系统、基板处理装置及程序的制作方法

1.本公开涉及系统、基板处理装置及程序。


背景技术：

2.作为对基板实施规定处理的基板处理装置之一的半导体制造装置，通过控制作为流量控制器(流量控制部)的质量流量控制器(mfc)和顺序控制器等各种模块来进行针对基板的规定处理。在使用半导体制造装置进行处理的情况下，有时因各种模块的设定数据的组合不同而处理结果大幅变化。
3.在专利文献1中，公开了如下技术，具备：对基板进行处理的工艺模块；根据第1参数文件对工艺模块内的温度、压力、气体流量进行控制的处理控制器；根据第2参数文件对用于搬送基板的机构进行控制的搬送控制器；和对处理控制器及搬送控制器进行用于执行基板处理的控制指示的操作控制器，操作单元确认第1参数文件及第2参数文件与操作控制器所保持的第3参数文件的匹配性，在有匹配性的情况下，进行控制指示。
4.在此，将用于成膜的设定数据和表文件称为系统文件。另外，在半导体制造装置等中，为了保存系统文件的组合而具有被称为备份的功能。另外，为了将该组合复原(下载)而具有还原这一功能。并且，在进行半导体制造装置中使用的软件的版本更新时，存在各种模块的设定数据被删掉的可能性，因此，存在在进行版本更新之前进行备份，在进行了版本更新后进行还原的情况。此时，存在忘记备份地进行版本更新等而无法将系统文件恢复到原状态的情况。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2007-59765号公报


技术实现要素：

8.本公开的目的在于提供一种能够不对系统文件的数据带来影响而执行搭载于半导体制造装置的软件的版本更新的技术。
9.根据本公开的一个方案，提供一种技术，为一种系统，具备：
10.多个副控制器，其分别控制多个模块；和
11.主控制器，其具有存储部，该存储部具备保存当前对上述多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对于上述多个模块的上传或下载的历史保存为历史信息的第2保存部，
12.在该系统中，上述主控制器在与上述多个副控制器之间收发了系统文件时，根据所收发的系统文件与上述第1保存部中保存的系统文件的比较结果，将所收发的系统文件保存到上述第1保存部，并且将上述系统文件的历史信息保存到上述第2保存部。
13.发明效果
14.根据本公开，能够不对系统文件的数据带来影响而执行搭载于半导体制造装置的
软件的版本更新。
附图说明
15.图1是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的立体图。
16.图2是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的侧剖视图。
17.图3是本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的控制系统的概略结构图。
18.图4是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的硬件结构的图。
19.图5是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的存储部的框图。
20.图6是用于对本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的存储部中保存的系统文件的历史信息进行说明的图。
21.图7是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的流程图。
22.图8是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
23.图9是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
24.图10是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的流程图。
25.图11是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
