用于检测抛光液中的金属杂质的方法与流程

技术特征：
1.一种用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：向容纳有第一容量v1的抛光液的第一容器中，加入第二容量的硝酸水溶液，其中，所述抛光液中包含高分子聚合物和sio2颗粒；步骤2：将所述第一容器放入容纳有超纯水的第二容器中，进行超声处理和加热处理，使得所述抛光液和所述硝酸水溶液充分混合，以将所述抛光液中与高分子聚合物通过配位或者共价键作用结合的金属离子释放，并获得第一溶液；步骤3：将所述第一溶液真空抽滤，获得不含固体sio2颗粒的第二溶液；步骤4：将所述第二溶液静置分离，获得仅溶解有金属离子的第三溶液，第三溶液的容量为v2；步骤5：将所述第三溶液采用icp/ms分析法进行分析测试，获得所述第三溶液中的金属离子的第一浓度n1；步骤6：根据以下公式获得所述抛光液中的金属离子的浓度n2：n2＝n1*v2/v1。2.根据权利要求1所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述硝酸水溶液的成分包括硝酸和超纯水，其中，硝酸的浓度为1％-10％。3.根据权利要求2所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述硝酸水溶液中硝酸的浓度为5％。4.根据权利要求1所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述步骤2中：所述第二容器的底部或侧壁设置有超声结构，通过所述超声结构进行超声处理；在进行超声处理的过程中，对所述第二容器进行加热，升温到50-100度，并保持预设时间。5.根据权利要求4所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述步骤“在进行超声处理的过程中，对所述第二容器进行加热，升温到50-100度，并保持预设时间”，中，超声频率为20-60hz，超声功率为200-240w，所述预设时间为5-10分钟。6.根据权利要求1所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述步骤4中，通过分液漏斗将所述第二溶液静置分离，溶解有金属离子的第三溶液下沉，并从所述分液漏斗底部的液体出口排出。7.根据权利要求6所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述分液漏斗采用pfa材质制成。8.根据权利要求1所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，所述第一容器、所述第二容器采用pfa材质制成。9.根据权利要求1所述的用于检测抛光液中的金属杂质的方法，其特征在于，在通风橱中执行所述步骤1-步骤5，以检测抛光液中的金属杂质含量，在执行所述步骤1-步骤5的过程中，持续向所通风橱中通入惰性气体。

技术总结
本发明涉及一种用于检测抛光液中的金属杂质的方法，包括以下步骤：向容纳有第一容量V1的抛光液的第一容器中，加入第二容量V2的硝酸水溶液，其中，抛光液中包含高分子聚合物和SiO2颗粒；将第一容器放入容纳有超纯水的第二容器中，进行超声处理和加热处理，使得抛光液和硝酸水溶液充分混合，以将抛光液中与高分子聚合物通过配位或者共价键作用结合的金属离子释放，并获得第一溶液；将第一溶液真空抽滤，获得不含固体SiO2颗粒的第二溶液；将第二溶液静置分离，获得溶解有金属离子的第三溶液；将第三溶液采用ICP/MS分析法进行分析测试，获得第三溶液中的金属离子的第一浓度n1；根据以下公式获得抛光液中的金属离子的浓度n2：n2＝n1*V2/V1。。。


技术研发人员：倚娜
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技有限公司
技术研发日：2021.10.28
技术公布日：2022/1/21