用于形成相机的悬架组件的技术的制作方法

技术特征：
1.一种方法，包括：形成悬架组件的至少一部分，其中：所述悬架组件包括：内部框架，所述内部框架用于与相机的图像传感器耦接；外部框架；和一个或多个弯曲臂，所述一个或多个弯曲臂用于将所述内部框架连接到所述外部框架，其中所述一个或多个弯曲臂被构造成允许所述内部框架连同所述图像传感器相对于所述外部框架在一个或多个方向上运动，其中所述形成包括：在基板的第一侧处形成一条或多条电迹线；以及在所述基板的第二侧处形成所述一个或多个弯曲臂，其中所述第二侧与所述第一侧相对，并且其中所述形成所述一个或多个弯曲臂包括：使用一种或多种电铸工艺将第一材料沉积在由至少一层不同于所述第一材料的至少第二材料限定的一个或多个腔内，其中所述一个或多个弯曲臂中的弯曲臂包括所述第一材料并且基于在其内沉积所述第一材料的对应腔的形状而成形；以及移除至少部分地围绕所述弯曲臂的所述第二材料的至少一部分。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述基板包括铜。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一材料包括铜钛合金。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述一条或多条电迹线包括镍钴合金或镍钨合金。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二材料包括正性或负性干膜光致抗蚀剂(dfr)。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个弯曲臂中的至少一个弯曲臂形成为t形、倒t形或沙漏形。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述在所述基板的所述第一侧处形成所述一条或多条电迹线包括使用所述一种或多种电铸工艺在所述基板的所述第一侧处沉积至少第三材料以形成所述一条或多条电迹线。8.根据权利要求1所述的方法，其中所述外部框架被构造成能够相对于所述一个内部框架折叠，以在所述外部框架和所述内部框架之间提供角度。9.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一层至少所述第二材料中的所述一个或多个腔是通过将所述至少一层至少所述第二材料暴露于相同或不同波长的紫外光来生成的，并且其中在将所述第一材料沉积在所述一个或多个腔内之后，所述形成所述一个或多个弯曲臂包括使用一种或多种蚀刻工艺移除所述基板的一个或多个部分，使得所述一个或多个弯曲臂彼此分离。10.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述悬架组件的所述至少一部分还包括：在所述基板的所述第一侧处形成一条或多条附加电迹线；以及在所述基板的所述第二侧处形成所述内部框架或外部框架，其中所述形成所述内部框架或外部框架包括：使用所述一种或多种电铸工艺将第三材料沉积在由所述至少一层不同于所述第三材
料的至少所述第二材料限定的一个或多个附加腔内，其中所述内部框架或外部框架包括第三第一材料并且基于在其内沉积所述第三材料的对应腔的形状而成形；以及移除至少部分地围绕所述内部框架或外部框架的所述第二材料的至少一部分。11.一种相机，包括：至少一个光学透镜；图像传感器；和悬架组件，所述悬架组件包括：内部框架，所述内部框架用于与所述图像传感器耦接；外部框架；一条或多条电迹线，所述一条或多条电迹线位于基板的第一侧处；和一个或多个弯曲臂，所述一个或多个弯曲臂位于所述基板的与所述第一侧相对的第二侧处，其中所述一个或多个弯曲臂被构造成将所述内部框架与所述外部框架连接，以允许所述内部框架连同所述图像传感器相对于所述外部框架在一个或多个方向上运动，并且其中所述一个或多个弯曲臂中的至少一个弯曲臂包括第一材料，所述第一材料的形状由使用一种或多种电铸工艺在第二材料中生成的一个或多个腔限定。12.根据权利要求11所述的相机，其中所述基板包括铜。13.根据权利要求11所述的相机，其中所述第一材料包括铜钛合金。14.根据权利要求11所述的相机，其中所述一条或多条电迹线包括镍钴合金或镍钨合金。15.根据权利要求11所述的相机，其中所述第二材料包括干膜光致抗蚀剂(dfr)。16.根据权利要求15所述的相机，其中所述dfr包括正性光致抗蚀剂或负性光致抗蚀剂。17.根据权利要求11所述的相机，其中所述一个或多个弯曲臂中的至少一个弯曲臂形成为t形、倒t形或沙漏形。18.根据权利要求11所述的相机，其中所述第二材料中的所述一个或多个腔是通过将所述第二材料暴露于相同或不同波长的紫外光来生成的，并且其中所述至少一个弯曲臂是通过将所述第一材料沉积在所述一个或多个腔中以在所述基板的所述第二侧处形成所述至少一个弯曲臂来形成的。19.根据权利要求11所述的相机，其中所述外部框架被构造成能够相对于所述一个内部框架折叠，以在所述外部框架和所述内部框架之间提供角度。20.一种设备，包括：一个或多个处理器；存储器，所述存储器存储程序指令，所述程序指令能够由所述一个或多个处理器执行以控制相机的操作；和所述相机，包括：至少一个光学透镜；图像传感器；和悬架组件，包括：内部框架，所述内部框架用于与所述图像传感器耦接；
外部框架；一条或多条电迹线，所述一条或多条电迹线位于基板的第一侧处；和多个弯曲臂，所述多个弯曲臂位于所述基板的与所述第一侧相对的第二侧处，其中所述多个弯曲臂被构造成将所述内部框架与所述外部框架连接，以允许所述内部框架连同所述图像传感器相对于所述外部框架在一个或多个方向上运动，并且其中所述多个弯曲臂中的相邻的弯曲臂以小于180微米的臂间间距间隔开。

技术总结
本公开涉及用于形成相机的悬架组件的技术。可使用一种或多种电铸工艺来形成具有电迹线的相机的悬架组件。该悬架组件可包括将该相机的内部框架连接到外部框架的一个或多个弯曲臂。该内部框架可相对于该外部框架运动，以实现该相机的自动对焦和/或光学图像稳定功能。可使用一种或多种电铸工艺在基板的第一侧处形成该电迹线。接下来，通过将干膜光致抗蚀剂(DFR)层暴露于紫外光，可在该基板的第二侧处的一个或多个DFR层中生成各种形状的一个或多个腔。可使用一种或多种电铸工艺将一种或多种材料沉积到该腔中以形成该悬架组件的一个或多个部件，例如弯曲臂。例如弯曲臂。例如弯曲臂。


技术研发人员：P
受保护的技术使用者：苹果公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2022/2/23