一种压电致动器以及电子设备的制作方法

1.本技术实施例涉及电路技术领域，尤其是一种压电致动器以及电子设备。


背景技术：

2.现有的电子设备中，有关于小型化电子设备、精密信息电子设备的发展十分迅速，对于能够执行非常短距离的定位控制的微型致动器的需求日益增长。
3.压电致动器是利用压电材料的逆压电效应制成的一种微型致动器。压电材料广泛地应用于压电致动器、精密定位台、触觉反馈机构、微型执行机构、振动发声装置等装置中。压电材料的逆压电效应是指当压电材料的两个电极之间存在电场时，压电材料会发生伸长或者收缩一类的机械变形。现有的压电材料通常采用过盈配合的方式装配于放大机构中组成压电致动器。当压电材料的两个电极之间存在电场时，压电材料发生机械变形，与之装配的放大机构会将压电材料的机械变形放大，这样便实现了压电致动的效果。
4.现有的压电致动器中，压电材料通常采用过盈配合的方式装配于位移放大机构内。由于过盈配合在装配过程中产生的公差较大，将压电材料装配于位移放大机构中之后，位移放大机构的放大作用会将公差所造成的位移误差放大，从而导致压电致动器的准确性差。


技术实现要素：

5.本技术提供了一种压电致动器以及电子设备，压电材料通过表贴的方式装配于位移放大机构，避免了由于过盈配合公差所造成的位移误差，提升了压电致动器的准确性。
6.本技术第一方面提供了一种压电致动器，所述压电致动器包括位移放大机构以及压电材料，所述位移放大机构包括第一斜梁、第二斜梁、横梁以及第一位移输出端；所述第一斜梁的第一端与所述第二斜梁的第一端通过所述第一位移输出端连接；所述横梁的第一端与所述第一斜梁的第二端连接，所述横梁的第二端与所述第二斜梁的第二端连接；所述压电材料表贴于所述横梁。
7.本技术中提供的压电致动器包括位移放大机构以及压电材料，位移放大机构中第一斜梁的第一端与第二斜梁的第一端通过第一位移输出端连接，横梁的第一端与第一斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第二斜梁的第二端连接，压电材料表贴于横梁。位移放大机构可以通过第一位移输出端将表贴于横梁的压电材料的形变放大。压电材料通过表贴的方式装配于位移放大机构，避免了由于过盈配合公差所造成的位移误差，提升了压电致动器的准确性。
8.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述位移放大机构还包括第三斜梁、第四斜梁以及第二位移输出端；所述第三斜梁的第一端与所述第四斜梁的第一端通过所述第二位移输出端连接；所述横梁的第一端与所述第三斜梁的第二端连接，所述横梁的第二端与所述第四斜梁的第二端连接。
9.该种可能的实现方式提供了另外一种位移放大机构的实现形式，该种位移放大机
构可以通过第一位移输出端以及第二位移输出端将压电材料的形变放大，通过两个输出端放大压电材料的形变可以进一步提升形变的放大的效果。
10.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述压电材料包括第一压电晶片；所述压电材料表贴于所述横梁，包括：所述第一压电晶片表贴于所述横梁的第一面。
11.该种可能的实现方式提供了一种位移放大机构的实现形式，提升了方案的可实现性。
12.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述压电材料还包括第二压电晶片，所述第二压电晶片表贴于所述横梁的第二面。
13.该种可能的实现方式提供了一种位移放大机构的实现形式，提升了方案的可实现性。
14.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述第一压电晶片与所述第二压电晶片对称表贴于横梁的第一面以及第二面。
15.该种可能的实现方式中，第一压电晶片与第二压电晶片可以对称表贴于横梁的两面上。第一压电晶片产生收缩或舒张形变时，收缩或舒张形变将会产生使横梁表面卷曲的应力，即方向位于横梁所在平面之外的应力。若第一压电晶片与第二压电晶片对称表贴于横梁的两面上，当第一压电晶片与第二压电晶片收缩或者舒张时，第一压电晶片与第二压电晶片两者产生的使横梁表面卷曲的应力将会抵消，压电致动器排除了卷曲应力的影响之后保证了位移控制的准确性。可选的，第一压电晶片与第二压电晶片在可以实现对称表贴的效果时，也可以采取非对称的方式表贴于横梁的两面上，具体此处不做限定。
