用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法、装置和系统与流程

技术特征：
1.一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，包括如下步骤：s100、获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；s200、获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；s300、将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；s400、计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤s100中，所述对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像，包括：s110、将所述原图进行傅里叶变换到频谱空间，获得频谱图像；s120、将所述频谱图像输入高斯带通滤波器并对其图像频谱进行过滤，获取过滤频谱图像，其中，所述高斯带通滤波器的具体形式如下：其中：d(u，v)是频谱空间到原点的距离，d0是通过频带的中心频率，w是频带的宽度(u，v)是傅里叶变换后频谱图像的像素坐标，频谱图像中心点像素为坐标原点；s130、接收所述过滤频谱图像，并将所述过滤频谱图像经过傅里叶反变换处理，获得所述滤波图像。3.根据权利要求1或2所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤s300中，所述将所述模板图像与所述参考图像进行相减，获得差值图像，包括：获取步骤s200中进行对齐处理后的对齐结果；接收所述对齐结果，按照所述对齐结果移动所述模板图像并获取模板平移图像；将所述模板平移图像与所述参考图像进行相减，获得差值图像。4.根据权利要求1所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤s400中，所述计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果，包括：获取所述差值图像灰度值，并计算其方差；将所述方差与预设值进行对比判断：若所述方差小于所述预设值，则图像对齐成功；若所述方差大于所述预设值，则图像对齐失败，按照预设对齐处理方法再次对齐；获取并输出比对判断结果。5.一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，包括依次电性连接的原图滤波处理模块、对齐处理模块、差值图像获取模块和方差计算与判断模块，其中，原图滤波处理模块：用于获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；对齐处理模块：用于获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；差值图像获取模块：用于将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；
方差计算与判断模块：用于计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。6.根据权利要求5所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，所述原图滤波处理模块包括：过滤频谱图像获取模块、用于将所述原图输入高斯带通滤波器并对其图像频谱进行过滤，获取过滤频谱图像，其中，所述高斯带通滤波器的具体形式如下：其中：d(u，v)是频谱空间到原点的距离，d0是通过频带的中心频率，w是频带的宽度(u，v)是傅里叶变换后频谱图像的像素坐标，频谱图像中心点像素为坐标原点；频谱图像反变换处理模块：用于接收所述过滤频谱图像，并将所述过滤频谱图像经过傅里叶反变换处理，获得所述滤波图像。7.根据权利要求5或6所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，所述差值图像获取模块包括对齐结果获取模块：用于获取步骤s2中进行对齐处理后的对齐结果；图像平移模块：用于接收所述对齐结果，按照所述对齐结果移动所述模板图像并获取模板平移图像；图像相减处理模块：用于将所述模板平移图像与所述参考图像进行相减，获得差值图像。8.根据权利要求6所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，所述方差计算与判断模块包括：方差计算模块：用于获取所述差值图像灰度值，并计算其方差；方差对比判断模块：用于将所述方差与预设值进行对比判断：若所述方差小于所述预设值，则图像对齐成功；若所述方差大于所述预设值，则图像对齐失败，按照预设对齐处理方法再次对齐；输出模块：用于获取并输出比对判断结果。9.一种控制系统，其特征在于，包括：处理器；用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，所述处理器被配置为执行所述可执行指令时实现权利要求1至4中任意一项所述的用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法。10.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1至4中任意一项所述的方法。

技术总结
本申请涉及一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法、装置和系统，通过获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。能够提高缺陷检测过程中图像对齐的成功率，由于滤波去掉图像对齐中不必要的细节，和利用差值图像对对齐结果的准确判断，进而可以交叉使用多种对齐算法，发挥各自优势，本发明的图像对齐算法成功率显著提升，从而大幅提升对齐算法的准确率。对齐算法的准确率。对齐算法的准确率。


技术研发人员：陈晨
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
技术研发日：2021.10.13
技术公布日：2022/2/28