固体摄像装置、距离测量装置以及距离测量方法与流程

1.本公开涉及一种构成为能够取得距离信息的固体摄像装置。


背景技术：

2.以往，固体摄像装置一直致力于高灵敏度、高清晰地进行拍摄，而近年来也出现了除上述外兼具还能够获得与固体摄像装置之间的距离信息的功能的固体摄像装置。如果对图像附加距离信息，则能够感知固体摄像装置的拍摄对象的3维信息。例如，如果拍摄人物，则能够3维地检测动作(姿势)，因此能够将固体摄像装置作为各种设备的输入装置使用。再例如，如果搭载于汽车上，则能够识别与存在于本车周围的物体、人之间的距离，因此能够应用于防止碰撞、自动驾驶等。
3.在用于测量从固体摄像装置到物体的距离的诸多方法中，存在一种对在从固体摄像装置附近向物体照射光后光被物体反射而返回固体摄像装置为止的时间进行测量的tof(time of flight：飞行时间)法。
4.为了将tof法用于固体摄像装置，需要与光源的调制或脉冲发射时刻同步，来使像素整体同时曝光，即必须使用全局快门功能。并且为了以数m以下的精度检测与物体之间的距离，需要使所述全局快门以10ns以下的速度工作。
5.专利文献1中公开了向全部像素提供高速的全局快门功能的电路(驱动电路)的相关技术。在专利文献1中，通过对像素设置栅极驱动电路，能够高速将向像素供给的电压从第一电压切换为第三电压。
6.专利文献1：日本公开专利公报特开2012
‑
217060号公报


技术实现要素：

7.‑
发明要解决的技术问题
‑
8.然而，在专利文献1的技术中，从电压源至像素之间的布线电阻因像素的布置位置而存在很大差异。例如，与布置于像素阵列的端部的行相比，布置于中央部的行的布线电阻的电阻值更大。即，由于布线电阻的电阻值因像素所布置的位置而异，因此切换开关时的瞬间行为会因像素而异。其结果是，无法同时控制全部像素，全局快门的时刻有可能因像素的位置而产生偏差，从而可能影响距离检测。
9.本公开正是为解决上述技术问题而完成的，其目的在于提供一种既抑制像素的驱动时机的偏差又使像素的驱动高速化的固体摄像装置。
10.‑
用以解决技术问题的技术方案
‑
11.本公开的一方面的固体摄像装置包括多个像素、多个第一信号线以及驱动电路，所述多个像素以矩阵状排列；所述多个第一信号线分别与所述多个像素中的在行方向上排列的像素共通地连接；所述驱动电路向所述第一信号线供给电压，以使所述多个像素曝光。所述像素用于在经由所述第一信号线接受到第一电压的供给时，从所述像素输出信号，另一方面，在经由所述第一信号线接受到第二电压的供给时，从所述像素不输出信号。所述驱
动电路包括第一节点和驱动电路部，所述第一节点与所述多个第一信号线中的至少一个连接；所述驱动电路部向所述第一节点输出电压。所述驱动电路部包括第一电容器、第二电容器、第一开关晶体管、第二开关晶体管、第三开关晶体管以及第四开关晶体管，所述第一电容器接受所述第一电压的供给，向所述第一节点供给所述第一电压；所述第二电容器接受所述第二电压的供给，向所述第一节点供给所述第二电压；所述第一开关晶体管设置于所述第一电压与所述第一电容器之间；所述第二开关晶体管设置于所述第二电压与所述第二电容器之间；所述第三开关晶体管设置于所述第一电容器与所述第一节点之间；所述第四开关晶体管设置于所述第二电容器与所述第一节点之间。
12.‑
发明的效果
‑
13.通过该构成方式，既能抑制像素的驱动时机的偏差，又能使像素的驱动高速化。
附图说明
14.图1是示出第一实施方式的距离测量装置的构成例的简图；
15.图2是第一实施方式的固体摄像装置的电路图；
16.图3是示出第一实施方式的固体摄像装置实施同时曝光时的动作顺序的图；
17.图4是示出第二实施方式的距离测量装置的构成例的简图；
18.图5是第二实施方式的辅助驱动电路的电路图；
19.图6是示出图3的曝光期间的辅助栅极驱动器的动作顺序的图；
20.图7是第三实施方式的固体摄像装置的电路图；
21.图8是第三实施方式的固体摄像装置的像素的电路图；
22.图9是示出第三实施方式的距离测量装置实施同时曝光时的动作顺序的图。
具体实施方式
23.下面，基于附图对本公开的实施方式进行详细的说明。以下优选的实施方式只不过是本质上的示例而已，并无限制本公开、其应用对象或者其用途的意图。例如，虽然公开具体的功能块构成、电路构成，并参照它们进行说明，但所公开的构成归根结底为一例，并非局限于此。
24.(第一实施方式)
25.‑
距离测量装置的构成
‑
26.图1是示出第一实施方式的距离测量装置的构成例的简图。如图1所示，本实施方式的距离测量装置包括固体摄像装置1、信号处理装置2、计算机3以及光源4。
27.固体摄像装置1包括像素阵列11、垂直移位寄存器12、多路复用器13、驱动电路14、列电路15、水平移位寄存器16以及输出放大器17。
28.在像素阵列11，以矩阵状排列有像素100。各像素100根据从多路复用器13或者驱动电路14输入的电压，实施曝光。此外，各像素100根据从多路复用器13输入的选择信号，输出示出曝光结果的电压信号。在以下说明中，像素阵列11包括n行像素100。
29.垂直移位寄存器12将从像素100输出后(从像素100输出到后述的垂直信号线121)的电压信号在列方向上传输，即向列电路15传输。此外，垂直移位寄存器12选择像素阵列11内的特定行的像素100，以便以像素阵列11的行为单位依次从像素100输出示出曝光结果的
电压信号。垂直移位寄存器12将示出像素阵列11中的选择出的行的地址信号输出至多路复用器13。
30.多路复用器13向像素100供给电压，以便根据从垂直移位寄存器12输入进来的地址信号，使信号电荷从像素100输出。此外，多路复用器13向像素100供给电压，以便执行以行为单位依次使像素100曝光的卷帘快门。
31.驱动电路14向像素100供给电压，以使像素阵列11所包含的全部像素100同时曝光。
32.列电路15接受从垂直移位寄存器12传输的电压信号，对各像素100实施去除不同的偏移分量的cds(correlated double sampling：相关双采样)处理等，并向水平移位寄存器16输出信号。
33.水平移位寄存器16将从列电路15输出的信号依次传输至输出放大器17。
34.输出放大器17将从水平移位寄存器16依次输入的信号放大，输出至信号处理装置2。
35.信号处理装置2包括模拟前端21和逻辑
·
存储器22。
36.模拟前端21将从固体摄像装置1的输出放大器17输出后的信号从模拟格式转换为数字格式。此外，模拟前端21将转换为数字格式的信号输出至逻辑
·