16.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述第一压电晶片的极化方向与所述第二压电晶片的极化方向相同。
17.该种可能的实现方式中，若第一压电晶片的极化方向与第二压电晶片的极化方向相同，则第一压电晶片与第二压电晶片在相同方向的电场下，第一压电晶片与第二压电晶片将发生同样的变形。从而更易于实现控制器对于压电致动器的控制。
18.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述位移放大机构所采用的材料为导电材料，所述第一压电晶片远离横梁的一面渡有第一金属层，所述第二压电晶片远离第二横梁的一面渡有第二金属层，所述第一金属层为所述压电致动器的第一电极，所述第二金属层为所述压电致动器的第二电极。
19.该种可能的实现方式中，可选的，第一电极可以为电势高的电极，第二电极可以为电势低的电极。第一金属层可以与电源的正极连接，第二金属层可以与电源的负极连接。这样，第一金属层与第二金属层之间会产生一个由第二金属层指向第一金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。可选的，第一电极可以为电势低的电极，第二电极可以为电势高的电极。第一金属层可以与电源的负极连接，第二金属层可以与电源的正极连接。这样，第一金属层与第二金属层之间会产生一个由第一金属层指向第二金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。可选的，位移放大机构可以与地连接，位移放大机构与地连接之后将会形成零电势点，位移放大机构与第一金属层之间形成的电场以及位移放大机构与第二金属层之间形成的电场会更加稳定。可选的，位移放大机构也可以不与地连接，这样，压电致动器无需与地线连接，简化了包括压电致动器的电子设备内部的线路结构。
20.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述位移放大机构所采用的材料为不导电材料，所述第一压电晶片远离横梁的一面渡有第一金属层，所述第二压电晶片远离横梁的一面渡有第二金属层，所述第一压电晶片表贴于所述横梁的一面渡有第三金属层，所述第二压电晶片表贴于所述横梁的一面渡有第四金属层，所述第一金属层为所述压电致动器的第一电极，所述第二金属层为所述压电致动器的第二电极，所述第三金属层与所述第四金属层接地。
21.该种可能的实现方式中，可选的，第一电极可以为电势高的电极，第二电极可以为电势低的电极。第一金属层可以与电源的正极连接，第二金属层可以与电源的负极连接。第三金属层以及第四金属层接地。这样，第一金属层与第三金属层之间会产生一个由第三金属层指向第一金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第三金属层所在平面垂直。第二金属层与第四金属层之间会产生一个由第二金属层指向第四金属层方向的电场，且该电场的方向与第二金属层所在平面以及第四金属层所在平面垂直。可选的，第一电极可以为电势低的电极，第二电极可以为电势高的电极。第一金属层可以与电源的负极连接，第二金属层可以与电源的正极连接。这样，第一金属层与第三金属层之间会产生一个由第一金属层指向第三金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。
22.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述压电材料为压电陶瓷或者压电薄膜，所述压电薄膜为氮化铝aln薄膜或者锆钛酸铅pzt薄膜。
23.在第一方面的一种可能的实现方式中，所述位移放大结构为一体成型的一体件。
24.本技术第二方面提供了一种电子设备，该电子设备包括：压电致动器以及控制器；
