一种微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法与流程

技术特征：
1.一种微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、确定所述微纳传感器在不同时刻的漏率，并建立所述漏率和时间的函数关系；s2、基于所述函数关系和所述微纳传感器的封装腔体内部体积，建立预测模型，并根据所述预测模型确定出封装腔内压强与时间的变化关系；s3、基于所述变化关系和所述封装腔内压强的失效阈值对封装气密性失效时间进行预测。2.如权利要求1所述的微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法，其特征在于，所述漏率和时间的函数关系具体如下式所示：式中，l(t)为所述漏率和时间的函数关系，l0为漏率初始值，t0为1小时，t为时间。3.如权利要求1所述的微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法，其特征在于，所述预测模型具体如下式所示：式中，p(t)为时刻t时封装腔内压强，l(t)为所述漏率和时间的函数关系，v为所述封装腔体内部体积。4.如权利要求3所述的微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法，其特征在于，所述封装腔内压强与时间的变化关系具体如下式所示：式中，p(t)为时刻t时封装腔内压强，l(t)为所述漏率和时间的函数关系，v为所述封装腔体内部体积，t0为1小时，t为时间。5.如权利要求1所述的微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法，其特征在于，所述步骤s3具体包括以下分步骤：s31、确定出所述封装腔内压强的失效阈值；s32、基于所述预测模型和所述失效阈值确定出所述失效时间。

技术总结
本发明公开了一种微纳传感器封装气密性失效时间预测方法，通过确定所述微纳传感器在不同时刻的漏率，并建立所述漏率和时间的函数关系；然后基于所述函数关系和所述微纳传感器的封装腔体内部体积，建立预测模型，并根据所述预测模型确定出封装腔内压强与时间的变化关系；然后基于所述变化关系和所述封装腔压强的失效阈值对封装气密性失效时间进行预测，实现了针对微纳传感器气密性失效时间进行预测，以及微纳传感器气密性封装的可靠性预测仅需少量的数据获取就可以进行，有效地减少了预测需要的时间。需要的时间。需要的时间。


技术研发人员：黄洪钟 魏钰金 郝晓红 米金华 李彦锋 曾颖 张庭瑜 刘俊作 李懿凡
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/1/10