板波谐振器的反射结构、板波谐振器和MEMS设备的制作方法

技术特征：
1.一种板波谐振器的反射结构，其特征在于，包括：压电绝缘体衬底，具有相对的第一边缘和第二边缘；所述压电绝缘体衬底的外表面设置有叉指换能器和反射部件；所述叉指换能器，用于声电换能，所述叉指换能器包括若干电极指；所述反射部件，包括第一反射电极和第二反射电极，所述第一反射电极与所述第一边缘齐平，所述第二反射电极与所述第二边缘齐平；所述第一反射电极和所述第二反射电极均与所述叉指换能器的电极指平行；所述第一反射电极和所述第二反射电极的宽度均为λ/8；与所述第一反射电极相邻的叉指换能器的电极指和所述第一反射电极之间的间隙宽度为λ/4；与所述第二反射电极相邻的叉指换能器的电极指和所述第二反射电极之间的间隙宽度为λ/4；λ为板波谐振器的波长。2.根据权利要求1所述的反射结构，其特征在于，各所述电极指的宽度均为λ/4。3.根据权利要求2所述的反射结构，其特征在于，各相邻电极指之间的间隙宽度为λ/4。4.根据权利要求1至3任一项所述的反射结构，其特征在于，所述叉指换能器还包括第一汇流条和第二汇流条；所述第一反射电极连接所述叉指换能器的第一汇流条或所述叉指换能器的第二汇流条。5.根据权利要求4所述的反射结构，其特征在于，所述第二反射电极连接所述叉指换能器的第一汇流条或所述叉指换能器的第二汇流条。6.根据权利要求5所述的反射结构，其特征在于，所述压电绝缘体衬底由铌酸锂晶体、钽酸锂晶体、氮化铝、氧化锌或压电陶瓷制成。7.根据权利要求5所述的反射结构，其特征在于，所述第一反射电极和第二反射电极均由铝、铂、镍或钼制成。8.一种板波谐振器，其特征在于，所述板波谐振器包括如权利要求1至7任一项所述的反射结构。9.一种mems设备，其特征在于，所述mems设备包括如权利要求8所述的板波谐振器。10.根据权利要求9所述的mems设备，其特征在于，所述mems设备包括液位传感器、振荡器、麦克风、射频开关或滤波器。

技术总结
本申请涉及谐振器技术领域，公开一种板波谐振器的反射结构，包括：压电绝缘体衬底、叉指换能器和反射部件；其中，反射部件，包括第一反射电极和第二反射电极，第一反射电极与压电绝缘体衬底的第一边缘齐平，第二反射电极与压电绝缘体衬底的第二边缘齐平；第一反射电极和第二反射电极均与叉指换能器的电极指平行；第一反射电极和第二反射电极的宽度均为λ/8；与第一反射电极相邻的叉指换能器的电极指和第一反射电极之间的间隙宽度为λ/4；与第二反射电极相邻的叉指换能器的电极指和第二反射电极之间的间隙宽度为λ/4。这样的反射结构能够发生消波干涉，从而降低了应用这种反射结构的板波谐振器的纵向杂波。本申请还公开一种板波谐振器和MEMS设备。振器和MEMS设备。振器和MEMS设备。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：复旦大学
技术研发日：2021.10.22
技术公布日：2022/1/28