26.图12是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
27.图13是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的流程图。
28.图14是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
29.图15是表示本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的流程图。
30.图16是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
31.图17是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
32.图18是用于说明本公开的一个实施方式中优选使用的基板处理装置的主控制器的动作的图。
具体实施方式
33.以下，参照附图说明本公开的一个实施方式。首先，在图1、图2中，对实施本公开的基板处理装置10进行说明。
34.基板处理装置10具备壳体111，在该壳体111的正面壁111a的下部开设有为了能够进行维护而设置的作为开口部的正面维护口103，该正面维护口103通过正面维护门104进行开闭。
35.在壳体111的正面壁111a，以将壳体111的内外连通的方式开设有晶片盒搬入搬出口112，晶片盒搬入搬出口112通过前闸门(搬入搬出口开闭机构)113而开闭，在晶片盒搬入搬出口112的正面前方侧设置有装载埠(基板搬送容器交接台)114，装载埠114构成为将所载置的晶片盒110对位。
36.晶片盒110是密闭式的基板搬送容器，构成为利用未图示的工序内搬送装置搬入到装载埠114上，另外从装载埠114上搬出。
37.在壳体111内的前后方向的大致中央部的上部，设置有旋转式晶片盒架(基板搬送容器保存架)105，旋转式晶片盒架105构成为保存多个晶片盒110。
38.旋转式晶片盒架105具备垂直地立起设置且间歇旋转的支柱116、和在该支柱116上在上中下层的各位置被呈辐射状支承的多层架板(基板搬送容器载置架)117，架板117构成为将晶片盒110在每载置多个的状态下保存。
39.在旋转式晶片盒架105的下方，设有晶片盒开启器(基板搬送容器盖体开闭机构)121，晶片盒开启器121具有载置晶片盒110、另外能够将晶片盒110的盖开闭的结构。
40.在装载埠114与旋转式晶片盒架105、晶片盒开启器121之间，设置有晶片盒搬送机构(容器搬送机构)118，晶片盒搬送机构118保持晶片盒110且能够升降、能够沿水平方向进退，构成为在与装载埠114、旋转式晶片盒架105、晶片盒开启器121之间搬送晶片盒110。
41.在壳体111内的前后方向的大致中央部的下部，在后端范围内设有副壳体119。在副壳体119的正面壁119a，沿垂直方向上下排列两层地开设有一对用于将晶片(基板)200相对于副壳体119内搬入搬出的晶片搬入搬出口(基板搬入搬出口)120，针对上下层的晶片搬入搬出口120分别设有晶片盒开启器121。
42.晶片盒开启器121具备载置晶片盒110的载置台122、和将晶片盒110的盖开闭的开闭机构123。晶片盒开启器121构成为通过利用开闭机构123对载置于载置台122的晶片盒110的盖进行开闭，将晶片盒110的晶片出入口开闭。
43.副壳体119构成相对于配置有晶片盒搬送机构118和旋转式晶片盒架105的空间(晶片盒搬送空间)气密的移载室124。在移载室124的前侧区域设置有晶片移载机构(基板移载机构)125，晶片移载机构125具有载置晶片200的所需片数(图示中为5片)的晶片载置板125c，晶片载置板125c能够沿水平方向直线移动，能够在水平方向上旋转，另外能够升降。晶片移载机构125构成为相对舟皿(基板保持体)217装填及取出晶片200。
44.在移载室124的后侧区域，构成有收容舟皿217并使其待机的待机部126，在待机部126的上方设有纵型的处理炉202。处理炉202在内部形成处理室201，处理室201的下端部为炉口部，炉口部构成为由炉口闸门(炉口开闭机构)147进行开闭。