25.该压电致动器受到来自于所述控制器所施加的不同方向的电场后，该压电致动器包括的位移输出端将根据所述不同方向的电场产生不同方向的位移。该压电致动器为上述第一方面或第一方面任意一种可能实现方式中所描述的压电致动器。
26.本技术实施例第三方面提供一种压电致动器的制造方法，该压电致动器的制造方法包括：
27.制备位移放大机构，所述位移放大机构包括第一斜梁、第二斜梁、横梁以及第一位移输出端，所述第一斜梁的第一端与所述第二斜梁的第一端通过所述第一位移输出端连接；所述横梁的第一端与所述第一斜梁的第二端连接，所述横梁的第二端与所述第二斜梁的第二端连接；
28.将压电材料表贴于所述位移放大机构的所述横梁。
29.从以上技术方案可以看出，本技术实施例具有以下优点：
30.本技术中提供的压电致动器包括位移放大机构以及压电材料，位移放大机构中第一斜梁的第一端与第二斜梁的第一端通过第一位移输出端连接，横梁的第一端与第一斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第二斜梁的第二端连接，压电材料表贴于横梁。位移放大机构可以通过第一位移输出端将表贴于横梁的压电材料的形变放大。压电材料通过表贴的方式装配于位移放大机构，避免了由于过盈配合公差所造成的位移误差，提升了压电致动器的准确性。
附图说明
31.图1为现有的压电致动器的结构示意图；
32.图2为本技术提供的一种电子设备的结构示意图；
33.图3为本技术提供的压电致动器的一结构示意图；
34.图4为本技术提供的压电致动器的一实施例示意图；
35.图5为本技术提供的压电致动器的一实施例示意图；
36.图6为本技术提供的压电致动器的另一结构示意图；
37.图7为本技术提供的压电致动器的一实施例示意图；
38.图8为本技术提供的压电致动器的一实施例示意图；
39.图9为本技术提供的压电致动器的另一结构示意图；
40.图10为本技术提供的压电致动器的另一结构示意图；
41.图11为本技术提供的压电致动器的另一结构示意图；
42.图12为本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图；
43.图13为本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图；
44.图14为本技术提供的压电致动器的另一结构示意图；
45.图15为本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图；
46.图16为本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
具体实施方式
47.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图，对本技术的实施例进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。本领域普通技术人员可知，随着新应用场景的出现，本技术实施例提供的技术方案对于类似的技术问题，同样适用。
48.本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或模块的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或模块，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。在本技术中出现的对步骤进行的命名或者编号，并不意味着必须按照命名或者编号所指示的时间/逻辑先后顺序执行方法流程中的步骤，已经命名或者编号的流程步骤可以根据要实现的技术目的变更执行次序，只要能达到相同或者相类似的技术效果即可。
49.现有的电子设备中，有关于小型化电子设备、精密信息电子设备的发展十分迅速，对于能够执行非常短距离的定位控制的微型致动器的需求日益增长。
