除液装置、气刀、气刀用配件以及除液方法与流程

本申请涉及除液装置、气刀、气刀用配件以及除液方法。

背景技术：

1、在基板处理装置中，存在搬运基板并对搬运的基板进行各种处理的装置。在这种的基板处理装置中，有时会在基板的搬运路径上设置气刀。气刀以层状方式向被搬运的基板吹送空气等气体。由此，去除附着于基板上的液体。具体而言，例如，通过向基板的上表面吹送的气体，可将形成在该上表面的液膜冲走，使该液膜从基板的端缘流下，从而从基板上去除。又例如，通过向基板下表面吹送的气体，可将附着于该下表面的液滴吹飞。从而从基板上去除。

2、当从气刀吹送气体时，基板可能会带电。如果基板带电，会发生以下各种问题：空气中颗粒物等被吸附并附着在基板上；因在基板上形成的布线图案中流过电而导致布线图案破损；在基板与其附近的部件间产生放电等，从而导致成品率下降的风险。

3、因此，例如，可以考虑在比气刀更位于搬运下游侧的位置设置电离器，向从气刀吹送气体的基板供给由电离器产生的离子（例如，专利文献1~4）。根据该结构，可以利用从电离器供给的离子对从气刀吹送气体而在基板上产生的静电进行除电。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2006-3036号公报

7、专利文献2：国际公开第2003/050600号

8、专利文献3：日本实开平5-85070号公报

9、专利文献4：日本实开平5-73939号公报

10、近年来，在基板上形成的布线图案的微细化、高集成化的发展中，由于基板带电对布线图案所造成的影响越来越大，因此需要能够进一步抑制基板带电的技术。

技术实现思路

1、本申请是鉴于这样课题而完成的，其目的在于提供能够充分抑制从气刀吹送气体的对象物带电的技术。

2、第一方式是除液装置，具备将对象物沿搬运方向搬运的搬运装置以及向所述对象物吹送气体的气刀，所述气刀具备：喷出口，向随着靠近由所述搬运装置搬运的所述对象物所通过的面即搬运面而向搬运上游侧倾斜的方向喷出所述气体；相向面，在所述喷出口的搬运下游侧，配置成与所述搬运面之间形成气流形成空间；以及电离器，向所述气流形成空间供给离子，所述相向面具备：上游伸出面，以使所述气流形成空间的搬运上游侧的端部收窄的方式向靠近所述搬运面的方向伸出；以及下游伸出面，以使所述气流形成空间的搬运下游侧的端部收窄的方式向靠近所述搬运面的方向伸出。

3、第二方式在第一方式所涉及的除液装置的基础上，所述上游伸出面具备随着靠近所述搬运面而向搬运上游侧倾斜的倾斜面。

4、第三方式在第一或者第二方式所涉及的除液装置的基础上，所述下游伸出面具备随着靠近所述搬运面而向搬运下游侧倾斜的倾斜面。

5、第四方式在第一至第三中任一方式所涉及的除液装置的基础上，所述下游伸出面具备从与所述上游伸出面的搬运下游侧相连的面向靠近所述搬运面的方向凸出的凸出面。

6、第五方式在从第一至第四中任一方式所涉及的除液装置的基础上，所述上游伸出面与所述搬运面之间的最小分离距离与所述下游伸出面与所述搬运面之间的最小分离距离相等。

7、第六方式在从第一至第五中任一方式所涉及的除液装置的基础上，所述电离器设置于所述下游伸出面。

8、第七方式是一种气刀，向沿搬运方向搬运的对象物吹送气体，所述气刀具备：喷出口，向随着靠近被搬运的所述对象物所通过的面即搬运面而向搬运上游侧倾斜的方向喷出所述气体；相向面，在所述喷出口的搬运下游侧，配置成与所述搬运面之间形成气流形成空间；以及电离器，向所述气流形成空间供给离子，所述相向面具备：上游伸出面，以使所述气流形成空间的搬运上游侧的端部收窄的方式向靠近所述搬运面的方向伸出；以及下游伸出面，以使所述气流形成空间的搬运下游侧的端部收窄的方式向靠近所述搬运面的方向伸出。