存储器22。需要说明的是，模拟前端21也可以根据需要，更换从输出放大器17输出后的信号的顺序。
37.逻辑
·
存储器22基于从模拟前端21接受到的信号，生成距离信号。所生成的距离信号被输出至计算机3。
38.计算机3例如为电脑等，其基于从逻辑
·
存储器22输入的距离信号，构成固体摄像装置1的周围的三维信息。需要说明的是，也可以由信号处理装置2基于距离信号，构成固体摄像装置1的周围的三维信息。
39.光源4向想获得三维信息的部位投射光。光源4中内置有如下的机构，该机构根据需要，通过扩散光来向想获得三维信息的整个部位照射光。从光源4输出在时间轴方向上呈脉冲状的光(以下简称为脉冲光)。脉冲光的输出时刻、宽度由逻辑
·
存储器22控制。
40.‑
固体摄像装置的构成
‑
41.图2示出固体摄像装置的电路图。需要说明的是，在图2中，为了便于说明驱动电路14而省略示出固体摄像装置1的一部分。此外，在图2中，将输入至第k行、第k 1行的像素100的选择信号分别作为选择信号φsel(k)、φsel(k 1)进行图示，将第k行、第k 1行的像素100中的栅极电压v
trn
分别作为栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)进行图示。
42.如图2所示，在行方向上排列的像素100与相同的第一信号线201和第二信号线202连接。此外，在列方向上排列的像素100与相同的垂直信号线121连接。第一信号线201与切换开关211相连接。切换开关211接受开关信号φgsw，将第一信号线201的连接目的地切换为驱动电路14的第一节点302和多路复用器13的第二节点131中的任一者。具体而言，在开关信号φgsw为高电平时，切换开关211将第一信号线201的连接目的地切换为驱动电路14的第一节点302，另一方面，在开关信号φgsw为低电平时，切换开关211将第一信号线201的连接目的地切换为多路复用器13的第二节点131。需要说明的是，第一信号线201的布线宽度比第二信号线202的布线宽度大。
43.驱动电路14从设置于外部的第一电源221接受第一电压的供给，从第二电源222接
受比第一电压低的第二电压的供给。此外，驱动电路14从外部经由第一栅极线231接受充电信号φchg。驱动电路14经由第二栅极线232和第三栅极线233分别接受第一导通信号φon和第二截止信号φoff。
44.此外，驱动电路14包括多个驱动电路部301和多个第一节点302。在驱动电路14，以与各第一信号线201相对应的方式，设置有驱动电路部301和第一节点302。
45.驱动电路部301包括第一开关晶体管303、第二开关晶体管304、第一电容器305、第二电容器306、第三开关晶体管307、第四开关晶体管308以及第一节点302。第一开关晶体管303和第二开关晶体管304以及第四开关晶体管308是n型的mos(metal oxide semiconductor：金属氧化物半导体)晶体管，第三开关晶体管307是p型的mos晶体管。
46.第一开关晶体管303的源极与第一电源221相连接，栅极与第一栅极线231相连接，漏极与第一电容器305的一端和第三开关晶体管307的源极分别相连接。第二开关晶体管304的源极与第二电源222相连接，栅极与第一栅极线231相连接，漏极与第二电容器306的一端和第四开关晶体管308的源极分别相连接。第一电容器305和第二电容器306各自的另一端与接地电源相连接。第三开关晶体管307的栅极与第二栅极线232相连接，漏极与第一节点302和第四开关晶体管308的漏极分别相连接。第四开关晶体管308的栅极与第三栅极线233相连接。
47.此处，经由第一栅极线231分别向第一开关晶体管303和第二开关晶体管304的栅极赋予充电信号φchg。此外，经由第二栅极线232分别向第三开关晶体管307的栅极赋予第一导通信号φon。此外，经由第三栅极线233向第四开关晶体管308的栅极赋予第一截止信号φoff。即，根据充电信号φchg，在第一开关晶体管303和第二开关晶体管304的导通状态与截止状态之间切换。此外，根据第一导通信号φon，在第三开关晶体管307的导通状态与截止状态之间切换。此外，根据第一截止信号φoff，在第四开关晶体管308的导通状态与截止状态之间切换。
48.多路复用器13包括多个第二节点131。第二节点131设置为与各第一信号线201相对应。此外，当以卷帘快门方式使像素100曝光时，通过切换开关211，将第一信号线201的连接目的地切换为多路复用器13的第二节点131。此时，多路复用器13向第二节点131供给第一电压和第二电压，以使像素100以行为单位依次曝光。
49.此外，多路复用器13从垂直移位寄存器12接受地址信号φadr，经由第二信号线202，向像素100输出选择信号φsel。例如，当地址信号φadr示出由垂直移位寄存器12选择出第一行像素100时，多路复用器13向连接有第一行像素100的第二信号线202输出高电平的选择信号φsel。
50.如图2所示，像素100包括光电二极管101、传输门晶体管102以及选择晶体管103。需要说明的是，像素100包含使像素100内的信号电荷复位的复位晶体管等，但为了简化说明，图2中省略图示。
51.光电二极管101根据入射光生成信号电荷。
52.传输门晶体管102是n型的mos晶体管，其源极与光电二极管101相连接，其栅极与第一信号线201相连接。传输门晶体管102将由光电二极管101生成的信号电荷传输至浮动扩散部fd。此处，在经由第一信号线201向传输门晶体管102供给了第一电压时，传输门晶体管102实施对由光电二极管101生成的信号电荷的传输，另一方面，在经由第一信号线201向
传输门晶体管102供给了第二电压时，传输门晶体管102不实施对由光电二极管101生成的信号电荷的传输。即，传输门晶体管102根据输入至栅极的栅极电压v
trn
，实施对信号电荷的传输。因此，像素100在经由第一信号线201接受到第一电压的供给时，从像素100输出信号，另一方面，在经由第一信号线201被供给了第二电压时，不从像素100输出信号。
53.选择晶体管103是n型的mos晶体管，根据输入至栅极的选择信号φsel，将基于在浮动扩散部fd积蓄的信号电荷的电压信号输出至垂直信号线121。例如，选择晶体管103的源极与浮动扩散部fd相连接，栅极与第二信号线202相连接，漏极与垂直信号线121相连接。即，选择晶体管103在从多路复用器13输入的选择信号φsel为高电平时，将与在浮动扩散部fd积蓄的信号电荷相对应的电压信号输出至垂直信号线121。