50.压电致动器是利用压电材料的逆压电效应制成的一种微型致动器。压电材料广泛地应用于压电致动器、精密定位台、触觉反馈机构、微型执行机构、振动发声装置等装置中。压电材料的逆压电效应是指当压电材料的两个电极之间存在电场时，压电材料会发生伸长或者收缩一类的机械变形。现有的压电材料通常采用过盈配合的方式装配于放大机构中组成压电致动器。当压电材料的两个电极之间存在电场时，压电材料发生机械变形，与之装配
的放大机构会将压电材料的机械变形放大，这样便实现了压电致动的效果。
51.图1为现有的压电致动器的结构示意图。
52.请参阅图1，现有的压电致动器中，压电材料通常采用过盈配合的方式装配于位移放大机构内。由于过盈配合在装配过程中产生的公差较大，将压电材料装配于位移放大机构中之后，位移放大机构的放大作用会将公差所造成的位移误差放大，从而导致压电致动器的准确性差。
53.针对现有压电致动器所存在的上述问题，本技术提供了一种压电致动器。本技术中提供的压电致动器包括位移放大机构以及压电材料，位移放大机构中第一斜梁的第一端与第二斜梁的第一端通过第一位移输出端连接，横梁的第一端与第一斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第二斜梁的第二端连接，压电材料表贴于横梁。压电材料发生机械变形之后将会带动横梁产生机械变形，横梁两端相连接的第一斜梁以及第二斜梁也会相应产生机械变形，从而，第一位移输出端在第一斜梁以及第二斜梁的带动之下产生位移变化。这样，位移放大机构可以通过第一位移输出端将表贴于横梁的压电材料的形变放大。压电材料通过表贴的方式装配于位移放大机构，避免了由于过盈配合公差所造成的位移误差，提升了压电致动器的准确性。
54.图2本技术提供的一种电子设备的结构示意图。
55.请参阅图2，如图2所示，本技术提供的电子设备100包括：压电致动器101以及控制器102，其中，电子设备100中包括的压电致动器101可以是一个压电致动器，压电致动器101也可以是多个压电致动器，具体此处不做限定。
56.其中，压电致动器101与控制器102电连接，压电致动器101是用于根据控制器产生的电场来产生微小位移的元件。压电致动器101受到来自于控制器102所施加的不同方向的电场后，压电致动器包括的位移输出端将根据该不同方向的电场产生不同方向的位移。
57.基于图2所描述的电子设备的结构示意图，对本技术提供的压电致动器进行描述。
58.图3本技术提供的压电致动器的一结构示意图。
59.请参阅图3，如图3所示，本技术提供的压电致动器包括位移放大机构以及压电材料，位移放大机构包括第一斜梁、第二斜梁、横梁以及第一位移输出端。
60.第一斜梁的第一端与第二斜梁的第一端通过第一位移输出端连接。
61.横梁的第一端与第一斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第二斜梁的第二端连接；
62.压电材料表贴于横梁。
63.图4本技术提供的压电致动器的一实施例示意图。
64.如图4所示，本技术中，压电材料具有固定的极化方向，示例性的，假设压电材料的极化方向为由压电材料远离横梁的一面指向压电材料表贴于横梁的一面的方向，且压电材料的极化方向与压电材料表贴于横梁的一面垂直。若压电材料处于与其极化方向相同的电场a中，压电材料会发生收缩形变。由于压电材料与横梁表贴，压电材料发生收缩形变时会对横梁施加一个向内收缩的应力。相应的，横梁收到压电材料施加的收缩方向的应力后，横梁的第一端与横梁的第二端产生向横梁中心靠近的形变。从而，第一斜梁的第二端与第二斜梁的第二端也产生向横梁中心靠近的形变，第一斜梁的第一端以及第二斜梁的第一端连接的第一位移输出端向上移动，产生一段远离横梁的位移。
65.图5本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
66.如图5所示，本技术中，压电材料具有固定的极化方向，示例性的，假设压电材料的极化方向为由压电材料远离横梁的一面指向压电材料表贴于横梁的一面的方向，且压电材料的极化方向与压电材料表贴于横梁的一面垂直。若压电材料处于与其极化方向相反的电场b中，压电材料会发生舒张形变。由于压电材料与横梁表贴，压电材料发生舒张形变时会对横梁施加一个向外舒张的应力。相应的，横梁收到压电材料施加的舒张方向的应力后，横梁的第一端与横梁的第二端产生远离横梁中心的形变。从而，第一斜梁的第二端与第二斜梁的第二端也产生远离横梁中心的形变，第一斜梁的第一端以及第二斜梁的第一端连接的第一位移输出端向下移动，产生一段靠近横梁的位移。
