1.本发明涉及微波功率检测系统技术领域，具体为一种转盘式微波功率检测系统。
背景技术：
2.微波功率检测系统，是一种对微波功率进行检测的设备，能够有效的测量出微波功率的大小，装置在使用时给装置的数据线通入微波，装置即可实现对微波功率的检测，该系统使用简单，测量精确。
3.如专利cn201610567136.x一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的mems悬臂梁：当待测微波功率较小时，由于静电力较小，只有较长的mems悬臂梁臂下拉。
4.这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：
5.不能够根据需求检测更宽的微波信号，使得设备能够匹配各种合适的检测环境，使得设备的使用范围更广。
6.所以需要针对上述问题进行改进，来满足市场需求。
技术实现要素：
7.本发明的目的在于提供一种转盘式微波功率检测系统，以解决上述背景技术中提出不能够根据需求检测更宽的微波信号，使得设备能够匹配各种合适的检测环境，使得设备的使用范围更广的问题。
8.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种转盘式微波功率检测系统，包括：
9.衬底，表面安装有信号线，所述信号线的顶部设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁，所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的一端固定连接有衬底；
10.测试电极，安装在衬底的表面，所述测试电极设置有三个，且三个测试电极的顶部分别设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁。
11.优选的，所述衬底为砷化镓材质，所述信号线与衬底连接处的俯视截面呈倒”u”字型结构，通过上述结构，衬底为砷化镓制造。
12.优选的，所述第一悬臂梁的长宽比为4:1，且第一悬臂梁与衬底的主视截面的连接处夹角相互垂直，通过上述结构，第一悬臂梁的长宽比为4:1。
13.优选的，所述第二悬臂梁的长宽比为3:1，且第二悬臂梁与衬底的主视截面的连接处夹角相互垂直，通过上述结构，第二悬臂梁的长宽比为3:1。
14.优选的，所述第三悬臂梁的长宽比为2:1，且第三悬臂梁与衬底的主视截面的连接处夹角相互垂直，通过上述结构，第三悬臂梁的长宽比为2:1。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该转盘式微波功率检测系统第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。
16.给信号线传输微波功率，此时信号线会产生静电力的作用，静电力会下拉第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁，当第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁下拉的过程中，测试电极与第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。
附图说明
17.图1为本发明主视结构示意图；
18.图2为本发明侧视示意图；
19.图3为本发明原理示意图。
20.图中：1、衬底；2、信号线；3、第一悬臂梁；4、第二悬臂梁；5、第三悬臂梁；6、测试电极。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种转盘式微波功率检测系统，包括：
23.衬底1，表面安装有信号线2，所述信号线2的顶部设置有第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5，所述第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5的一端固定连接有衬底1，测试电极6，安装在衬底1的表面，所述测试电极6设置有三个，且三个测试电极6的顶部分别设置有第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5；
24.衬底1为砷化镓材质，所述信号线2与衬底1连接处的俯视截面呈倒”u”字型结构，第一悬臂梁3的长宽比为4:1，且第一悬臂梁3与衬底1的主视截面的连接处夹角相互垂直，第二悬臂梁4的长宽比为3:1，且第二悬臂梁4与衬底1的主视截面的连接处夹角相互垂直，第三悬臂梁5的长宽比为2:1，且第三悬臂梁5与衬底1的主视截面的连接处夹角相互垂直，给信号线2传输微波功率，此时信号线2会产生静电力的作用，静电力会下拉第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5，当第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5下拉的过程中，测试电极6与第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。
25.综上所述：如图1-3所示，在使用该转盘式微波功率检测系统时，首先给信号线2传输微波功率，此时信号线2会产生静电力的作用，静电力会下拉第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5，当第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5下拉的过程中，测试电极6与第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第
三悬臂梁5不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁3、第二悬臂梁4和第三悬臂梁5谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号，这就是该转盘式微波功率检测系统的特点。
26.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种转盘式微波功率检测系统，其特征在于，包括：衬底(1)，表面安装有信号线(2)，所述信号线(2)的顶部设置有第一悬臂梁(3)、第二悬臂梁(4)和第三悬臂梁(5)，所述第一悬臂梁(3)、第二悬臂梁(4)和第三悬臂梁(5)的一端固定连接有衬底(1)；测试电极(6)，安装在衬底(1)的表面，所述测试电极(6)设置有三个，且三个测试电极(6)的顶部分别设置有第一悬臂梁(3)、第二悬臂梁(4)和第三悬臂梁(5)。2.根据权利要求1所述的一种转盘式微波功率检测系统，其特征在于，所述衬底(1)为砷化镓材质，所述信号线(2)与衬底(1)连接处的俯视截面呈倒”u”字型结构。3.根据权利要求1所述的一种转盘式微波功率检测系统，其特征在于，所述第一悬臂梁(3)的长宽比为4:1，且第一悬臂梁(3)与衬底(1)的主视截面的连接处夹角相互垂直。4.根据权利要求1所述的一种转盘式微波功率检测系统，其特征在于，所述第二悬臂梁(4)的长宽比为3:1，且第二悬臂梁(4)与衬底(1)的主视截面的连接处夹角相互垂直。5.根据权利要求1所述的一种转盘式微波功率检测系统，其特征在于，所述第三悬臂梁(5)的长宽比为2:1，且第三悬臂梁(5)与衬底(1)的主视截面的连接处夹角相互垂直。
技术总结
本发明公开了一种转盘式微波功率检测系统，包括：衬底，表面安装有信号线，所述信号线的顶部设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁，所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的一端固定连接有衬底，测试电极，安装在衬底的表面，所述测试电极设置有三个。该转盘式微波功率检测系统，第二悬臂梁和第三悬臂梁下拉的过程中，测试电极与第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。从而可以检测更宽的微波信号。从而可以检测更宽的微波信号。
技术研发人员：王德波 马骄 李超
受保护的技术使用者：张家港芯微感半导体技术有限公司
技术研发日：2021.11.08
技术公布日：2022/2/8
再多了解一些
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