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一种微循环温度场控制系统的制作方法

2022-02-21 04:20:20 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种微循环温度场控制系统,其特征在于,包括:用于隔离缓冲环境温度的隔离框架、送风系统、升温部;所述隔离框架放置于防震平台上,干涉仪设置于隔离框架内;所述送风系统包括用于送风的送风部,以及用于出风的出风部,送风系统用于均衡隔离框架内的空间温度梯度;所述升温部设于所述防震平台,所述升温部用于均衡所述隔离框架内的时间温度梯度。2.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述送风部与出风部分别设于所述隔离框架的两侧,所述送风部与出风部相对设置。3.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述送风部高于所述出风部。4.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述送风部用于抽取隔离框架外部的空气向隔离框内输出;所述出风部用于抽取隔离框架内部的空气向隔离框架外输出。5.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述升温部设于所述干涉仪的镜面区域下方。6.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述升温部为条状或均匀分布的点状。7.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,还包括环绕干涉仪设置的温度传感器,所述温度传感器监测干涉仪的环境温度值。8.根据权利要求7所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述温度传感器检测所述干涉仪的上方与下方的环境温度值。9.根据权利要求8所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述升温部获取环境温度值的温差,并调节干涉仪的环境温度。10.根据权利要求1所述的一种微循环温度场控制系统,其特征在于,所述隔离框架有操作口,操作口连通隔离框架内外。

技术总结
本发明公开了一种微循环温度场控制系统,包括:用于隔离缓冲环境温度的隔离框架、送风系统、升温部;所述隔离框架放置于防震平台上,干涉仪设置于隔离框架内;所述送风系统包括用于送风的送风部,以及用于出风的出风部,送风系统用于均衡隔离框架内的空间温度梯度;所述升温部设于所述防震平台,所述升温部用于均衡所述隔离框架内的时间温度梯度。本发明通过送风系统与升温部解决空间温度梯度与时间温度梯度,使得环境温度均匀稳定,有利于提高检测的精度。的精度。的精度。


技术研发人员:张宝安 曹青 张波文 魏庆林
受保护的技术使用者:苏州然玓光电科技有限公司
技术研发日:2021.09.03
技术公布日:2022/1/21
再多了解一些

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