一种MEMS传感器热学参数测试装置的制作方法

一种mems传感器热学参数测试装置
技术领域：
1.本发明属于一种mems传感器测试相关结构技术领域，特别涉及一种mems传感器热学参数测试装置。


背景技术：

2.mems传感器是现在众多传感器中的一种，其是一种微机电系统，随着科技的发展，现在mems传感器应用的领域现在非常的广泛，就有体积小、重量轻、造价低和可靠性高等优点。
3.现在的mems传感器在生产出来后需要进行测试，现在mems传感器对于热学的参数测试比较简便，大都是通过简单的加热管对测试区进行升温加热，但是无法进行调节，在实际应用过程中热源不是固定，而使存在一定的活动性，通过固定式测试装置检测出来的数据不够精准，导致传感器在实际使用时存在很多问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种mems传感器热学参数测试装置，通过主伸缩杆和辅助伸缩杆等部件，能够有效的解决上述的现在的mems传感器在生产出来后需要进行测试，现在mems传感器对于热学的参数测试比较简便，大都是通过简单的加热管对测试区进行升温加热，但是无法进行调节，在实际应用过程中热源不是固定，而使存在一定的活动性，通过固定式测试装置检测出来的数据不够精准，导致传感器在实际使用时存在很多问题的技术问题。
5.为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：一种mems传感器热学参数测试装置，包括顶板，所述顶板顶部侧壁中间固定连接有集成箱，所述顶板内部设立有内槽，所述内槽内底部侧壁中间固定连接有放置板，所述放置板内连接有盛放板，所述内槽内底部侧壁且靠近放置板一侧侧壁的位置开设有四个线槽，所述内槽内部上方设立有照射板，所述顶板底部固定连接有底座，所述底座内部一角设立有安装槽，所述安装槽内连接有风机，所述底座与顶板的连接处且靠近一侧边沿的位置插接有冷却板；
6.所述照射板的底部侧壁镶嵌拆卸连接有加热灯，所述照射板顶部设立有衔接板，所述衔接板相对于照射板的侧壁中间连接有主伸缩杆，所述主伸缩杆的两侧均设立有一个辅助伸缩杆，所述主伸缩杆和辅助伸缩杆的输出端转动连接在照射板的顶部侧壁上；
7.所述风机的一侧连接有送风管，所述送风管的一端与冷却板的通槽相通，所述风机远离送风管的一侧通过管道与外界连接。
8.作为优选，所述内槽内底部且靠近一侧边沿处固定连接有转送板，所述转送板与冷却板的通槽相通，所述转送板内部为中空结构，所述转送板相对于放置板的一侧侧壁贯通开设有三个风口，所述内槽开口的两侧边沿转动连接有转轴，所述转轴的一侧固定连接有门板，所述门板中间贯通开设有观察口，所述观察口中间镶嵌拆卸连接有耐高温玻璃，所述门板通过卡扣闭合在内槽的开口处，所述门板的三侧侧壁均固定连接有橡胶条。
9.作为优选，所述底座靠近顶板的边沿中间固定连接有控制面板，所述安装槽开设在底座内顶部的一角处，所述风机通过螺丝拆卸连接在安装槽内底部侧壁上，所述送风管的顶端通过安装槽顶部侧壁与冷却板的通槽连通，所述底座的底部侧壁四角通过螺丝拆卸连接有隐藏式滚轮，所述线槽的一端延伸进控制面板上方，所述控制面板上集成连接有温感器和数据显示屏。
10.作为优选，所述放置板内相对的两侧侧壁转动连接有扭簧，所述扭簧的一侧固定连接有卡板，所述卡板远离扭簧的一端为弧形结构，所述盛放板相互远离的两侧侧壁上均开设有卡槽，所述卡板卡接在卡槽内，所述卡槽与卡板结构相对应，所述盛放板顶部边沿穿插连接有螺钉，所述盛放板通过螺钉拆卸连接在放置板的侧壁顶端上，所述盛放板内部放置有mems传感器。