45.在壳体111的右侧端部与副壳体119的待机部126的右侧端部之间设置有用于使舟皿217升降的舟皿升降机(基板保持件升降机构)115。在与舟皿升降机115的升降台连结的
臂128上，水平地安装有作为盖体的密封盖129，密封盖129垂直地支承舟皿217，能够在将舟皿217装入处理室201的状态下将炉口闸门147气密地封闭。
46.舟皿217构成为将多片(例如，50片～125片左右)晶片200对齐于其中心并以水平姿势多层保持。
47.在与舟皿升降机115侧相对的位置配置有清洁单元134，清洁单元134由供给风扇及防尘过滤器构成，以供给净化后的环境气体或作为非活性气体的清洁气体133。在晶片移载机构125与清洁单元134之间，设置有使晶片200的圆周方向的位置匹配的作为基板匹配装置的缺口对合装置(未图示)。
48.构成为从清洁单元134吹出的清洁气体133在流通过缺口对合装置(未图示)及晶片移载机构125、舟皿217后，被未图示的管道吸入，排出到壳体111的外部或由清洁单元134吹出到移载室124内。
49.接下来，参照图3，说明以主控制器242为中心的控制系统240的结构。如图3所示，控制系统240具备主控制器242、作为搬送控制部的搬送系统控制器244、作为处理控制部的工艺系统控制器246、管理装置248、和外部上级计算机250，分别通过lan(local area network)而连接。
50.搬送系统控制器244主要与旋转式晶片盒架105、舟皿升降机115、晶片盒搬送装置(基板收容器搬送装置)118、晶片移载机构(基板移载机构)125等搬送模块连接。搬送系统控制器244构成为分别控制旋转式晶片盒架105、舟皿升降机115、晶片盒搬送装置118、晶片移载机构125等搬送模块的搬送动作。
51.工艺系统控制器246具备温度控制器246a、压力控制器246b、气体流量控制器246c及顺序控制器246d。
52.在温度控制器246a连接有主要由加热器及温度传感器等构成的加热机构246a。温度控制器246a构成为通过控制处理炉202的加热器的温度来调节处理炉202内的温度。此外，温度控制器246a构成为进行晶闸管的开关(导通截止)控制，控制向加热器导线供给的电力。
53.在压力控制器246b连接有主要由压力传感器、作为压力阀的apc阀及真空泵构成的气体排气机构246b。压力控制器246b构成为基于由压力传感器检测到的压力值，以处理室201内的压力在所期望的时刻成为所期望的压力的方式，控制apc阀的开度及真空泵的开关(接通断开)。
54.气体流量控制器246c由mfc等气体供给机构构成。在顺序控制器246d连接有阀246d，构成为通过使阀246d开闭来控制来自处理气体供给管、吹扫气体供给管的气体的供给和停止。另外，工艺系统控制器246构成为以向处理室201内供给的气体的流量在所期望的时刻成为所期望的流量的方式，控制气体流量控制器246c(mfc)、顺序控制器246d(阀246d)。
55.即，工艺系统控制器246(温度控制器246a、压力控制器246b、气体流量控制器246c及顺序控制器246d)主要与加热机构246a、气体排气机构246b、气体供给机构(mfc)、阀246d等工艺模块连接。工艺系统控制器246构成为分别控制加热机构246a、气体排气机构246b、气体供给机构(mfc)、阀246d等工艺模块的基板处理动作。
56.搬送系统控制器244和工艺系统控制器246(温度控制器246a、压力控制器246b、气
体流量控制器246c及顺序控制器246d)分别构成副控制器。另外，主控制器242由于利用lan252与搬送系统控制器244及工艺系统控制器246电连接，所以为能够分别进行以搬送模块或工艺模块为对象的系统文件收发、系统文件的下载及上传等的结构。
57.此外，本公开的实施方式的主控制器242、搬送系统控制器244、工艺系统控制器246不依靠专用系统，能够使用通常的计算机系统实现。例如，能够通过在通用计算机中从保存有用于执行上述处理的程序的记录介质(软盘、cd-rom、usb等)308安装该程序来构成执行规定处理的各控制器。
58.并且，用于供给这些程序的手段是任意的。除了能够如上述那样借助规定的记录介质供给以外，也可以例如借助通信线路、通信网络、通信系统等供给。该情况下，例如，也可以在通信网络的公告板上公告该程序，将该程序借助网络重叠于载波而提供。并且，通过启动这样提供的程序，并在os的控制下与其他应用程序同样地执行，能够执行规定处理。