67.本技术中，上述图4、图5所示实施例中所说明的压电材料的极化方向仅用于示例性说明，压电材料的极化方向还可以是其他方向，具体此处不做限定。同理，上述图4、图5所示实施例中所说明的电场方向仅用于示例性说明，电场方向还可以是其他方向，具体此处不做限定。
68.本技术中，可选的，压电材料可以是压电陶瓷。可选的，压电材料可以是压电薄膜，可选的，压电材料还可以是其他可以产生逆压电效应的材料，具体此处不做限定。本技术中，可选的，压电薄膜可以为氮化铝(aln)薄膜。可选的，压电薄膜可以为锆钛酸铅(pzt)薄膜，压电薄膜还可以是其他可以产生逆压电效应的薄膜，具体此处不做限定。
69.本技术中，可选的，位移放大机构可以是一体成型的一体件，位移放大机构可以采用铸造、线切割或者冲压等加工方式一次加工成型。可选的，位移放大机构也可以是非一体件，位移放大机构中的横梁、第一斜梁、第二斜梁以及第一位移输出端可以采用焊接的方式拼接而成。具体此处不做限定。
70.本技术中，可选的，第一斜梁、第二斜梁以及横梁可以采用直线型结构。可选的，第一斜梁、第二斜梁以及横梁也可以采用曲线型结构，具体此处不做限定。
71.本技术中，可选的，位移放大机构所采用材料可以为金属材料，位移放大机构所采用的材料可以为非金属材料，具体此处不做限定。可选的，位移放大机构所采用的材料可以为导电材料，可选的，位移放大机构所采用的材料可以为非导电材料，具体此处不做限定。
72.图6本技术提供的压电致动器的另一结构示意图。
73.请参阅图6，本技术提供的位移放大机构还包括第三斜梁、第四斜梁以及第二位移输出端。
74.第三斜梁的第一端与第四斜梁的第一端通过第二位移输出端连接。
75.横梁的第一端与第三斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第四斜梁的第二端连接。
76.本技术中实施例中提供的压电致动器的工作原理与上述图4、图5所示实施例相类似，下面将进行具体说明。
77.图7本技术提供的压电致动器的一另实施例示意图。
78.如图7所示，本技术中，压电材料具有固定的极化方向，示例性的，假设压电材料的极化方向为由压电材料远离横梁的一面指向压电材料表贴于横梁的一面的方向，且压电材料的极化方向与压电材料表贴于横梁的一面垂直。若压电材料处于与其极化方向相同的电场a中，压电材料会发生收缩形变。由于压电材料与横梁表贴，压电材料发生收缩形变时会
对横梁施加一个向内收缩的应力。相应的，横梁收到压电材料施加的收缩方向的应力后，横梁的第一端与横梁的第二端产生向横梁中心靠近的形变。从而，第一斜梁的第二端与第二斜梁的第二端也产生向横梁中心靠近的形变，第三斜梁的第二端与第四斜梁的第二端也产生向横梁中心靠近的形变。第一斜梁的第一端以及第二斜梁的第一端连接的第一位移输出端向上移动，产生一段远离横梁的位移，第三斜梁的第一端以及第四斜梁的第一端连接的第二位移输出端向下移动，产生一段远离横梁的位移。
79.图8本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
80.如图8所示，本技术中，压电材料具有固定的极化方向，示例性的，假设压电材料的极化方向为由压电材料远离横梁的一面指向压电材料表贴于横梁的一面的方向，且压电材料的极化方向与压电材料表贴于横梁的一面垂直。若压电材料处于与其极化方向相反的电场b中，压电材料会发生舒张形变。由于压电材料与横梁表贴，压电材料发生舒张形变时会对横梁施加一个向外舒张的应力。相应的，横梁收到压电材料施加的舒张方向的应力后，横梁的第一端与横梁的第二端产生远离横梁中心的形变。从而，第一斜梁的第二端与第二斜梁的第二端也产生远离横梁中心的形变，第三斜梁的第二端与第四斜梁的第二端也产生远离横梁中心的形变。第一斜梁的第一端以及第二斜梁的第一端连接的第一位移输出端向下移动，产生一段靠近横梁的位移，第三斜梁的第一端以及第四斜梁的第一端连接的第二位移输出端向上移动，产生一段靠近横梁的位移。