11.作为优选，所述集成箱内底部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有电机，所述电机的输出端延伸进内槽且拆卸连接在衔接板的顶侧壁中间，所述照射板为喇叭形结构，所述主伸缩杆和辅助伸缩杆远离照射板的一端通过螺丝拆卸连接在衔接板底部侧壁上，所述主伸缩杆和辅助伸缩杆通过转珠与照射板转动连接，所述主伸缩杆和辅助伸缩杆均为电动伸缩杆，所述主伸缩杆、辅助伸缩杆和电机供能组件均连接有集成箱内。
12.作为优选，所述放置板相对于线槽的一侧侧壁贯通开设有通槽，所述加热灯为电热管，所述加热灯电源安装在集成箱内部。
13.作为优选，所述线槽为半圆形结构，所述线槽开口的一侧边沿转动连接有半圆形的盖板，且盖板为那高温板材，所述线槽内部固定连接有橡胶层，所述线槽内放置有线路。
14.作为优选，所述冷却板内贯通开设有通槽，所述冷却板通过通槽侧壁固定连接有暂存箱，所述暂存箱的一侧侧壁插接有存放管，所述暂存箱和存放管内部均填充有冷却液，所述存放管与暂存箱内部相通，所述存放管远离暂存箱的一端拆卸连接在通槽的侧壁上。
15.本发明的有益效果：通过将冷却水经由暂存箱送进存放管内，从而使吹出的风温度较低，以此降低内槽中的温度，从而测试传感器对于温度变换敏感性和精准性，通过主伸缩杆和辅助伸缩杆的配合能够调节照射板的高度和角度，以此来测试传感器对不同方位热源的感应能力，通过电机带动照射板转动，使热源不在稳定，模拟实际应用中的环境，以此来判断传感器的应对能力和精准性。
附图说明：
16.为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
17.图1为本发明的立体结构示意图；
18.图2为本发明的底座局部内部结构示意图；
19.图3为本发明的放置板平面结构示意图；
20.图4为本发明的冷却板立体结构示意图；
21.图5为本发明的顶板内部平面结构示意图。
22.图中：1、顶板；11、转轴；12、门板；13、观察口；14、内槽；15、转送板；16、风口；2、底座；21、控制面板；22、安装槽；23、风机；24、送风管；3、放置板；31、盛放板；32、螺钉；33、卡槽；34、卡板；35、扭簧；4、冷却板；41、存放管；42、暂存箱；5、线槽；6、集成箱；61、照射板；62、电机；63、衔接板；64、主伸缩杆；65、辅助伸缩杆；66、加热灯。
具体实施方式：
23.如图1
‑
5所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种mems传感器热学参数测试装置，包括顶板1，顶板1顶部侧壁中间固定连接有集成箱6，顶板1内部设立有内槽14，内槽14内底部侧壁中间固定连接有放置板3，放置板3内连接有盛放板31，内槽14内底部侧壁且靠近放置板3一侧侧壁的位置开设有四个线槽5，内槽14内部上方设立有照射板61，顶板1底部固定连接有底座2，底座2内部一角设立有安装槽22，安装槽22内连接有风机23，底座2与顶板1的连接处且靠近一侧边沿的位置插接有冷却板4；
24.照射板61的底部侧壁镶嵌拆卸连接有加热灯66，照射板61顶部设立有衔接板63，衔接板63相对于照射板61的侧壁中间连接有主伸缩杆64，主伸缩杆64的两侧均设立有一个辅助伸缩杆65，主伸缩杆64和辅助伸缩杆65的输出端转动连接在照射板61的顶部侧壁上；
25.风机23的一侧连接有送风管24，送风管24的一端与冷却板4的通槽相通，风机23远离送风管24的一侧通过管道与外界连接。
26.其中，内槽14内底部且靠近一侧边沿处固定连接有转送板15，转送板15与冷却板4的通槽相通，转送板15内部为中空结构，转送板15相对于放置板3的一侧侧壁贯通开设有三个风口16，内槽14开口的两侧边沿转动连接有转轴11，转轴11的一侧固定连接有门板12，门板12中间贯通开设有观察口13，观察口13中间镶嵌拆卸连接有耐高温玻璃，门板12通过卡扣闭合在内槽14的开口处，门板12的三侧侧壁均固定连接有橡胶条。