59.接下来，参照图4说明主控制器242的结构。
60.主控制器242构成为具备作为处理部的cpu(中央处理装置)301、作为临时存储部的存储器(ram、rom等)302、硬盘(hdd)等存储部303、作为通信部的收发模块304、作为显示部的显示装置305、计时功能(未图示)的计算机。在存储部303中，详情如后述，保存有对处理条件及处理步骤进行定义的配方等各配方文件、用于执行这些各配方文件的控制程序文件、用于设定处理条件及处理步骤的参数文件等各模块的系统文件等。
61.构成为在显示装置305上显示用于操作基板处理装置10的操作画面。显示装置305的操作画面是例如液晶显示面板。在显示装置305的操作画面，具有用于确认搬送模块和工艺模块等各模块的状态的画面。显示装置305在操作画面上显示借助操作画面在基板处理装置10内生成的信息。另外，显示装置305向插入于主控制器242的usb存储器等设备输出显示于操作画面的信息。显示装置305受理来自操作画面的作业者的输入数据(输入指示)，并将输入数据发送到cpu301。另外，显示装置305受理下载保存于后述的存储部303等的系统文件中的任意系统文件的指示(控制指示)，并发送到cpu301。
62.此外，在主控制器242的收发模块304连接有交换式集线器等，构成为cpu301经由网络与作为副控制器的搬送系统控制器244和工艺系统控制器246等外部计算机进行系统文件等的数据的发送及接收。另外，主控制器242也可以是除了至少包含cpu301及存储器302等的主控制部306、经由网络与外部计算机等进行数据的发送及接收的收发模块304、硬盘驱动器等存储部303以外，还包括具有液晶显示器等显示部以及键盘及鼠标等定点设备的人机接口(ui)部等的结构。另外，主控制部306也可以是还包括收发模块304的结构。在此，在本实施方式中，构成为在从主控制器242将定义了处理条件及处理步骤的配方等各配方文件下载到各副控制器时，用于设定处理条件及处理步骤的参数文件等以各模块为对象的系统文件也附带(set)下载到副控制器。
63.另外，主控制器242经由网络对外部上级计算机250和管理装置248发送基板处理装置10的状态等装置数据。
64.接下来，对使用基板处理装置10实施的具有规定的处理工序的基板处理工序进行说明。在此，规定的处理工序列举实施作为半导体器件的制造工序的一个工序的基板处理工序的情况为例。
65.在实施基板处理工序时，例如，在工艺系统控制器246内和搬送系统控制器244内
的ram等存储器中展开(下载)与应要实施的基板处理对应的基板处理配方(工艺配方)。然后，根据需要，从主控制器242对工艺系统控制器246和搬送系统控制器244给予动作指示。
66.(移载工序)
67.从主控制器242对搬送系统控制器244发出搬送模块的驱动指示。然后，若遵照来自搬送系统控制器244的指示将晶片盒110供给到装载埠114，则晶片盒搬入搬出口112通过前闸门113而打开。装载埠114上的晶片盒110利用晶片盒搬送装置118从晶片盒搬入搬出口112通过而向壳体111的内部搬入，并载置到旋转式晶片盒架105的被指定的架板117。晶片盒110在由旋转式晶片盒架105暂时保管后，由晶片盒搬送装置118从架板117搬送到某一方的晶片盒开启器121之后移载到载置台122，或者从装载埠114直接移载到载置台122。
68.此时，晶片搬入搬出口120通过开闭机构123而关闭，在移载室124中流通并充满清洁气体133。例如，在移载室124中，作为清洁气体133充满氮气，由此，氧浓度为20ppm以下，设定得比壳体111的内部(大气环境气体)的氧浓度远远要低。
69.载置在载置台122上的晶片盒110中，其开口侧端面被按压到副壳体119的正面壁119a中的晶片搬入搬出口120的开口缘边部，并且盖通过开闭机构123被拆下，晶片出入口打开。
70.若晶片盒110通过晶片盒开启器121而打开，则晶片200由晶片移载机构125从晶片盒110取出，开始晶片200从交接台122上的晶片盒110向舟皿217的移载处理。该移载处理进行至预定的全部晶片200向舟皿217的装填(晶片装入)完成为止。