81.本技术中，上述图7、图8所示实施例中所说明的压电材料的极化方向仅用于示例性说明，压电材料的极化方向还可以是其他方向，具体此处不做限定。同理，上述图7、图8所示实施例中所说明的电场方向仅用于示例性说明，电场方向还可以是其他方向，具体此处不做限定。
82.本技术提供的图6至图8所示的实施例中所阐述的压电致动器中包括的压电材料的材质与上述图3至图5所示的实施例中所提及的压电材料相类似，具体此处不做赘述。
83.本技术中，可选的，位移放大机构可以是一体成型的一体件，位移放大机构可以采用铸造、线切割或者冲压等加工方式一次加工成型。可选的，位移放大机构也可以是非一体件，位移放大机构中的横梁、第一斜梁、第二斜梁、第三斜梁、第四斜梁、第一位移输出端以及第二位移输出端可以采用焊接的方式拼接而成。具体此处不做限定。
84.本技术中，可选的，第一斜梁、第二斜梁、第三斜梁、第四斜梁以及横梁可以采用直线型结构。可选的，第一斜梁、第二斜梁、第三斜梁、第四斜梁以及横梁也可以采用曲线型结构，具体此处不做限定。
85.本技术提供的图6至图8所示的实施例中所阐述的压电致动器中包括的位移放大机构的材质与上述图3至图5所示的实施例中所提及的压电材料相类似，具体此处不做赘述。
86.图9本技术提供的压电致动器中第一压电晶片表贴于横梁的俯视图。
87.如图9所示，本技术中，压电材料包括第一压电晶片，第一压电晶片表贴于横梁的第一面。
88.本技术中，压电致动器中可以采用单晶压电的结构实现位移控制，第一压电晶片表贴于横梁的任意一面上，具体工作原理与上述图3至图5所示的实施例以及图6至图8所示的实施例相类似，具体此处不做限定。
89.图10本技术提供的压电致动器中第一压电晶片以及第二压电晶片表贴于横梁的俯视图。
90.如图10所示，本技术中，压电材料包括第一压电晶片以及第二压电晶片，第一压电晶片表贴于横梁的第一面，第二压电晶片表贴于横梁的第二面。
91.本技术中，压电致动器中可以采用双晶压电的结构实现位移控制，具体工作原理与上述图3至图5所示的实施例以及图6至图8所示的实施例相类似，具体此处不做限定。
92.本技术中，优选的，第一压电晶片与第二压电晶片可以对称表贴于横梁的两面上。第一压电晶片产生收缩或舒张形变时，收缩或舒张形变将会产生使横梁表面卷曲的应力，即方向位于横梁所在平面之外的应力。若第一压电晶片与第二压电晶片对称表贴于横梁的两面上，当第一压电晶片与第二压电晶片收缩或者舒张时，第一压电晶片与第二压电晶片两者产生的使横梁表面卷曲的应力将会抵消，压电致动器排除了卷曲应力的影响之后保证了位移控制的准确性。可选的，第一压电晶片与第二压电晶片在可以实现对称表贴的效果时，也可以采取非对称的方式表贴于横梁的两面上，具体此处不做限定。
93.本技术中，可选的，第一压电晶片的极化方向可以与第二压电晶片的极化方向相同，第一压电晶片的极化方向与第二压电方向的极化方向也可以不相同，具体此处不做限定。
94.本技术提供的图9、图10所示的实施例中所阐述的压电致动器中包括的位移放大机构的材质与形态与上述图3至图8以所示的实施例中所提及的位移放大机构的材质与形态相类似，具体此处不做赘述。
95.本技术提供的图9、图10所示的实施例中所阐述的压电致动器中包括的压电材料的材质与上述图3至图8所示的实施例中所提及的压电材料相类似，具体此处不做赘述。
96.图11本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
97.如图11所示，本技术实施例中，若位移放大机构所采用的材料为导电材料，第一压电晶片远离横梁的一面渡有第一金属层，第二压电晶片远离第二横梁的一面渡有第二金属层，第一金属层为压电致动器的第一电极，第二金属层为压电致动器的第二电极。
98.图12本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
