流体设备的制作方法

技术特征：
1.一种流体设备，其特征在于，具备：第一流路，供流体流通；压力室，在与所述第一流路内的所述流体的流通方向正交的第一方向上与所述第一流路之间隔开间隔地形成；第一连通路，沿着所述第一方向形成，将所述第一流路与所述压力室连通；以及超声波发送部，通过与流入所述压力室内的所述流体接触而向该流体发送超声波，从而使所述第一流路内的所述流体沿着所述第一方向产生第一驻波。2.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，在将所述第一方向上的所述第一流路的尺寸设为l，将所述第一驻波的模式次数设为n，将所述第一方向上的所述第一连通路的尺寸设为w
r
，将与所述流通方向以及所述第一方向分别正交的第二方向上的所述第一连通路的尺寸设为d
r
时，满足下式：w
r
≤0.3
×
d
r
3.根据权利要求1或2所述的流体设备，其特征在于，与所述流通方向以及所述第一方向分别正交的第二方向上的所述第一流路的尺寸比所述第一方向上的所述第一流路的尺寸小。4.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，所述第一连通路与所述第一流路中的与所述第一驻波中的任意的波腹对应的波腹区域连接。5.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，所述超声波发送部具备一个以上的超声波元件，所述超声波元件具备：振动部，具有与所述流体接触的流体接触面；以及压电元件，设置于所述振动部，并且使所述振动部向所述流体接触面的法线方向挠曲振动。6.根据权利要求5所述的流体设备，其特征在于，在将所述第一连通路的与所述第一方向正交的流路截面积设为sr，将所述一个以上的超声波元件的所述流体接触面的合计面积设为sb，将振动时的所述振动部的最大位移量设为δ，将所述第一驻波的模式次数设为n时，满足下式：7.根据权利要求5或6所述的流体设备，其特征在于，所述超声波元件以所述流体接触面的所述法线方向沿着所述第一方向的方式配置。8.根据权利要求5所述的流体设备，其特征在于，在将所述振动部的厚度设为t，将所述流体的介质的音速设为c，将在所述振动部内传递的纵波的平均音速设为c’，将所述第一方向上的所述第一流路的尺寸设为l，将所述第一驻波的模式次数设为n时，满足下式：
9.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，所述流体设备还具备：第二流路，在所述第一方向上与所述压力室之间隔开间隔地配置，供所述流体流通；以及第二连通路，沿着所述第一方向形成，将所述第二流路与所述压力室连通，所述超声波发送部通过与流入所述压力室内的所述流体接触而向所述流体发送超声波，从而在所述第二流路内沿着所述第一方向进一步产生第二驻波。10.根据权利要求9所述的流体设备，其特征在于，所述第二流路相对于所述压力室配置在所述第一流路的相反侧。11.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，所述流体设备还具备：第二流路，在所述第一方向上与所述第一连通路之间隔开间隔地配置，供所述流体流通；以及第二连通路，沿着所述第一方向形成，将所述第一流路与所述第二流路连通，所述超声波发送部通过与流入所述压力室内的所述流体接触而向所述流体发送超声波，从而在所述第二流路内沿着所述第一方向进一步产生第二驻波。12.根据权利要求11所述的流体设备，其特征在于，所述第二流路相对于所述第一流路配置在所述压力室的相反侧。

技术总结
本发明公开了能够在流路内容易地产生较大的声音功率的驻波的流体设备。流体设备(10)具备：流路(20)，供流体(S)流通；压力室(51)，在与流路(20)内的流体(S)的流通方向正交的第一方向(Y方向)上与流路(20)之间隔开间隔地形成；连通路(52)，沿着Y方向形成，将流路(20)与压力室(51)连通；以及超声波发送部(40)，通过与流入压力室(51)内的流体(S)接触而向该流体(S)发送超声波，从而在流路(20)内沿着Y方向产生驻波(SW)。生驻波(SW)。生驻波(SW)。


技术研发人员：小岛力 小野木智英 清濑摄内 宫坂满 佐佐木美绪
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2021.07.28
技术公布日：2022/2/18