54.图3示出由固体摄像装置实施同时曝光(全局快门)时的动作顺序。如图3所示，当实施同时曝光时，固体摄像装置1在实施多次曝光期间中所示出的动作后，实施读出期间中所示出的动作。在曝光期间，固体摄像装置1实施像素100的同时曝光，在读出期间，固体摄像装置1从像素100输出示出曝光结果的电压信号。
55.首先，对曝光期间中的固体摄像装置1的动作进行说明。
56.在时刻t1之前的初始状态下，充电信号φchg、开关信号φgsw、第一截止信号φoff、选择信号φsel(k)、φsel(k 1)分别为低电平，第一导通信号φon为高电平。此外，向多路复用器13的第二节点131供给接地电压。此外，包括栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)在内的第一行像素100～第n行像素100中的栅极电压v
trn
分别为接地电压。
57.在时刻t1，充电信号φchg变为高电平。此时，第一开关晶体管303和第二开关晶体管304分别成为导通状态，第一电源221与第一电容器305连接，并且第二电源222与第二电容器306连接。因此，从第一电源221向第一电容器305供给第一电压，从第二电源222向第二电容器306供给第二电压。即，在时刻t1，第一电容器305和第二电容器306开始充电。
58.在时刻t2，充电信号φchg变为低电平。此时，第一开关晶体管303和第二开关晶体管304分别变为截止状态，停止从第一电源221向第一电容器305供给第一电压，并且停止从第二电源222向第二电容器306供给第二电压。即，在时刻t2，第一电容器305和第二电容器306分别结束充电。
59.在时刻t3，开关信号φgsw变为高电平。此时，通过切换开关211，第一信号线201的连接目的地从多路复用器13的第二节点131切换为驱动电路14的第一节点302。
60.在时刻t4，第一导通信号φon变为低电平。此时，第三开关晶体管307成为导通状态，第一电容器305与第一节点302连接，因此从第一电容器305经由第一信号线201向传输门晶体管102的栅极供给第一电压。因此，包括栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)在内的第一行像素100～第n行像素100中的栅极电压v
trn
分别变为第一电压，第一行像素100～第n行像素100中的传输门晶体管102成为导通状态。即，在时刻t4，传输门晶体管102开始传输由光电二极管101生成的信号电荷，因此从第一行像素100～第n行像素100输出信号。因此，在时刻t4，开始像素100的同时曝光。
61.在时刻t5，第一导通信号φon、第一截止信号φoff分别变为高电平。此时，第三开关晶体管307变为截止状态，停止从第一电容器305向第一节点302供给第一电压。此外，第四开关晶体管308成为导通状态，第二电容器306与第一节点302连接，因此从第二电容器306经由第一信号线201向传输门晶体管102的栅极供给第二电压。因此，包括栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)在内的第一行像素100～第n行像素100中的栅极电压v
trn
分别变为第二电压，传输门晶体管102变为截止状态。即，在时刻t5，传输门晶体管102停止传输由光电二极管101生成的信号电荷，因此停止从第一行像素100～第n行像素100输出信号。因此，在时刻t5，结束像素100的同时曝光。
62.此处，在时刻t5，产生第三开关晶体管307与第四开关晶体管308同时变为导通的瞬间，因此积蓄于第二电容器306的电荷的一部分流入第一电容器305，由此包括栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)在内的第一行像素100～第n行像素100中的栅极电压v
trn
不会完全变为第二电压。然而，只要此时的传输门晶体管102的栅极电压v
trn
在传输门晶体管102的阈值电压以下，就能够停止对信号电荷的传输。
63.在时刻t6，第一截止信号φoff变为低电平。此时，第四开关晶体管308变为截止状态，停止从第二电容器306向第一节点302供给第二电压。
64.在时刻t7，开关信号φgsw变为低电平。此时，通过切换开关211，第一信号线201的连接目的地从驱动电路14的第一节点302切换为多路复用器13的第二节点131。因此，包括栅极电压v
trn
(k)、v
trn
(k 1)在内的第一行像素100～第n行像素100中的栅极电压v
trn
分别从第二电压变为接地电压。
65.时刻t7之后，曝光期间的动作被实施规定次数。
66.接下来，对读出期间中的固体摄像装置1的动作进行说明。此处，对在读出期间从在第k、k 1行排列的像素100读出与曝光结果相对应的电压信号的情况下的固体摄像装置1的动作进行说明。
67.在时刻t8，选择信号φsel(k)变为高电平。此时，在第k行排列的像素100的选择晶体管103成为导通状态，基于在浮动扩散部fd积蓄的信号电荷的电压信号被输出至垂直信号线121。
68.在时刻t9，选择信号φsel(k)变为低电平。此时，选择晶体管103变为截止状态，结束从在第k行排列的像素100输出电压信号。
69.时刻t9之后，与布置于第k行的像素相同，也对布置于第k 1行的像素100实施信号电荷的输出。这样，在读出期间，以行为单位实施像素100的电压信号的输出。
70.通过以上的构成方式，第一开关晶体管303设置于第一电源221与第一电容器305之间，接受充电信号φchg，在导通状态与截止状态之间切换。第二开关晶体管304设置于第二电源222与第二电容器306之间，接受充电信号φchg，在导通状态与截止状态之间切换。第三开关晶体管307设置于第一电容器305与第一节点302之间，接受第一导通信号φon，在导通状态与截止状态之间切换。第四开关晶体管308设置于第二电容器306与第一节点302之间，接受第一截止信号φoff，在导通状态与截止状态之间切换。即，通过第一开关晶体管303，将第一电源221与第一电容器305连接起来，由此能够将第一电容器305充电至第一电压。通过第二开关晶体管304，将第二电源222与第二电容器306连接起来，由此能够将第二电容器306充电至第二电压。此外，通过第一开关晶体管303停止从第一电源221向第一电容器305供给第一电压，通过第三开关晶体管307将第一电容器305与第一节点302连接，由此能够从第一电容器305经由第一节点302和第一信号线201向像素100供给第一电压，能够向像素100传输信号电荷，即从像素100输出信号。此外，通过第二开关晶体管304停止从第二电源222向第二电容器306供给第二电压，通过第四开关晶体管308将第二电容器306与第一