99.本技术中，如图12所示，可选的，第一电极可以为电势高的电极，第二电极可以为电势低的电极。第一金属层可以与电源的正极连接，第二金属层可以与电源的负极连接。这样，第一金属层与第二金属层之间会产生一个由第二金属层指向第一金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。
100.图13本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
101.本技术中，如图13所示，可选的，第一电极可以为电势低的电极，第二电极可以为电势高的电极。第一金属层可以与电源的负极连接，第二金属层可以与电源的正极连接。这样，第一金属层与第二金属层之间会产生一个由第一金属层指向第二金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。
102.本技术中，可选的，位移放大机构可以与地连接，位移放大机构与地连接之后将会形成零电势点，位移放大机构与第一金属层之间形成的电场以及位移放大机构与第二金属层之间形成的电场会更加稳定。可选的，位移放大机构也可以不与地连接，这样，压电致动器无需与地线连接，简化了包括压电致动器的电子设备内部的线路结构。
103.图14本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
104.如图14所示，位移放大机构所采用的材料为不导电材料，第一压电晶片远离横梁的一面渡有第一金属层，第二压电晶片远离横梁的一面渡有第二金属层，第一压电晶片表贴于横梁的一面渡有第三金属层，第二压电晶片表贴于横梁的一面渡有第四金属层，第一金属层为压电致动器的第一电极，第二金属层为压电致动器的第二电极，第三金属层与第四金属层接地。
105.图15本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
106.本技术中，如图15所示，可选的，第一电极可以为电势高的电极，第二电极可以为电势低的电极。第一金属层可以与电源的正极连接，第二金属层可以与电源的负极连接。第三金属层以及第四金属层接地。这样，第一金属层与第三金属层之间会产生一个由第三金属层指向第一金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第三金属层所在平面垂直。第二金属层与第四金属层之间会产生一个由第二金属层指向第四金属层方向的电场，且该电场的方向与第二金属层所在平面以及第四金属层所在平面垂直。
107.图16本技术提供的压电致动器的另一实施例示意图。
108.本技术中，如图16所示，可选的，第一电极可以为电势低的电极，第二电极可以为电势高的电极。第一金属层可以与电源的负极连接，第二金属层可以与电源的正极连接。这样，第一金属层与第三金属层之间会产生一个由第一金属层指向第三金属层方向的电场，且该电场的方向与第一金属层所在平面以及第二金属层所在平面垂直。第二金属层与第四金属层之间会产生一个由第四金属层指向第二金属层方向的电场，且该电场的方向与第二金属层所在平面以及第四金属层所在平面垂直。
109.上述实施例提供了一种压电致动器的不同结构，下面的实施例将提供一种压电致动器的制造方法，该压电致动器的制造方法将在下面的实施例中进行详细的描述。
110.1、制备位移放大机构。
111.本技术实施例中，位移放大机构包括第一斜梁、第二斜梁、横梁以及第一位移输出端，第一斜梁的第一端与第二斜梁的第一端通过第一位移输出端连接；横梁的第一端与第一斜梁的第二端连接，横梁的第二端与第二斜梁的第二端连接。
112.可选的，位移放大机构可以是一体成型的一体件，位移放大机构可以采用铸造、线切割或者冲压等加工方式一次加工成型。可选的，位移放大机构也可以是非一体件，位移放大机构中的横梁、第一斜梁、第二斜梁以及第一位移输出端可以采用焊接的方式拼接而成。具体此处不做限定。
113.将压电材料表贴于位移放大机构的横梁。
114.以上对本技术实施例所提供的压电致动器以及电子设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想。同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。