晶圆电镀加工用挂具的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆电镀加工用挂具。


背景技术：

2.晶圆产品电镀设备中，晶圆是通过挂具投放在电镀槽液体内，进行电镀工艺的操作。晶圆每次只电镀一面，另一面需要被密封保护，目前是通过背板及相配的平面密封以及o型圈密封。
3.传统的密封背板锁紧结构是用圆周均布的螺栓拧紧来对密封圈压缩实现密封，但这一锁紧结构存在诸多缺点：
4.一、螺栓拆装频繁，螺纹副磨损严重并产生金属磨粒对电解液及产品造成污染；
5.二、螺栓一般有10个，人工每次拆装费时费力，影响生产效率；
6.三、通过螺栓固定，必然涉及在密封背板上开孔，会导致药液在螺孔中残留，不便于清洗清洁，会导致后续产生药液交叉污染。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的是要提供一种晶圆电镀加工用挂具，其操作方便，能够保证电镀质量的同时，提高工人对挂具的操作效率以提高生产加工效率，还能够避免药液等在挂具中过分残留。
8.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
9.本实用新型提供了一种晶圆电镀加工用挂具，包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述挂具基板表面位于所述凹腔的外侧设置有至少三个限位柱，所述限位柱朝向凹槽的一侧具有楔形块且楔形块的倾角沿同一圆周方向设置，所述密封背板的表面边缘对应于所述限位柱的位置分别开设有弧形槽，各个所述弧形槽为顺着同一方向设置的楔形面，所述密封背板的弧形槽贴合所述楔形块实现锁紧，其中，所述至少三个限位柱位于半圆形的周面上，在所述密封背板相对的另一侧半圆形周面上通过至少一个螺钉进行固定。
10.可选地，所述密封背板的外侧面上设置有便于拧动的抓取把手。
11.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
12.本实用新型的晶圆电镀加工用挂具，其中密封背板能够实现快速在挂具基板处的锁紧正压，再结合螺钉进行紧固，操作顺滑便利，能够在保证电镀质量的同时，提高工人对挂具的操作效率以提高生产加工效率，使得对于挂具的拆装节拍可缩短至40秒，同时还能够避免药液等在挂具中过分残留。
附图说明
13.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，
这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
14.图1是根据本实用新型一个实施例中的晶圆电镀加工用挂具的结构示意图。
15.其中，附图标记说明如下：
16.1、挂具基板，2、密封背板，3、限位柱，4、楔形块，5、弧形槽，6、螺钉。
具体实施方式
17.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
19.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
20.本实施例提供了一种晶圆电镀加工用挂具，如图1所示，其一般性地可以包括挂具基板1，挂具基板1表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板2，所述挂具基板1表面位于所述凹腔的外侧设置有三个限位柱3，所述限位柱3朝向凹槽的一侧具有楔形块4且楔形块4的倾角沿同一圆周方向设置，所述密封背板2的表面边缘对应于所述限位柱3的位置分别开设有弧形槽5，各个所述弧形槽5为顺着同一方向设置的楔形面，所述密封背板2的弧形槽5贴合所述楔形块4实现锁紧，其中，所述三个限位柱3位于半圆形的周面上，在所述密封背板2相对的另一侧半圆形周面上通过至少一个螺钉6进行固定。
21.也就是说，限位柱3朝向凹槽的一侧上具有的楔形块4的楔形是沿着圆的切向来设置的，从而能够更好地对楔形面的弧形槽5进行定位锁死，结合螺钉6的二次紧定能够更好地实现对于挂具基板1与密封背板2间的锁死固定。本实用新型的晶圆电镀加工用挂具，其中密封背板2能够实现快速在挂具基板1处的锁紧正压，再结合螺钉6进行紧固，操作顺滑便利，能够在保证电镀质量的同时，提高工人对挂具的操作效率以提高生产加工效率，使得对于挂具的拆装节拍可缩短至40秒，同时还能够避免药液等在挂具中过分残留。
22.为了便于操作，所述密封背板2的外侧面上设置有便于拧动的抓取把手。
23.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆电镀加工用挂具，包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，其特征在于，所述挂具基板表面位于所述凹腔的外侧设置有至少三个限位柱，所述限位柱朝向凹槽的一侧具有楔形块且楔形块的倾角沿同一圆周方向设置，所述密封背板的表面边缘对应于所述限位柱的位置分别开设有弧形槽，各个所述弧形槽为顺着同一方向设置的楔形面，所述密封背板的弧形槽贴合所述楔形块实现锁紧，其中，所述至少三个限位柱位于半圆形的周面上，在所述密封背板相对的另一侧半圆形周面上通过至少一个螺钉进行固定。2.根据权利要求1所述的晶圆电镀加工用挂具，其特征在于，所述密封背板的外侧面上设置有便于拧动的抓取把手。

技术总结
本实用新型涉及一种晶圆电镀加工用挂具，包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在凹腔上扣合固定有密封背板，挂具基板表面位于凹腔的外侧设置有至少三个限位柱，限位柱朝向凹槽的一侧具有楔形块且楔形块的倾角沿同一圆周方向设置，密封背板的表面边缘对应于限位柱的位置分别开设有弧形槽，各个弧形槽为顺着同一方向设置的楔形面，密封背板的弧形槽贴合楔形块实现锁紧，其中，至少三个限位柱位于半圆形的周面上，在密封背板相对的另一侧半圆形周面上通过至少一个螺钉进行固定。本申请操作方便，能够保证电镀质量的同时，提高工人对挂具的操作效率以提高生产加工效率，还能够避免药液等在挂具中过分残留。还能够避免药液等在挂具中过分残留。还能够避免药液等在挂具中过分残留。


技术研发人员：杨明东 张超 桑爱华
受保护的技术使用者：苏州平成精密科技有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/2/7