节点302连接，由此能够从第二电容器306经由第一节点302和第一信号线201向像素100供给第二电压，能够停止向像素100传输信号电荷，即停止从像素100输出信号。因此，在向像素100供给第一电压时，像素100不与第一电源221连接，而是与第一电容器305连接。此外，在向像素100供给第二电压时，像素100不与第二电源222连接，而是与第二电容器306连接。因此，从第一电压和第二电压的供给源到像素100的布线长度缩短，能够高速驱动像素100。此外，由于不会受到从第一电容器305和第二电容器306到像素100的布线以外的布线的寄生分量的影响，因此能够抑制多个像素100的驱动时机的偏差。由此，既能抑制像素100的驱动时机的偏差，又能使像素100的驱动高速化。
71.此外，第一电压是比第二电压高的电压。此外，第三开关晶体管307是p型mos晶体管，第四开关晶体管308是n型mos晶体管。由此，在第一电容器305的充电后的电压达到第一电压时，通过向第三开关晶体管307的栅极供给比第一电压低的电压，能够驱动第三开关晶体管307。此外，在第二电容器306的充电后的电压达到第二电压时，通过向第四开关晶体管308的栅极供给比第二电压高的电压，能够驱动第四开关晶体管308。因此，能够抑制第三开关晶体管307和第四开关晶体管308的驱动所需的电压的范围。
72.此外，第二电容器306的电容比第一电容器305的电容大。由此，在时刻t5，即使第一导通信号φon成为高电平的时机比第一截止信号φoff成为高电平的时机晚，由于第二电容器306的电容大于第一电容器305的电容，因此也能够迅速向像素100供给第二电压。
73.此外，第一电容器305和第二电容器306的充电时间，即从时刻t1到时刻t2的时间并没有特别限制，例如可以设定为数μs。因此，无需实施抑制从第一电源221到第一电容器305的布线电阻和从第二电源222到第二电容器306的布线电阻那样的布局。由此，无需增大从第一电源221到第一电容器305的布线的布线宽度和从第二电源222到第二电容器306的布线的布线宽度，因此不会压缩固体摄像装置1的布局面积。例如，在第一电容器305、第二电容器306的电容为数pf的情况下，各布线电阻可以为数kω。
74.需要说明的是，因为利用第一电容器305和第二电容器306来驱动在行方向上排列的像素100的传输门晶体管102，因此第一电容器305和第二电容器306的电容需要分别大于从第一节点302到像素100所包含的寄生电容的总和。
75.此外，为了使各像素100以1ns左右的速度高速工作，必须使从第三开关晶体管307、第四开关晶体管308到传输门晶体管102的栅极的布线电阻足够小。例如，如果像素100的尺寸在行方向和列方向上为10μm左右、像素100的列数为1000左右，则需要使第一信号线201的布线宽度为500nm～1μm左右。此外，如果传输门晶体管102的电容值为0.5pf、第一信号线201的表面电阻为0.1q、布线宽度为1μm，则由于第一信号线201的布线电阻为1kq，因此时间常数为0.5ns，能够以1ns的速度高速工作。
76.此外，由于无需高速驱动选择晶体管103，因此能够将第二信号线202的布线宽度形成得比第一信号线201的布线宽度窄。由此，能够确保光电二极管101的光入射用的开口宽度。
77.需要说明的是，在本实施方式中，针对一个第一信号线201设置有一个驱动电路部301，但并不局限于此。也可以针对多个第一信号线201设置有一个驱动电路部301。
78.(第二实施方式)
79.图4是示出第二实施方式的距离测量装置的构成例的简图，图5是辅助驱动电路的
电路图。如图4所示，固体摄像装置1还包括辅助驱动电路18。
80.辅助驱动电路18用于分别经由第二栅极线232和第三栅极线233，向驱动电路14输出第一导通信号φ0n和第一截止信号φoff。
81.具体而言，辅助驱动电路18从设置于外部的第三电源223和第四电源224接受电压的供给。第三电源223实施第三电压的供给，第四电源224实施比第三电压低的第四电压的供给。需要说明的是，第三电压和第四电压既可以分别与第一电压和第二电压相同，还可以分别与第一电压和第二电压不同。
82.此外，辅助驱动电路18包括生成第一导通信号φon的导通信号生成电路19和生成第一截止信号φoff的截止信号生成电路20。
83.导通信号生成电路19包括第三节点402a、第五开关晶体管403a、第六开关晶体管404a、第三电容器405a、第四电容器406a、第七开关晶体管407a以及第八开关晶体管408a。需要说明的是，第三开关晶体管403a和第六开关晶体管404a以及第八开关晶体管408a是n型的mos晶体管，第七开关晶体管407a是p型的mos晶体管。
84.第五开关晶体管403a的源极与第三电源223相连接，漏极与第三电容器405a的一端和第七开关晶体管407a的源极分别相连接，在栅极接受充电信号φchg。第六开关晶体管404a的源极与第四电源224相连接，漏极与第四电容器406a的一端和第八开关晶体管408a的源极分别相连接，在栅极接受充电信号φchg。第三电容器405a和第四电容器406a的另一端分别与接地电源相连接。第七开关晶体管407a的漏极与第三节点402a和第八开关晶体管408a的漏极分别相连接，在栅极接受第二导通信号φdon。第八开关晶体管408a在栅极接受第二截止信号φdoff。第三节点402a与第二栅极线232相连接，第三节点402a经由第二栅极线232与驱动电路14的第三开关晶体管307相连接。
85.截止信号生成电路20构成为与导通信号生成电路19几乎相同，但是输入至第七开关晶体管和第八开关晶体管的栅极的信号和第三节点的连接目的地不同。
86.具体而言，截止信号生成电路20包括第三节点402b、第五开关晶体管403b、第六开关晶体管404b、第三电容器405b、第四电容器406b、第七开关晶体管407b以及第八开关晶体管408b。第七开关晶体管407b在栅极接受第三导通信号φuon。第八开关晶体管408b在栅极接受第三截止信号φuoff。此外，第三节点402b与第三栅极线233相连接，第三节点402b经由第三栅极线233与驱动电路14的第四开关晶体管308相连接。
87.图6示出图3的曝光期间中的辅助栅极驱动器的动作顺序。
