一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置的制作方法

技术特征：
1.一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，包括高压脉冲电源(1)、水雾产生装置(2)、输气管(3)和放电装置(4)，放电装置(4)包括壳体，壳体上方开有入口，下方开有出口，水雾产生装置(2)通过输气管(3)与放电装置(4)的入口连接；壳体内设有多层线电极，多层线电极平行设置，组成放电阵列；每层线电极包括若干个电极，在第i层线电极中，奇数电极作为高压电极，偶数电极作为地电极；在第i-1或i 1层线电极中，偶数电极作为高压电极，奇数电极作为地电极；高压电极连接高压脉冲电源(1)，地电极连接大地，在高压电极和地电极之间产生放电等离子体。2.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，壳体内填充有工作气体，工作气体为稀有气体。3.根据权利要求2所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，稀有气体采用氦气或氩气。4.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，壳体内壁上设有温度监测装置(5)。5.根据权利要求4所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，温度监测装置(5)设置在壳体下侧。6.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压电极和地电极均由金属制成。7.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压脉冲电源(1)采用重复频率高压纳秒脉冲电源。8.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压脉冲电源(1)的参数为：电压幅值10kv及以上，脉冲频率1khz以上，脉冲宽度小于100ns。9.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，每层线电极包括偶数个电极。

技术总结
本实用新型涉及消毒杀菌技术领域，公开了一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，包括高压脉冲电源，依次连接的水雾产生装置、输气管和放电装置，放电装置包括壳体，壳体下方开有出口；壳体内设有多层平行设置的线电极，组成放电阵列；每层线电极包括若干个电极，在第i层线电极中，奇数电极作为高压电极，偶数电极作为地电极；在第i-1或i 1层线电极中，偶数电极作为高压电极，奇数电极作为地电极；高压电极连接高压脉冲电源，地电极连接大地，在高压电极和地电极之间产生放电等离子体。本实用新型解决了等离子体活化水雾产生中的放电等离子体面积小、放电易不稳定的问题。放电易不稳定的问题。放电易不稳定的问题。


技术研发人员：赵政 李江涛 梅家葆 戴志锋
受保护的技术使用者：西安交通大学
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/1/11