9、第八方式是一种气刀用配件，安装于向沿搬运方向搬运的对象物吹送从喷出口喷出的气体的气刀主体，所述气刀用配件具备：下游伸出面，在安装于所述气刀主体的安装状态下，在所述喷出口的搬运下游侧，配置成与被搬运的所述对象物所通过的面即搬运面之间形成气流形成空间，以使所述气流形成空间的搬运下游侧的端部收窄的方式向靠近所述搬运面的方向伸出；以及电离器，在所述安装状态下，向所述气流形成空间供给离子。

10、第九方式是一种除液装置，具备将对象物沿搬运方向搬运的搬运装置以及向所述对象物吹送气体的气刀，所述气刀具备：喷出口，向随着接近由所述搬运装置搬运的所述对象物所通过的面即搬运面而向搬运上游侧倾斜的方向喷出所述气体；相向面，在所述喷出口的搬运下游侧，配置成与所述搬运面之间形成气流形成空间；以及电离器，向所述气流形成空间供给离子，当从所述喷出口喷出所述气体时，形成涡流以及导出气体流，所述涡流在所述气流形成空间中，在靠近所述搬运面的一侧向搬运下游侧流动，在远离所述搬运面的一侧向搬运上游侧流动，导出气体流被从所述气流形成空间向搬运上游侧吸出。

11、第十方式是一种除液方法，具备：搬运工序，将对象物沿搬运方向搬运；喷出工序，从气刀所具备的喷出口向随着靠近被搬运的所述对象物所通过的面即搬运面而向搬运上游侧倾斜的方向喷出气体；以及离子供给工序，在所述喷出口的搬运下游侧，向设置于所述气刀所具备的相向面与所述搬运面之间的气流形成空间供给离子，当从所述喷出口喷出所述气体时，形成涡流以及导出气体流，所述涡流在所述气流形成空间中，在靠近所述搬运面的一侧向搬运下游侧流动，在远离所述搬运面的一侧向搬运上游侧流动，所述导出气体流被从所述气流形成空间向搬运上游侧吸出。

12、在第一至第八方式的各个方式中，在气刀的相向面与搬运面之间设置有使搬运方向的两端部收窄的气流形成空间，因此，当从喷出口喷出气体时，在气流形成空间中形成涡流，从而形成从气流形成空间向搬运上游侧吸出的导出气体流。向气流形成空间供给的离子乘着涡流而充满气流形成空间。另外，乘着涡流而被运送的离子的一部分乘着导出气体流从气流形成空间向搬运上游侧吸出，并被运送到喷出口的搬运上游侧。由此，能够充分抑制使对象物带电的情况。

13、另外，在第九以及第十方式的各个方式中，当从喷出口喷出气体时，在气流形成空间形成涡流，从而形成从气流形成空间向搬运上游侧吸出的导出气体流。向气流形成空间供给的离子乘着涡流而充满气流形成空间。另外，乘着涡流而被运送的离子的一部分乘着导出气体流从气流形成空间向搬运上游侧吸出，并被运送到喷出口的搬运上游侧。由此，能够充分抑制使对象物带电的情况。

1.一种除液装置，其中，

2.根据权利要求1所述的除液装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的除液装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的除液装置，其中，

5.根据权利要求1或2所述的除液装置，其中，

6.根据权利要求1或2所述的除液装置，其中，

7.一种气刀，向沿搬运方向搬运的对象物吹送气体，其中，

8.一种气刀用配件，安装于向沿搬运方向搬运的对象物吹送从喷出口喷出的气体的气刀主体，其中，

9.一种除液装置，其中，

10.一种除液方法，其中，具备以下工序：