一种晶圆框架的承载箱的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产技术领域，尤其涉及一种晶圆框架的承载箱。


背景技术：

2.用于半导体封装的芯片在形成单芯片之前为晶圆结构，位置最终的芯片达到一定的厚度要求，在对晶圆划片形呈单芯片之前需要对晶圆进行打磨处理，在打磨前会对晶圆的工作面贴上蓝膜，然后将蓝膜的晶圆一起固定在晶圆框架上，打磨时利用晶圆框架与打磨设备连接。打磨前晶圆框架都会存放在专用的盛放工装内，以便于保存及拿取。为便于打磨设备的进料机构自动推送晶圆框架，现有的盛放工装多数采用两端开口的结构，然后利用挡杆对晶圆框架限位，防止滑落，使用时才将挡杆拔出。但是此种结构密封行不好，不利于晶圆的长时间放置，并且现有的盛放工装在使用时与打磨设备连接不够稳定，导致打磨设备进料机构的推杆无法准确的推出晶圆框架。


技术实现要素：

3.为解决现有技术不足，本实用新型提供一种晶圆框架的承载箱，密封效果好，具有良好的定位结构，有利于提高在打磨设备上的安装精度，同时通过设置的导向套极大的提高了打磨设备推杆的推送位置精度。
4.为了实现本实用新型的目的，拟采用以下方案：
5.一种晶圆框架的承载箱，包括：壳体和门板，所述壳体呈矩形框结构，所述门板沿竖直向下插设于所述壳体侧面的开口处，
6.壳体两侧壁内表面沿竖直方向设有多组卡槽，所述卡槽的进口端设有挡块，所述挡块朝向所述壳体内部的侧面为凹槽结构，所述挡块具有弹性，所述挡块在所述卡槽长度方向的投影视图上将所述卡槽的开口遮蔽；
7.壳体背面对应每组所述卡槽均开设有通孔，所述通孔均设有橡胶垫，所述橡胶垫中部具有交叉型开口，所述壳体外壁对应所述通孔均同轴设有导向套；
8.壳体底部沿晶圆框架的出料方向设有两根导向条，用于承载箱与设备连接，所述壳体底部设有定位孔座，用于设备对承载箱进行定位。
9.进一步的，所述挡块采用橡胶制成。
10.进一步的，所述壳体底部四周设有垫块，所述垫块的高度大于所述导向条的厚度。
11.进一步的，所述橡胶垫设于所述壳体的外壁，所述导向套的安装面对应所述橡胶垫加工有沉孔。
12.进一步的，所述导向套采用螺钉安装于所述壳体。
13.进一步的，所述卡槽末端具有圆弧折弯段。
14.进一步的，所述壳体两外侧壁以及所述门板均安装有把手。
15.本实用新型的有益效果在于：
16.1、具有良好的密封效果，壳体采用一侧开口的结构，并且该开口设有门板用于密
封，壳体背面用于穿过打磨设备推杆的通孔也设有相应的橡胶垫，橡胶垫利用自身的弹性在不穿过推杆的状态下可自行恢复密封状态，实现对通孔的密封。
17.2、为提高承载箱在打磨设备上的连接精度，承载箱底部设有导向条用于导向安装，然后通过定位孔座与设备的定位销进行配合，进一步确定承载箱的安装位置。
18.3、承载框的背面还设有导向套，利用导向套对设备的推杆进行导向，可提高打磨设备的推杆推送晶圆框架精度。
附图说明
19.本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本实用新型的范围。
20.图1示出了壳体的内部构造图；
21.图2示出了图1中a处的局部放大图；
22.图3示出了本技术的底部及背面视图；
23.图4示出了导向套安装面的结构；
24.图5示出了卡槽的结构；
25.图6示出了本技术的外观视图。
26.图中标记：10
‑
壳体、11
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通孔、12
‑
导向条、13
‑
定位孔座、14
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垫块、20
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门板、30
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卡槽、31
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挡块、40
‑
橡胶垫、50
‑
导向套、51
‑
沉孔。
具体实施方式
27.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型的实施方式进行详细说明，但本实用新型所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
28.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
29.在本实用新型的描述中需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述。术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。
30.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例
31.如图1至图6所示，一种晶圆框架的承载箱，包括：壳体10和门板20其特征在于，壳体10呈矩形框结构，门板20沿竖直向下插设于壳体10侧面的开口处，壳体10开口端的两侧
外壁设有竖直向下的卡槽，门板20对应该卡槽设计有扣板，利用扣板滑动卡设于卡槽内，实现门板20与壳体10的密封连接。
32.壳体10两侧壁内表面沿竖直方向设有多组卡槽30，卡槽30的截面为u型凹槽结构，u型凹槽呈水平设置，使用时晶圆框架嵌设于卡槽30的u型凹槽内。卡槽30的进口端设有挡块31，挡块31朝向壳体10内部的侧面为凹槽结构，挡块31具有弹性，采用橡胶制成。挡块31在卡槽30长度方向的投影视图上将卡槽30的开口遮蔽。在向卡槽30插入和推出晶圆框架的过程中，晶圆框架的两侧与挡块31均为挤压接触；当晶圆框架完全存入卡槽30内，挡块31则起到了对晶圆框架限位的作用，晶圆框架自重的作用下也无法滑出。
33.壳体10背面对应每组卡槽30均开设有通孔11，以便于穿过设备的推杆，设备的推杆用于将晶圆框架自动推出，对应每个通孔11推杆仅能推送出一组卡槽30内的一块晶圆框架。
34.为提高承载箱的密封效果，通孔11均设有橡胶垫40用于密封通孔11，橡胶垫40中部具有交叉型开口，以便于穿过设备的推杆，同时在推杆拔出后橡胶垫40利用橡胶的弹性恢复力对交叉开口实现自动密封。壳体10背面的外壁对应通孔11均同轴设有导向套50，用于起到对设备推杆的导向作用，以提高设备推杆的推送位置精度。
35.壳体10底部沿晶圆框架的出料方向设有两根导向条12，用于承载箱与设备连接，壳体10底部设有定位孔座13，使用时利用设备的定位销与定位孔座13配合，以实现对承载箱更精确的定位。
36.优选的，如图3所示，壳体10底部四周设有垫块14，用于支撑承载箱。垫块14的高度大于导向条12的厚度，可有效防止在存放时磨损导向条12。
37.优选的，为便于拆装，橡胶垫40设于壳体10的外壁，并利用导向套50压紧。如图3所示导向套50的安装面对应橡胶垫40加工有沉孔51用于对橡胶垫40限位，提高橡胶垫40安装的位置精度，防止偏心。
38.优选的，因为橡胶垫40采用橡胶材料制作，为便于更换橡胶垫40，导向套50采用螺钉安装于壳体10。
39.优选的，如图5所示，卡槽30末端具有圆弧折弯段，折弯段与卡槽30采用整体折弯形成，利用折弯段用于对晶圆框架限位，提高晶圆框架在卡槽30内的稳定性。
40.优选的，如图6所示壳体10两外侧壁以及门板20均安装有把手，以便于使用。
41.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本实用新型。本领域技术人员应理解，在不脱离本实用新型的范围情况下，对本实用新型进行的各种改变或同等替换，均属于本实用新型保护的范围。