88.在时刻t21之前的初始状态下，充电信号φchg、第二截止信号φdoff、第三截止信号φuoff和第一截止信号φoff为低电平，第二导通信号φdon、第三导通信号φuon和第一导通信号φon为高电平。
89.在时刻t21，充电信号φchg变为高电平。此时，第五开关晶体管403a、403b和第六开关晶体管404a、404b分别成为导通状态。因此，第三电源223与第三电容器405a、405b连接，并且第四电源224与第四电容器406a、406b连接。即，从第三电源223向第三电容器405a、405b供给第三电压，从第四电源224向第四电容器406a、406b供给第四电压。因此，在时刻t21，第三电容器405a、405b和第四电容器406a、406b开始充电。
90.在时刻t22，充电信号φchg变为低电平。此时，第五开关晶体管403a、403b和第六开关晶体管404a、404b分别变为截止状态。因此，停止从第三电源223向第三电容器405a、
405b供给第三电压，并且停止从第四电源224向第四电容器406a、406b供给第四电压。即，在时刻t22，第三电容器405a、405b和第四电容器406a、406b结束充电。
91.在时刻t23，第二截止信号φdoff变为高电平。此时，在导通信号生成电路19，第八开关晶体管408a成为导通状态，第四电容器406a与第三节点402a连接，因此从第四电容器406a向第三节点402a供给第四电压。即，在时刻t23，导通信号φon变为低电平，驱动电路14的各第三开关晶体管307成为导通状态。需要说明的是，时刻t23相当于图3中的时刻t4。
92.在时刻t24，第二导通信号φdon和第三截止信号φuon分别变为低电平。此时，在导通信号生成电路19，第七开关晶体管407a成为导通状态，第三电容器405a与第三节点402a连接，因此从第三电容器405a向第三节点402a供给第三电压。即，第一导通信号φon变为高电平，驱动电路14的各第三开关晶体管307变为截止状态。
93.此外，在截止信号生成电路20，第七开关晶体管407b成为导通状态，第三电容器405b与第三节点402b连接，因此从第三电容器405b向第三节点402b供给第三电压。即，第一截止信号φoff变为高电平，驱动电路14的各第四开关晶体管308成为导通状态。需要说明的是，时刻t24相当于图3中的时刻t5。
94.在时刻t25，第三截止信号φuoff变为高电平。此时，在截止信号生成电路20，第八开关晶体管408b成为导通状态，第四电容器406b与第三节点402b连接，因此从第四电容器406b向第三节点402b供给第四电压。即，第一截止信号φoff变为低电平，驱动电路14的各第四开关晶体管308变为截止状态。需要说明的是，时刻t25相当于图3中的时刻t6。
95.时刻t25之后，通过依次将第二截止信号φdoff变更为低电平、将第二导通信号φdon变更为高电平、将第三导通信号φuon变更为高电平、将第三截止信号φuoff变更为低电平，由此返回到时刻t21之前的初始状态。
96.通过以上的构成方式，固体摄像装置1包括对驱动电路14中的第三开关晶体管307和第四开关晶体管308进行控制的辅助驱动电路18。辅助驱动电路18的导通信号生成电路19经由第三节点402a和第二栅极线232向第三开关晶体管307的栅极输出导通信号φon。辅助驱动电路18的截止信号生成电路20经由第三节点402b和第三栅极线233向第四开关晶体管308的栅极输出截止信号φoff。由此，即使在驱动电路部14设置有很多个驱动电路部301的情况下，也能够抑制各第三开关晶体管307和各第四开关晶体管308的驱动时机的偏差，并能使第三开关晶体管307、第四开关晶体管308的驱动高速化。
97.需要说明的是，为了将驱动电路14的各第三开关晶体管307同时驱动，将导通信号生成电路19的第四电容器406a的电容设定为比从第三电容器405a到第三开关晶体管307的寄生电容的总和大。此外，为了高速驱动第三开关晶体管307，将第二栅极线232的布线电阻设计为根据其与上述寄生电容之积计算出的时间常数在ns以下。
98.(第三实施方式)
99.图7示出第三实施方式的固体摄像装置的电路图，图8示出第三实施方式的固体摄像装置中的像素的电路图。需要说明的是，在图7中，将第k行的像素600中的输入至溢出晶体管105的栅极的栅极电压、输入至传输门晶体管102的栅极的栅极电压、输入至复位晶体管106的栅极的复位信号、输入至计数晶体管107的栅极的计数信号、输入至选择晶体管103的栅极的选择信号分别作为栅极电压v
ovf
(k)、栅极电压v
trn
(k)、复位信号φrst(k)、计数信号φcnt(k)、选择信号φsel(k)进行图示。此外，在图7中，将第k 1行的像素600中的输入至
溢出晶体管105的栅极的栅极电压、输入至传输门晶体管102的栅极的栅极电压、输入至复位晶体管106的栅极的复位信号、输入至计数晶体管107的栅极的计数信号、输入至选择晶体管103的栅极的选择信号分别作为栅极电压v
ovf
(k 1)、栅极电压v
trn
(k 1)、复位信号φrst(k 1)、计数信号φcnt(k 1)、选择信号φsel(k 1)进行图示。
100.如图7和图8所示，第三实施方式的固体摄像装置1包括以矩阵状排列的多个像素600。像素600包括雪崩光电二极管104、溢出晶体管105、传输门晶体管102、复位晶体管106、计数晶体管107、存储电容器108、放大晶体管109以及选择晶体管103。各晶体管都是n型的mos晶体管。
101.雪崩光电二极管104用于实施将入射光转换为信号电荷的光电转换。雪崩光电二极管104用于在通过光电转换生成了一个信号电荷时，将该信号电荷放大至数万个电荷到数十万个电荷。
102.溢出晶体管105的源极与雪崩光电二极管104相连接，其漏极与复位漏极相连接，其栅极与第三信号线203相连接。在向溢出晶体管105的栅极供给了第一电压时，溢出晶体管105成为导通状态，将雪崩光电二极管104与复位漏极连接，将由雪崩光电二极管104生成的信号电荷排出至复位漏极。
103.传输门晶体管102的源极与雪崩光电二极管104相连接，其漏极与浮动扩散部fd相连接，其栅极与第一信号线201相连接。在向传输门晶体管102的栅极供给了第一电压时，传输门晶体管102成为导通状态，将雪崩光电二极管104与浮动扩散部fd连接，将由雪崩光电二极管104生成的信号电荷传输至浮动扩散部fd。