71.(搬入工序)
72.若指定片数的晶片200被装填到舟皿217，则舟皿217通过遵照来自搬送系统控制器244的指示来动作的舟皿升降机115而上升，装入到处理炉202内形成的处理室201中(舟皿装载)。若舟皿217完全装入，则舟皿升降机115的密封盖129将处理炉202的歧管的下端气密地封闭。
73.(成膜工序)
74.然后，遵照来自压力控制器246b的指示，以使处理室201内成为规定的成膜压力(真空度)的方式通过真空排气装置进行真空排气。此时，由压力传感器测量处理室201内的压力，压力调整装置基于该测量出的压力信息进行反馈控制。另外，遵照来自温度控制器246a的指示，以成为规定的温度的方式通过加热器对处理室201内进行加热。此时，以处理室201内的温度成为规定温度(成膜温度)的方式，基于作为温度检测器的温度传感器检测出的温度信息反馈控制通向加热器的通电状况。接着，遵照来自搬送系统控制器244的指示，基于旋转机构开始舟皿217及晶片200的旋转。并且，在维持为规定的压力、规定的温度的状态下，向保持于舟皿217的多片晶片200供给规定的气体(处理气体)，对晶片200进行规定的处理(例如成膜处理)。
75.(搬出工序)
76.若针对载置于舟皿217的晶片200的成膜工序完成，则遵照来自搬送系统控制器244的指示，然后，使基于旋转机构的舟皿217及晶片200的旋转停止，利用舟皿升降机115使密封盖129下降而使歧管的下端开口，并且将保持着处理完毕的晶片200的舟皿217搬出到处理炉202的外部(舟皿卸载)。
77.(回收工序)
78.然后，通过从清洁单元134吹出的清洁气体133极为有效地对保持着处理完毕的晶片200的舟皿217进行冷却。并且，若冷却到例如150℃以下，则从舟皿217将处理完毕的晶片200拆出(晶片卸出)并移载到晶片盒110，然后进行新的未处理晶片200向舟皿217的移载。
79.通过执行工艺配方，反复进行以上那样的各工序，由此，本实施方式的基板处理装置10例如能够以高生产率进行晶片200上的硅膜的形成。
80.在此，在主控制器242的存储部303中保存有用于执行搬送模块和工艺模块等各种模块的动作的设定数据和配方等系统文件。关于执行成膜时的加热器的温度和气体流量等的各种模块的系统文件的组合，根据其组合的不同而成膜结果不同，因此期望预先保存该组合。根据本实施方式，在主控制器242中，为了能够恢复基板处理工序中的任意时点下的系统文件的组合，在各种模块中进行了系统文件的上传或下载时，将上传的系统文件或下载的系统文件保存到主控制器242的存储部303。以下，在本说明书中，存在在对搬送模块和工艺模块进行总称时仅称为模块的情况。
81.接下来，详细说明主控制器242的存储部303。以下，使用主控制器242与搬送系统控制器244和工艺系统控制器246等副控制器分别控制的模块a及模块b连接的情况进行说明。
82.在存储部303，如图5所示，具备作为第1保存部的现行文件夹303a和作为第2保存部的历史文件夹303b。在此，在图5中，省略了搬送系统控制器244和工艺系统控制器246等副控制器。
83.在现行文件夹303a中，保存有当前对多个模块设定的系统文件的组合。具体地说，在现行文件夹303a中，保存有表示当前连接的多个模块(模块名称)的子文件夹，在各个子文件夹中保存有当前对各个模块设定的系统文件。也就是说，如图5所示，在现行文件夹303a的模块a的子文件夹中，保存有当前对模块a设定的系统文件file-a，在现行文件夹303a的模块b的子文件夹中，保存有当前对模块b设定的系统文件file-b。
84.在历史文件夹303b中，以时间序列保存有以各模块为对象上传或下载了的系统文件的信息。具体地说，在以模块a及模块b为对象上传或下载成功时，在历史文件夹303b中，保存以进行上传或下载的日期为文件夹名的子文件夹，在该子文件夹中，作为历史信息而保存有与上传或下载了的系统文件相关的信息、和与进行了上传或下载的对象模块相关的信息。也就是说，在历史文件夹303b中，保存有可知以模块a及模块b为对象的系统文件的变更历史这样的历史信息。
