曝光设备和用于制造制品的方法与流程

技术特征：
1.一种曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；驱动单元，配置成驱动基板台，驱动单元包括多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力；以及控制器，配置成控制驱动单元，以便当对基板上的多个投射区域中的每一个曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。2.根据权利要求1所述的曝光设备，其中，控制器控制驱动单元，以便使基板台根据加速度分布曲线在扫描方向上移动，加速度分布曲线生成的方式是使得在对基板上一部分投射区域中的每一个曝光时扫描方向上的加速度从一区间中的正值变为在预定时刻的0并且然后从在预定时刻的0变为一区间中的负值。3.根据权利要求2所述的曝光设备，其中，控制器控制驱动单元，以便使基板台根据加速度分布曲线在扫描方向上移动，加速度分布曲线生成的方式是使得在对基板上剩余投射区域中的每一个曝光时扫描方向上的加速度从一区间中的负值变为在预定时刻的0并且然后从在预定时刻的0变为一区间中的正值。4.根据权利要求2所述的曝光设备，其中，控制器根据相对于时间的可微分函数来生成在对所述多个投射区域中每一个曝光时的加速度分布曲线。5.根据权利要求2所述的曝光设备，其中，控制器基于从对所述多个投射区域中每一个曝光时的加速度分布曲线生成的加速度命令值来生成所述多个致动器中每一个的推力分布曲线。6.根据权利要求5所述的曝光设备，其中，控制器根据相对于时间的可微分函数来生成在对所述多个投射区域中每一个曝光时所述多个致动器中每一个的推力分布曲线。7.根据权利要求2所述的曝光设备，其中，控制器控制驱动单元以便使所述多个致动器中的每一个在所述预定时刻向基板台施加推力。8.根据权利要求1所述的曝光设备，其中，控制器控制驱动单元以便在沿扫描方向每次移动的任何时刻使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。9.根据权利要求1所述的曝光设备，其中，所述多个致动器包括：第一致动器，配置成将在扫描方向上具有正取向的第一推力施加到基板台；以及第二致动器，配置成将在扫描方向上具有负取向的第二推力施加到基板台；并且其中，控制器控制驱动单元在所述至少一部分时间期间内向基板台施加第一推力和第二推力两者。10.根据权利要求1所述的曝光设备，其中，所述多个致动器中的每一个是电磁致动器。11.一种用于制造制品的方法，包括：通过使用根据权利要求1至10中任一项的曝光设备对基板进行曝光；对曝光后的基板进行显影；以及对显影后的基板进行处理以制造制品。12.一种用于在曝光设备中通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在
原版上的图案转印到基板的方法，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；以及驱动单元，其具有多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力，方法包括：控制驱动单元，以便使得当对基板上多个投射区域中每一个进行曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。

技术总结
本申请涉及曝光设备和用于制造制品的方法。根据本发明的曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；驱动单元，配置成驱动基板台，驱动单元包括多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力；以及控制器，配置成控制驱动单元，以便当对基板上的多个投射区域中的每一个曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。动器中的每一个向基板台施加推力。动器中的每一个向基板台施加推力。


技术研发人员：早川崇志 江本圭司
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2022/2/6