104.复位晶体管106的源极与浮动扩散部fd相连接，其漏极与复位漏极相连接，在栅极接受从多路复用器13输出的复位信号φrst。在复位信号φrst为高电平时，复位晶体管106成为导通状态，将浮动扩散部fd与复位漏极连接，将浮动扩散部fd的信号电荷排出至复位漏极。
105.计数晶体管107的源极与浮动扩散部fd相连接，其漏极与存储电容器108的一端相连接，在栅极接受从多路复用器13输出的计数信号φcnt。此外，在存储电容器108的另一端连接有接地电压。在计数信号φcnt为高电平时，计数晶体管107将浮动扩散部fd与存储电容器108连接，将积蓄于浮动扩散部fd的信号电荷传输至存储电容器108。即，每当计数信号φcnt成为高电平时，都从计数晶体管107向存储电容器108传输。即，在存储电容器108积蓄基于曝光结果的信号电荷。
106.放大晶体管109的栅极与浮动扩散部fd相连接，放大晶体管109放大浮动扩散部fd的电压，从漏极输出。
107.选择晶体管103的源极与放大晶体管109的漏极相连接，其漏极与垂直信号线121相连接，在栅极接受选择信号φsel。在选择信号φsel为高电平时，选择晶体管103成为导通状态，将输入到漏极的电压输出至垂直信号线121。即，选择晶体管103将与雪崩光电二极管104的曝光结果相对应的电压信号输出至垂直信号线121。
108.此外，固体摄像装置1包括第一驱动电路14a、第二驱动电路14b、第一辅助驱动电路18a、第二辅助驱动电路18b、多路复用器13以及垂直移位寄存器12，所述第一驱动电路14a经由第一信号线201向传输门晶体管102的栅极供给栅极电压v
trn
；所述第二驱动电路14b经由第三信号线203向溢出晶体管105的栅极供给栅极电压v
ovf
；所述第一辅助驱动电路
18a向第一驱动电路14a输入第一导通信号φon_trn和第一截止信号φoff_trn；所述第二辅助驱动电路18b向第二驱动电路14b输入第一导通信号φon_ovf和第一截止信号φoff_ovf；所述多路复用器13向像素600输入复位信号φrst、计数信号φcnt和选择信号φsel；垂直移位寄存器12向多路复用器13输入地址信号φadr。需要说明的是，第一驱动电路14a和第二驱动电路14b分别具有与驱动电路14相同的电路构成，第一辅助驱动电路18a和第二辅助驱动电路18b分别具有与辅助驱动电路18相同的电路构成。此外，图7中，将输入至第一辅助驱动电路18a的第二导通信号、第二截止信号、第三导通信号、第三截止信号分别作为第二导通信号φdon_trn、第二截止信号φdoff_trn、第三导通信号φuon_trn、第三截止信号φuoff_trn进行图示，将输入至第二辅助驱动电路18b的第二导通信号、第二截止信号、第三导通信号、第三截止信号分别作为第二导通信号φdon_ovf、第二截止信号φdoff_ovf、第三导通信号φuon_ovf、第三截止信号φuoff_ovf进行图示。
109.图9示出本实施方式的距离测量装置实施同时曝光时的动作顺序。
110.首先，对曝光期间中的距离测量装置的动作进行说明。
111.在时刻t41之前的初始状态下，充电信号φchg、开关信号φgsw、第一截止信号φoff_ovf、φoff_trn、第二截止信号φdoff_ovf、φdoff_trn、第三截止信号φuoff_ovf、φuoff_trn分别为低电平，第一导通信号φon_ovf、φon_trn、第二导通信号φdon_ovf、φdon_trn、第三导通信号φuon_ovf、φuon_trn分别为高电平。此外，向多路复用器13的各第二节点131供给接地电压。
112.此外，包括栅极电压v
trn
(k)、v
ovf
(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的栅极电压v
trn
分别为接地电压。此外，包括计数信号φcnt(k)、选择信号φsel(k)、复位信号φrst(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的计数信号φcnt、选择信号φsel、复位信号φrst为低电平。
113.在时刻t41，充电信号φchg变为高电平。此时，在第一驱动电路14a和第二驱动电路14b，第一开关晶体管303和第二开关晶体管304分别成为导通状态，第一电源221与第一电容器305连接，第二电源222与第二电容器306连接。此外，在第一辅助驱动电路18a和第二辅助驱动电路18b，第三开关晶体管403a、403b和第六开关晶体管404a、404b分别成为导通状态，第三电源223与第三电容器405a、405b连接，第四电源224与第四电容器406a、406b连接。即，在时刻t41，第一至第四电容器305、306、405a、405b、406a、406b开始充电。
114.在时刻t42，充电信号φchg变为低电平。在第一驱动电路14a和第二驱动电路14b，第一开关晶体管303和第二开关晶体管304分别变为截止状态，停止从第一电源221向第一电容器305供给第一电压，停止从第二电源222向第二电容器306供给第二电压。此外，在第一辅助驱动电路18a和第二辅助驱动电路18b，第三开关晶体管403a、403b和第六开关晶体管404a、404b分别变为截止状态，停止从第三电源223向第三电容器405a、405b供给第三电压，停止从第四电源224向第四电容器406a、406b供给第四电压。即，在时刻t42，第一至第四电容器305、306、405a、405b、406a、406b结束充电。
115.在时刻t43，开关信号φgsw变为高电平。此时，通过切换开关211，第一信号线201的连接目的地成为第一驱动电路14a的第一节点302，第三信号线203的连接目的地成为第二驱动电路14b的第一节点302。
116.在时刻t44至时刻t45之间，从光源4对物体照射脉冲光。
117.在时刻t46，第二截止信号φdoff_ovf变为高电平。此时，在第二辅助驱动电路18b，第八开关晶体管408a成为导通状态，第四电容器406a与第三节点402a连接。因此，第一导通信号φon_ovf变为低电平。伴随于此，第二驱动电路14b中的第三开关晶体管307成为导通状态，第一电容器305与第一节点302连接。即，经由第三信号线203向像素600的溢出晶体管105的栅极供给第一电压。因此，包括栅极电压v
ovf
(k)在内的第一行像素600～第n行像素600的栅极电压v
ovf
成为第一电压，故而溢出晶体管105成为导通状态，复位漏极与雪崩光电二极管104连接，第一行像素600～第n行像素600中的雪崩光电二极管104内的信号电荷排出至复位漏极。