85.图6是表示历史文件夹303b中保存的子文件夹的一例的图。在历史文件夹303b中，保存有使向历史文件夹303b保存的按顺序逐次加1的序列编号、和以进行系统文件的上传或下载的日期及时刻(日期时间)为文件夹名的子文件夹。在该子文件夹中，保存有与进行了上传或下载的系统文件相关的信息、以及与进行上传或下载了的对象模块相关的信息。文件夹名用作历史信息。
86.接下来，使用图7～图9说明上传表示对象模块的系统文件的情况下的主控制器242的系统文件向存储部303的保存动作。在此，在图8及图9中，省略了搬送系统控制器244和工艺系统控制器246等副控制器。
87.首先，在步骤s10中，主控制器242在与各种模块连接时，发出以所连接的模块为对象的系统文件的上传要求。也就是说，主控制器242在开始与各种模块通信时、新与模块连
接时，发出上传要求。由此，能够无遗漏地获取以所连接的模块为对象的系统文件。
88.在步骤s11中，主控制器242判断系统文件的上传是否已成功。在步骤s11中上传失败的情况下，返回步骤s10。
89.接着，在步骤s12中，主控制器242在以各模块为对象的系统文件的上传成功的情况下，对已上传的系统文件和现行文件夹303a中保存的对象模块的系统文件进行比较。
90.然后，根据上述那样上传的系统文件与现行文件夹303a中保存的对象模块的系统文件的比较结果，在步骤s13中，将以各模块为对象进行了上传的系统文件保存(覆盖)到现行文件夹303a的对象模块的子文件夹内，并且创建以上传到历史文件夹303b的日期为文件夹名的子文件夹，在该子文件夹内，保存该系统文件。即，在历史文件夹303b中保存系统文件的历史信息。
91.具体地说，如图8所示，在以模块a为对象进行了上传的系统文件(file-aa)与现行文件夹303a的模块a的子文件夹中保存的系统文件(file-a)不同的情况下，如图9所示，将上传了的模块a的系统文件(file-aa)保存到现行文件夹303a的模块a的子文件夹内并盖写，并且(同时)在历史文件夹303b中创建将使向历史文件夹303b保存的最大序列编号加1得到的序列编号、和进行系统文件的上传的日期和时刻(日期时间)作为文件夹名的子文件夹，在该子文件夹内保存与进行了上传的模块a相关的信息、和上传了的系统文件file-aa。
92.另外，在步骤s12中上传了的系统文件与现行文件夹303a的对象模块的子文件夹中保存的系统文件相同的情况(无不同的情况)下，什么都不做而结束处理。
93.接下来，使用图10～图12说明下载模块对象的系统文件的情况下的主控制器242的系统文件向存储部303的保存动作。在此，在图11及图12中，省略了搬送系统控制器244和工艺系统控制器246等副控制器。
94.首先，在步骤s20中，主控制器242受理以各模块为对象的系统文件的下载要求，进行下载。关于下载要求，详情将后述。
95.在步骤s21中，主控制器242判断以各模块为对象的系统文件的下载是否已成功。在步骤s21中下载失败的情况下，返回步骤s20。
96.接着，在步骤s22中，主控制器242在以各模块为对象的系统文件的下载成功了的情况下，对各模块对象的下载了的系统文件和现行文件夹303a中保存的对象模块的系统文件进行比较。
97.然后，根据各模块对象的下载了的系统文件与现行文件夹303a中保存的对象模块的系统文件的比较结果，在步骤s23中，将以各模块为对象进行了下载的系统文件保存(覆盖)到现行文件夹303a的对象模块的子文件夹内，并且在历史文件夹303b中创建以进行下载的日期为文件夹名的子文件夹，在该子文件夹内，保存该系统文件。即，在历史文件夹303b中保存系统文件的历史信息。
98.具体地说，主控制器242在下载了以模块b为对象的系统文件(file-bb)的情况下，如图11所示，在以模块b为对象下载了的系统文件(file-bb)与现行文件夹303a的模块b的子文件夹中保存的系统文件(file-b)不同的情况下，如图12所示，将下载了的模块b的系统文件(file-bb)保存到现行文件夹303a的模块b的子文件夹内并盖写，并且(同时)在历史文件夹303b中，创建将使向历史文件夹303b保存的最大序列编号加1得到的序列编号、和以模块b为对象进行了系统文件的下载的日期及时刻(日期时间)作为文件夹名的子文件夹，在
