一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于生成topcon太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，包括密封反应腔、至少一台激光发生器、至少一个工作台，所述工作台、所述激光发生器设置于所述密封反应腔内，所述工作台配置有冷却装置，所述激光发生器的加热端位于所述工作台上方。2.根据权利要求1所述一种用于生成topcon太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，还包括至少一对皮带传输机，所述一对皮带传输机包括进料皮带传输机和出料皮带传输机，所述工作台的进料侧和与进料皮带传输机连接，所述工作台的出料侧分别和出料皮带传输机连接，所述至少一对皮带传输机相互平行设置于所述密封反应腔内。3.根据权利要求1所述一种用于生成topcon太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，所述工作台上开设有限位凹槽。4.根据权利要求3所述一种用于生成topcon太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，还包括翻片装置和位置传感器，所述位置传感器固定安装于所述激光发生器的顶部，所述翻片装置设置于所述工作台上，所述位置传感器、所述翻片装置、所述激光发生器电性连接。5.根据权利要求1所述一种用于生成topcon太阳电池多晶硅层的装置，其特征在于，所述激光发生器为准分子脉冲激光发生器。

技术总结
一种用于生成TOPCON太阳电池多晶硅层的装置，涉及太阳能电池制造技术领域。该装置包括密封反应腔、激光发生器、带有冷却装置的工作台，传输皮带机、翻面装置。工作台、激光发生器设置于密封反应腔内，工作台配置有冷却装置，激光发生器的加热端位于工作台上方。通过传输皮带机将硅片传输带至工作台上，通过翻面装置将硅片转移至工作台上的限位凹槽内，然后激光发生器对硅片进行加热，再通过冷却装置对硅片降温。该装置实现了通过激光发生器生成TOPCON太阳电池多晶硅层，并将激光发生器与前道非晶硅沉积设备集成在一起，既有利于产线连续生产，又可以避免污染的引入和硅片的破碎。又可以避免污染的引入和硅片的破碎。又可以避免污染的引入和硅片的破碎。


技术研发人员：刘金浩 左桂松 蔡蔚
受保护的技术使用者：无锡市江松科技有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/1/11