118.在时刻t47，第二导通信号φdon_ovf、第三导通信号φuon_ovf变为低电平，第二截止信号φdoff_trn变为高电平。
119.此时，在第二辅助驱动电路18b的导通信号生成电路19，第七开关晶体管407a成为导通状态，第三电容器405a与第三节点402a连接。因此，第一导通信号φon_ovf变为高电平。伴随于此，第二驱动电路14b中的第三开关晶体管307变为截止状态，停止从第一电容器305向第一节点302供给第一电压。另一方面，在第二辅助驱动电路18b的截止信号生成电路20，第七开关晶体管407b成为导通状态，第三电容器405b与第三节点402b连接。因此，第一截止信号φoff_ovf变为高电平。伴随于此，第二驱动电路14b中的第四开关晶体管308成为导通状态，第二电容器306与第一节点302连接。即，经由第三信号线203向像素600的溢出晶体管105的栅极供给第二电压。因此，包括栅极电压v
ovf
(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的栅极电压v
ovf
变为第二电压，溢出晶体管105变为截止状态，从而变为第一行像素600～第n行像素600中的复位漏极与雪崩光电二极管104未连接的状态。
120.此外，在第一辅助驱动电路18a的导通信号生成电路19，第八开关晶体管408a成为导通状态，第四电容器406a与第三节点402a连接。因此，第一导通信号φon_trn变为低电平。伴随于此，第一驱动电路14a中的第三开关晶体管307变为导通状态，第一电容器305与第一节点302连接。即，经由第一信号线201，向像素600的传输门晶体管102的栅极供给第一电压。因此，包括栅极电压v
trn
(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的栅极电压v
trn
变为第一电压，传输门晶体管102成为导通状态，开始从雪崩光电二极管104向浮动扩散部fd传输信号电荷，从第一行像素600～第n行像素600输出信号。即，在时刻t47，开始像素600的同时曝光。
121.在时刻t48，第三截止信号φuoff_ovf变为高电平，第二导通信号φdon_trn、第三导通信号φuon_trn变为低电平。
122.此时，在第一辅助驱动电路18a的截止信号生成电路20，第八开关晶体管408b成为导通状态，第四电容器406b与第三节点402b连接。因此，第一截止信号φon_ovf变为低电平。伴随于此，第二驱动电路14b中的第四开关晶体管308变为截止状态，停止从第二电容器306向第一节点302供给第二电压。
123.此外，在第一辅助驱动电路18a的导通信号生成电路19，第七开关晶体管407a成为导通状态，第三电容器405a与第三节点402a连接。因此，第一导通信号φon_trn变为高电平。伴随于此，第一驱动电路14a中的第三开关晶体管307变为截止状态，停止从第一电容器305向第一节点302供给第一电压。另一方面，在第一辅助驱动电路18a的截止信号生成电路20，第七开关晶体管407b成为导通状态，第三电容器405b与第三节点402b连接。因此，第一
截止信号φoff_trn变为高电平。伴随于此，第一驱动电路14a中的第四开关晶体管308变为导通状态，第二电容器306与第一节点302连接。即，经由第一信号线201，向像素600的传输门晶体管102的栅极供给第二电压。因此，包括栅极电压v
trn
(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的栅极电压v
trn
变为第二电压，传输门晶体管102变为截止状态，停止从雪崩光电二极管104向浮动扩散部fd传输信号电荷。即，在时刻t48，结束像素600的同时曝光。
124.时刻t48之后，第二导通信号φdon_ovf、φdon_trn、第二截止信号φdoff_ovf、φdoff_trn、第三导通信号φuon_ovf、φuon_trn、第三截止信号φuoff_ovf、φuoff_trn依次返回初始状态。
125.在时刻t49至时刻t50之间，包括计数信号φcnt(k)在内的第一行像素600～第n行像素600中的计数信号φcnt变为高电平。此时，计数晶体管107成为导通状态，从浮动扩散部fd向存储电容器108传输信号电荷。存储电容器108积蓄从浮动扩散部fd传输过来的信号电荷。
126.之后，将曝光期间的动作实施规定次数。即，在本实施方式的距离测量装置中，实施多次像素600的同时曝光，将示出其曝光结果的信号电荷积蓄于存储电容器108。
127.此处，在对与本实施方式的距离测量装置之间的距离为d的物体进行曝光的情况下，以如下的方式设定时刻t44至时刻t47的时间(c为光速)。
128.[式1]
[0129][0130]
在该情况下，在时刻t46至时刻t47的时间为h时，从距离d到以下的距离之间的物体被曝光。
[0131]
[式2]
[0132][0133]
即，h越短，越能准确地计算与物体之间的距离。
[0134]
接下来，对读出期间中的距离测量装置的动作进行说明。此处，对从在第k行排列的像素600读出与曝光结果相对应的信号电荷的情况下的动作进行说明。
[0135]
在时刻t51，选择信号φsel(k)成为高电平。此时，选择晶体管103成为导通状态，放大晶体管109与垂直信号线121连接。
[0136]
在时刻t52，复位信号φrst(k)成为高电平。此时，复位晶体管106成为导通状态，浮动扩散部fd与复位漏极连接，积蓄于浮动扩散部fd的信号电荷排出至复位漏极。
[0137]
在时刻t53，复位信号φrst(k)变为低电平。此时，复位晶体管106变为截止状态，从而变为浮动扩散部fd与复位漏极未连接的状态。
[0138]
在时刻t54，计数信号φcnt(k)成为高电平。此时，计数晶体管107成为导通状态，存储电容器108与浮动扩散部fd连接。即，与存储电容器108的电压相对应的信号电荷被供给至浮动扩散部fd。伴随于此，放大晶体管109放大浮动扩散部fd的电压，来向选择晶体管103输出。选择晶体管103将从放大晶体管109输出过来的电压输出至垂直信号线121。即，像素600将与在存储电容器108积蓄的信号电荷相对应的电压信号输出至垂直信号线121。
[0139]
在时刻t55，计数信号φcnt(k)变为低电平。此时，计数晶体管107变为截止状态，从而变为存储电容器108与浮动扩散部fd未连接的状态。