该子文件夹内保存与进行了下载的模块b相关的信息和下载了的系统文件file-bb。
99.另外，在步骤s22中以各模块为对象的下载了的系统文件与现行文件夹303a的对象模块的子文件夹中保存的系统文件相同的情况(无不同的情况)下，什么都不做而结束处理。
100.也就是说，构成为在现行文件夹303a中，保存与以各模块为对象上传或下载了的系统文件相同的系统文件。另外，主控制器242构成为将以各模块为对象上传或下载了的系统文件保存到历史文件夹303b中的、将使向历史文件夹303b保存的顺序逐次加1得到的序列编号、以及对系统文件进行上传或下载的日期时间作为文件夹名的子文件夹。
101.即，主控制器242构成为将以各模块为对象上传或下载了的系统文件按时间序列顺序保存到历史文件夹303b，与此同时保存(盖写)到现行文件夹303a的各模块的子文件夹。由此，能够自动保存系统文件的组合，即使忘记备份也能够恢复系统文件。
102.即，主控制器242构成为在以各模块为对象的系统文件被上传、上传了的系统文件与现行文件夹303a的对象模块的子文件夹中保存的系统文件不同时，或者，下载以各模块为对象的系统文件、下载了的系统文件与现行文件夹303a的对象模块的子文件夹中保存的系统文件不同时，将上传或下载了的系统文件盖写在现行文件夹303a的对象模块的子文件夹内并保存，并且将对象模块的上述的系统文件的历史信息保存到历史文件夹303b。
103.接下来，使用图13～图15具体地说明某被指定的日期时间下的系统文件群的恢复动作。例如，使用恢复2018年1月24日的10时下的系统文件群的情况进行说明。使当前的模块a的系统文件的设定为file-aa，模块b的系统文件的设定为file-bb。
104.首先，在步骤s30中，主控制器242受理根据来自显示装置305的操作画面的作业者的输入数据指定的日期时间下的系统文件群的查询。具体地说，受理2018/1/24的10：00下的系统文件群的检索。
105.接着，在步骤s31中，主控制器242对对象模块进行确定。具体地说，主控制器242从历史文件夹303b的子文件夹对变更为2018/1/24的10：00以后的系统文件进行检索。并且，对在2018/1/24的10：00以后系统文件变更为file-aa的模块a和系统文件变更为file-bb的模块b进行确定。
106.接着，在步骤s32中，主控制器242对在确定出的对象模块的历史文件夹303b中保存的系统文件进行确定。具体地说，检索比2018/1/24的10：00靠前且与模块a相关的最新的日期文件夹的系统文件、和比2018/1/24的10：00靠前且与模块b相关的最新的日期文件夹的系统文件。
107.如图14所示，确定出比指定日期时间(2018/1/24的10：00)靠前的模块a的最新的2018/1/23的12：11：12 203毫秒的子文件夹的系统文件file-a。同样地，确定出比指定日期时间(2018/1/24的10：00)靠前的模块b的最新的2018/1/23的01：10：12 504毫秒的子文件夹的系统文件file-b。
108.接着，在步骤s33中，主控制器242显示所确定出的系统文件的变更历史。具体地说，显示基板处理装置10的2018/1/24的10：00时点下的模块a的系统文件file-a和模块b的系统文件file-b。
109.然后，在步骤s40中，主控制器242根据来自显示装置305的操作画面的作业者的输入数据而受理系统文件的下载要求。具体地说，受理在步骤s33中显示的2018/1/24的10：00
时点下的系统文件群的下载要求。
110.接着，在步骤s41中，主控制器242对下载系统文件群的对象模块进行确定。具体地说，将与在步骤s32中确定出的系统文件对应的模块确定为下载对象的模块。
111.接着，在步骤s42中，对在步骤s32中确定出的系统文件进行确定。具体地说，对在步骤s32中确定出的模块a的系统文件file-a和模块b的系统文件file-b进行确定。
112.接着，在步骤s43中，将所确定出的系统文件下载到对象模块。具体地说，以模块a和模块b为对象分别下载基板处理装置10的2018/1/24的10：00时点下的系统文件file-a和系统文件file-b。由此，能够恢复2018/1/24的10：00时点下的系统文件群。
