激光二极管的制作方法

技术特征：
1.一种激光二极管，包括n型层、p型层和位于两者之间的有源层；所述n型层和有源层之间包括有第一波导层；其特征在于，所述第一波导层包括铝铟镓氮四元合金，所述第一波导层中铝的浓度为1
×
10
16
cm-3
～3
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10
16
cm-3
，或者3
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16
cm-3
～5
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cm-3
，或者5
×
10
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cm-3
～1
×
10
18
cm-3
。2.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层具有铝的第一浓度轮廓，所述第一浓度轮廓包括至少一个第一峰形。3.根据权利要求2所述的激光二极管，其特征在于，与n型层相距最近的所述第一峰形的峰值浓度位于所述n型层上表面起0nm至100nm的一段距离内。4.根据权利要求2所述的激光二极管，其特征在于，所述第一浓度轮廓包括一个第一峰形，所述第一峰形的峰值浓度位于所述n型层上表面起0nm至50nm的一段距离内。5.根据权利要求4所述的激光二极管，其特征在于，所述第一峰形的峰宽大于等于5nm，且小于等于10nm；所述第一峰形的峰值浓度大于1
×
10
17
cm-3
。6.根据权利要求4所述的激光二极管，其特征在于，所述第一峰形的峰宽大于等于10nm，且小于等于500nm；所述第一峰形的峰值浓度大于8
×
10
16
cm-3
。7.根据权利要求2所述的激光二极管，其特征在于，所述第一浓度轮廓包括多个第一峰形，多个所述第一峰形的总峰宽大于等于150nm，且小于等于500nm。8.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层中铝的浓度为定值，该定值在α
±
10％α的范围内波动，α为所述第一波导层中铝的理论浓度值，且为5
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10
16
～2
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10
17
cm-3
中的任意值。9.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层靠近n型层的一侧表面为a面，所述铝在a面处的浓度与所述n型层中铝在靠近a面的一侧表面处的浓度之差相差10倍以上。10.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层的厚度大于等于150nm，且小于等于500nm。11.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层中铝的浓度等于或者小于所述第一波导层中铟的浓度的1％。12.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层中铟的浓度为所述n型层中铟的浓度的100倍以上。13.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层中铟的浓度为定值，该定值在β
±
10％β的范围内波动，β为所述第一波导层中铟的理论浓度值；或者，所述第一波导层靠近n型层的一侧表面为a面，靠近有源层的一侧表面为b面，所述第一波导层中铟的浓度自a面向b面递增。14.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层的折射率为2.4～2.6。15.根据权利要求1～14中任一项所述的激光二极管，其特征在于，所述p型层和有源层之间包括有第二波导层，所述第二波导层包括铝铟镓氮四元合金。

技术总结
本申请公开了一种激光二极管，该激光二极管包括n型层、p型层和位于两者之间的有源层；n型层和有源层之间包括有第一波导层；第一波导层包括铝铟镓氮四元合金，第一波导层中铝的浓度为1


技术研发人员：王俞授 沈圻
受保护的技术使用者：厦门三安光电有限公司
技术研发日：2021.10.12
技术公布日：2022/2/6