。17.根据权利要求13所述的晶圆固定机构，其特征在于，相邻所述夹持板(621)之间设置有间隙(6212)，且所述间隙(6212)与所述晶圆(1)相配合以供所述晶圆(1)穿过。18.根据权利要求13所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持梳柱(620)能够转动，以带动所述夹持板(621)远离并避让进出所述通道的晶圆(1)，或靠近并相互配合夹持位于所述支撑梳柱(610)上的晶圆(1)。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构，其中晶圆翻转装置包括晶圆固定机构，晶圆固定机构包括一供晶圆进出的通道，且还包括：外壳，晶圆固定机构设置于外壳内，且外壳对应通道的至少一端设置有用于供晶圆进出的开口。本实用新型通过设置在晶圆翻转装置内的晶圆固定机构实现对晶圆的固定，从而便于晶圆在水平状态和垂直状态之间转换，进一步地，晶圆固定机构通过水平支撑机构和周向夹持机构配合实现晶圆在水平状态或垂直状态的固定，并便于与其他设备协作完成晶圆转移。并便于与其他设备协作完成晶圆转移。并便于与其他设备协作完成晶圆转移。


技术研发人员：吴功 李国勇 郑英杰
受保护的技术使用者：上海大族富创得科技有限公司
技术研发日：2021.09.17
技术公布日：2022/3/22