113.然后，进行上述的图10中的步骤s20～步骤s23的动作。
114.即，能够确定并恢复指定日期时间下的模块a和模块b的系统文件群(系统文件的组合)。
115.在此，在历史文件夹303b中，每次各模块中系统文件变更时追加记录，但存储部303的容量存在限制，因此，需要对系统文件按远近日期文件夹的顺序删除，以满足存储部303的容量限制。但是，存在若不小心按照历史远近顺序删掉日期文件夹则无法正确恢复的情况。
116.在本实施方式中，设为比某指定日期时间靠前的各模块的系统文件设为删除研究对象，能够恢复某指定日期时间以后的各模块的系统文件。具体地说，以将某指定日期时间2018年1月24日以后的各模块的系统文件的变更历史设定为能够恢复的情况为例，使用图16～图18进行说明。
117.首先，主控制器242构成为对历史文件夹303b进行检索，将比指定日期时间即2018/1/24靠前的日期文件夹确定为删除对象。然后，在确定为删除对象的系统文件中，将各模块的最新的系统文件各仅保留一个，然后删除各模块的比保留的系统文件靠过去的系统文件而删掉。即，在比2018/1/24靠前的系统文件中，保留模块a的最新的日期文件夹2018/1/23的系统文件file-a和模块b的最新的日期文件夹2018/1/23的系统文件file-b，删除而删掉比其靠前的模块a的日期文件夹2018/1/9的系统文件file-old。主控制器242删掉系统文件被删掉而内容变空的子文件夹。由此，能够恢复2018/1/24 0：00时点下的系统文件的变更历史。即，能够满足存储部303的容量限制且恢复至某指定日期时间的变更历史。
118.像这样，根据本公开的各实施方式(本实施方式)，起到以下的(a)～(h)中的至少一个以上的效果。
119.(a)根据本实施方式，由于在相对于各模块进行上传或下载时将系统文件保存到主控制器的存储部，所以能够自动保存系统文件的组合。
120.(b)另外，根据本实施方式，由于将以各模块为对象上传或下载的系统文件保存到主控制器的存储部，所以能以时间序列保存系统文件，能够以时间序列阅览系统文件。
121.(c)另外，根据本实施方式，由于在主控制器的存储部中以时间序列保存系统文件，所以能够对使用者示出过去的指定日期时间的系统文件的组合(系统文件群)。另外，能够使各模块恢复过去的指定日期时间的系统文件的组合。
122.(d)另外，根据本实施方式，能够自动删掉主控制器的存储部中保存的系统文件中的比指定日期时间靠前的系统文件。
123.(e)根据本实施方式，由于以各模块为对象进行上传或下载，将以进行了上传或下载的模块为对象的系统文件保存到主控制器的存储部，所以即使在使用者未备份系统文件就进行了软件的版本更新的情况下，也能够恢复各模块的系统文件。
124.(f)另外，根据本实施方式，即使在各模块的非易失性存储器发生了故障的情况下，由于以各模块为对象的系统文件保存于主控制器242的存储部，所以能够恢复。
125.(g)另外，根据本实施方式，即使在因使用者的操作错误而还原了不适当的已经备份的系统文件的情况下，由于以各模块为对象的系统文件保存于主控制器242的存储部，所以能够恢复。
126.(h)另外，根据本实施方式，在过去发生障碍时想要恢复该时点的系统文件的情况下，由于以各模块为对象的系统文件分别保存于进行上传或下载的日期时间文件夹，所以通过检查障碍发生时的日期时间文件夹，能够恢复障碍发生时的以各模块为对象的系统文件。
127.此外，本公开的实施方式中的基板处理装置10不仅仅能够适用于制造半导体的半导体制造装置，也能够适用于对lcd装置这样的玻璃基板进行处理的装置。另外，当然也能够适用于曝光装置、光刻装置、涂布装置、利用了等离子体的处理装置等各种基板处理装置。
128.以上说明了本公开的各种典型的实施方式，但本公开不限定于这些实施方式，也能够适当组合而使用。
129.附图标记说明
130.10 基板处理装置
131.200 晶片(基板)
132.201 处理室
133.242 主控制器
134.244 搬送系统控制器(副控制器)
135.246 工艺系统控制器(副控制器)
136.303 存储部
137.303a 现行文件夹(第1保存部)
138.303b 历史文件夹(第2保存部)。