27.其中，底座2靠近顶板1的边沿中间固定连接有控制面板21，安装槽22开设在底座2内顶部的一角处，风机23通过螺丝拆卸连接在安装槽22内底部侧壁上，送风管24的顶端通过安装槽22顶部侧壁与冷却板4的通槽连通，底座2的底部侧壁四角通过螺丝拆卸连接有隐藏式滚轮，线槽5的一端延伸进控制面板21上方，控制面板21上集成连接有温感器和数据显示屏。
28.其中，放置板3内相对的两侧侧壁转动连接有扭簧35，扭簧35的一侧固定连接有卡板34，卡板34远离扭簧35的一端为弧形结构，盛放板31相互远离的两侧侧壁上均开设有卡槽33，卡板34卡接在卡槽33内，卡槽33与卡板34结构相对应，盛放板31顶部边沿穿插连接有螺钉32，盛放板31通过螺钉32拆卸连接在放置板3的侧壁顶端上，盛放板31内部放置有mems传感器。
29.其中，集成箱6内底部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有电机62，电机62的输出端延伸进内槽14且拆卸连接在衔接板63的顶侧壁中间，照射板61为喇叭形结构，主伸缩杆64和辅助伸缩杆65远离照射板61的一端通过螺丝拆卸连接在衔接板63底部侧壁上，主伸缩杆64和辅助伸缩杆65通过转珠与照射板61转动连接，主伸缩杆64和辅助伸缩杆65均为电动伸缩杆，主伸缩杆64、辅助伸缩杆65和电机62供能组件均连接有集成箱6内。
30.其中，放置板3相对于线槽5的一侧侧壁贯通开设有通槽，加热灯66为电热管，加热灯66电源安装在集成箱6内部。
31.其中，线槽5为半圆形结构，线槽5开口的一侧边沿转动连接有半圆形的盖板，且盖板为那高温板材，线槽5内部固定连接有橡胶层，线槽5内放置有线路。
32.其中，冷却板4内贯通开设有通槽，冷却板4通过通槽侧壁固定连接有暂存箱42，暂存箱42的一侧侧壁插接有存放管41，暂存箱42和存放管41内部均填充有冷却液，存放管41与暂存箱42内部相通，存放管41远离暂存箱42的一端拆卸连接在通槽的侧壁上。
33.具体的：一种mems传感器热学参数测试装置，使用时，首先将门板12顺着转轴11打开，之后根据需要将不同的盛放板31通过螺钉32安装在放置板3内，不同的盛放板31内部空间尺寸均不同，能够放置不同尺寸的传感器，在传感器放置完成后，通过放置板3开设的孔槽将线路与传感器连接，线路安装在线槽5内，在通过半圆形的盖板使线路稳定的连接在指定的位置，保证数据传输的精准性，自后关闭门板12，启动加热灯66，在照射板61底部上均匀的拆卸连接有多个加热灯66，通过多数的加热灯66对传感器进行照射，从而收集传感器感应到的热量和内槽14内实际的热量，判断传感器的精准性，为了保证盛放板31的稳定性，在放置板3内相对的侧壁通过扭簧35连接有卡板34，且在盛放板31的侧壁开设有卡槽33，卡板34卡接在卡槽33内，实现对盛放板31的稳定定位，避免因不稳定导致传感器精度下降，通过电机62带动照射板61转动，使热源不在稳定，模拟实际应用中的环境，以此来判断传感器的应对能力和精准性，通过主伸缩杆64和辅助伸缩杆65的配合能够调节照射板61的高度和角度，以此来测试传感器对不同方位热源的感应能力，启动风机23将抽取空气通过送风管24送进转送板15内，最后从风口16送进内槽14中，以此实现对内槽14出风的功能，从而模拟实际运行的环境，从而测试传感器的应变能力，通过将冷却水经由暂存箱42送进存放管41内，从而使吹出的风温度较低，以此降低内槽14中的温度，从而测试传感器对于温度变换敏感性和精准性。
34.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。