[0140]
在时刻t56，复位信号φrst(k)和计数信号φcnt(k)变为高电平。此时，复位晶体管106和计数晶体管107变为导通状态，存储电容器108和浮动扩散部fd的信号电荷排出至复位漏极。即，存储电容器108和浮动扩散部fd的电压被复位。
[0141]
在时刻t56之后，复位信号φrst(k)、计数信号φcnt(k)和选择信号φsel(k)变为低电平，返回初始状态。之后，对像素600的每一行实施相同的操作，从像素600输出电压信号。
[0142]
通过以上的构成方式，距离测量装置包括固体摄像装置1和光源4。固体摄像装置1包括像素600，所述像素600包括雪崩光电二极管104、溢出晶体管105以及传输门晶体管102，所述溢出晶体管105将由雪崩光电二极管104生成的信号电荷排出至复位漏极，所述传输门晶体管102将由雪崩光电二极管104生成的信号电荷传输至浮动扩散部fd。此外，固体摄像装置1包括第一驱动电路14a、第二驱动电路14b、第一辅助驱动电路18a以及第二辅助驱动电路18b，所述第一驱动电路14a控制传输门晶体管102，所述第二驱动电路14b控制溢出晶体管105，所述第一辅助驱动电路18a控制第三开关晶体管307，所述第二辅助驱动电路18b控制第四开关晶体管308。在向传输门晶体管102和溢出晶体管105的栅极供给第一电压时，传输门晶体管102和溢出晶体管105不与第一电源221连接，而是与第一电容器305连接。在向传输门晶体管102和溢出晶体管105的栅极供给第二电压时，传输门晶体管102和溢出晶体管105不与第二电源222连接，而是与第二电容器306连接。此外，在向第三开关晶体管307和第四开关晶体管308的栅极供给第三电压时，第三开关晶体管307和第四开关晶体管308不与第三电源223连接，而是与第三电容器405a、405b分别连接。在向第三开关晶体管307和第四开关晶体管308的栅极供给第四电压时，第三开关晶体管307和第四开关晶体管308不与第四电源224连接，而是与第四电容器406a、406b分别连接。即，从第一电压和第二电压的供给源到传输门晶体管102的布线长度以及从第一电压和第二电压的供给源到溢出晶体管105的布线长度缩短，能够高速驱动传输门晶体管102和溢出晶体管105。此外，由于不会受到从第一电容器305和第二电容器306到传输门晶体管102的布线以外的布线的寄生分量以及从第一电容器305和第二电容器306到溢出晶体管105的布线以外的布线的寄生分量的影响，因此能够抑制多个像素600的驱动时机的偏差。进而，从第三电压和第四电压的供给源到第三开关晶体管307的布线长度以及从第三电压和第四电压的供给源到第四开关晶体管308的布线长度缩短，能够高速驱动第三开关晶体管307和第四开关晶体管308。此外，由于不会受到从第三电容器405a和第四电容器406a到第三开关晶体管307的布线以外的布线的寄生分量以及从第三电容器405b和第四电容器406b到第四开关晶体管308的布线以外的布线的寄生分量的影响，因此能够抑制第三开关晶体管307和第四开关晶体管308的驱动时机的偏差。由此，既能抑制像素600的驱动时机的偏差又能使像素600的驱动高速化。
[0143]
此外，第二信号线202形成为布线宽度比第一信号线201和第三信号线203都窄。由此，不会压缩像素600的布局的面积。
[0144]
此外，例如，在光源4为激光的情况下，光源4会照射峰值功率极大(例如100w以上)、宽度较小(数10ns左右)的脉冲光。即，由于光源4在极短的期间(时刻t44～t45之间)照射脉冲光，因此，能够在除此以外的期间(时刻t41～t42之间)，对第一至第四电容器305、
306、405a、405b、406a、406b实施充电。由此，能够将光源4的发光时机与第一至第四电容器305、306、405a、405b、406a、406b的充电时机设定为不同的时机，因此能够防止光源4发光时的功率降低。
[0145]
此外，光源4的发光时间比第一至第四电容器305、306、405a、405b、406a、406b的充电时间短。例如，将光源4的发光时间与各电容器的充电时间设定为1∶100。由此，由于各电容器的充电时间变长，因此能够抑制因光源4的温度上升所导致的光源4的功率降低。
[0146]
需要说明的是，在时刻t52，列电路15也可以将经由垂直信号线121供给的电压设定为复位电平电压。该列电路15还可以基于该复位电平电压对从像素600输出的信号电荷进行取样。
[0147]
需要说明的是，在上述各实施方式中，固体摄像装置和距离测量装置在实施多次曝光期间的动作后，实施读出期间的动作，但是并不局限于此，也可以在实施一次曝光期间的动作后，实施读出期间的动作。
[0148]
‑
产业实用性
‑
[0149]
本公开既能抑制像素的驱动时机的偏差，又能使像素的驱动高速化，因此例如能够用于测距相机等。
[0150]
‑
符号说明
‑
[0151]1ꢀꢀ
固体摄像装置
[0152]4ꢀꢀ
光源
[0153]
12
ꢀꢀ
垂直移位寄存器
[0154]
13
ꢀꢀ
多路复用器
[0155]
131
ꢀꢀ
第二节点
[0156]
14(14a、14b)
ꢀꢀ
驱动电路
[0157]
18(18a、18b)
ꢀꢀ
辅助驱动电路
[0158]
100、600
ꢀꢀ
像素
[0159]
102
ꢀꢀ
传输门晶体管
[0160]
103
ꢀꢀ
选择晶体管
[0161]
104
ꢀꢀ
雪崩光电二极管
[0162]
105
ꢀꢀ
溢出晶体管
[0163]
201～203
ꢀꢀ
第一信号线～第三信号线
[0164]
221～224
ꢀꢀ
第一电源～第四电源
[0165]
231～233
ꢀꢀ
第一栅极线～第三栅极线
[0166]
301
ꢀꢀ
驱动电路部
[0167]
302
ꢀꢀ
第一节点
[0168]
303
ꢀꢀ
第一开关晶体管
[0169]
304
ꢀꢀ
第二开关晶体管
[0170]
305
ꢀꢀ
第一电容器
[0171]
306
ꢀꢀ
第二电容器
[0172]
307
ꢀꢀ
第三开关晶体管
[0173]
308
ꢀꢀ
第四开关晶体管
[0174]
402a、402b
ꢀꢀ
第三节点
[0175]
403a、403b
ꢀꢀ
第五开关晶体管
[0176]
404a、404b
ꢀꢀ
第六开关晶体管
[0177]
405a、405b
ꢀꢀ
第三电容器
[0178]
406a、406b
ꢀꢀ
第四电容器
[0179]
407a、407b
ꢀꢀ
第七开关晶体管
[0180]
408a、408b
ꢀꢀ
第八开关晶体管