一种转轴结构及MEMS双轴转镜的制作方法

技术特征：
1.一种转轴结构，其特征在于，所述转轴结构包括：导电辅梁，设于所述导电辅梁上方或下方的导电主梁，及隔开所述导电辅梁和所述导电主梁的空气间隙。2.根据权利要求1所述的转轴结构，其特征在于，所述导电主梁的扭转刚度大于所述导电辅梁的扭转刚度。3.根据权利要求2所述的转轴结构，其特征在于，所述导电主梁和/或所述导电辅梁通过梁长、梁宽、梁厚三者中的至少一个来调整扭转刚度；其中，所述梁长与所述扭转刚度呈负相关，所述梁宽与所述扭转刚度呈正相关，所述梁厚与所述扭转刚度呈正相关。4.根据权利要求1至3任一项所述的转轴结构，其特征在于，所述转轴结构还包括：设于所述空气间隙中的至少一个绝缘固接点，所述绝缘固接点连接所述导电辅梁和所述导电主梁。5.根据权利要求4所述的转轴结构，其特征在于，所述导电辅梁在绝缘固接点区域的梁宽大于其在非绝缘固接点区域的梁宽。6.根据权利要求1所述的转轴结构，其特征在于，所述导电辅梁为直梁、变截面梁、分支梁、蛇形弯曲梁或双直梁，所述导电主梁为直梁、变截面梁、分支梁、蛇形弯曲梁或双直梁。7.一种mems双轴转镜，其特征在于，所述mems双轴转镜包括：具有转动空间的框架，所述框架包括内框架及外框架；如权利要求1至6任一项所述的转轴结构，设于所述内框架和所述外框架之间。8.根据权利要求7所述的mems双轴转镜，其特征在于，所述mems双轴转镜还包括：转动镜体；内转轴，设于所述转动镜体和所述内框架之间且与所述转轴结构垂直设置；第一内固齿，设于所述内框架与所述内转轴平行的一侧内边缘；第二内固齿，设于所述内框架与所述内转轴平行的另一侧内边缘；第一内动齿，设于所述转动镜体一侧且与所述第一内固齿对应设置；第二内动齿，设于所述转动镜体另一侧且与所述第二内固齿对应设置；第一转动方向正引线焊盘，设于所述外框架上，所述第一内固齿通过所述转轴结构的一侧导电辅梁与所述第一转动方向正引线焊盘电连接；第一转动方向负引线焊盘，设于所述外框架上，所述第二内固齿通过所述转轴结构的另一侧导电辅梁与所述第一转动方向负引线焊盘电连接；接地焊盘，设于所述外框架上，所述第一内动齿、所述第二内动齿及所述转动镜体均通过所述转轴结构的导电主梁与所述接地焊盘电连接。9.根据权利要求8所述的mems双轴转镜，其特征在于，所述mems双轴转镜还包括：第一外固齿，设于所述外框架与所述转轴结构平行的一侧内边缘；第二外固齿，设于所述外框架与所述转轴结构平行的另一侧内边缘；第一外动齿，设于所述内框架的一侧外边缘且与所述第一外固齿对应设置；第二外动齿，设于所述内框架的另一侧外边缘且与所述第二外固齿对应设置；第二转动方向正引线焊盘，设于所述外框架上且与所述第一外固齿直接电连接；第二转动方向负引线焊盘，设于所述外框架上且与所述第二外固齿直接电连接；其中，所述第一外动齿及所述第二外动齿均通过所述转轴结构的导电主梁与所述接地焊盘电连接。
10.根据权利要求7所述的mems双轴转镜，其特征在于，所述mems双轴转镜还包括：贯穿槽，设于所述框架的底部且与所述转动空间连通。

技术总结
本发明提供一种转轴结构及MEMS双轴转镜，所述转轴结构包括：导电辅梁，设于所述导电辅梁上方或下方的导电主梁，及隔开所述导电辅梁和所述导电主梁的空气间隙。通过本发明解决了现有三明治结构的外转轴存在断裂等可靠性问题及影响器件温度稳定性的问题。题及影响器件温度稳定性的问题。题及影响器件温度稳定性的问题。


技术研发人员：徐静 李伟
受保护的技术使用者：安徽中科米微电子技术有限公司
技术研发日：2020.05.13
技术公布日：2021/11/19