一种高效晶粒测试分选机的制作方法

本发明涉及晶粒测试，具体涉及一种高效晶粒测试分选机。

背景技术：

1、在半导体芯片制造工艺流程中，晶粒的电性能测试与分选是至关重要的后道工序，其直接决定了最终芯片产品的良率、可靠性以及整体生产效率。随着半导体产业的快速发展，芯片尺寸不断缩小、集成度持续提升，市场对晶粒测试分选的精度、速度和稳定性提出了越来越严苛的要求。

2、目前市面上主流的晶粒测试分选机大多采用单工位串行作业模式，上料、测试、分选等工序需要依次完成，同一时间只能处理单个晶粒，工序间存在大量等待时间，产能难以满足半导体行业大规模量产的需求；部分尝试多工位设计的设备，因结构布局不合理，工位切换同步性差，效率提升幅度有限。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种高效晶粒测试分选机。

2、本发明的目的通过以下技术方案实现：一种高效晶粒测试分选机，包括机台；所述机台转动设有旋转座；所述旋转座沿圆周方向设有多个吸附机构；

3、所述机台沿旋转座的转动方向依次设有上料机构、测试机构以及分选座；所述分选座沿旋转座的转动方向设有多个分选槽；

4、所述机台在测试机构的顶部设有下压机构；所述下压机构用于下压吸附机构从而使得晶粒放置于测试机构。

5、本发明进一步设置为，所述测试机构包括设于机台的测试座；所述测试座设有测试平台；所述测试座设有活动板；所述活动板设有探针板；所述探针板设有测试探针；所述吸附机构活动设于测试平台的顶部；所述下压机构用于下压吸附机构从而使得晶粒放置于测试平台；

6、所述测试平台贯穿设有测试槽；所述测试探针从测试平台的底部穿设于测试槽；所述测试平台与测试座之间设有第一缓冲弹簧；所述探针板与活动板之间设有第二缓冲弹簧。

7、本发明进一步设置为，所述测试平台的底部设有第一测试导向柱；所述第一测试导向柱升降滑动设于测试座；所述第一缓冲弹簧套设于第一测试导向柱外；

8、所述探针板的一端与活动板连接；所述探针板的另一端设有倾斜导向块；所述测试探针设于倾斜导向块；所述测试探针活动穿设于倾斜导向块；所述倾斜导向块设有用于固定测试探针的锁紧螺栓。

9、本发明进一步设置为，所述活动板的顶部设有限位杆；所述限位杆的底部设有第二测试导向柱；所述第二测试导向柱的底部设有限位块；所述第二测试导向柱活动穿设于探针板的另一端；所述第二缓冲弹簧套设于第二测试导向柱外；所述第二缓冲弹簧设于探针板的底部与限位块的顶部之间；

10、所述限位杆的底部设有用于与探针板的顶部抵靠的接触球。

11、本发明进一步设置为，所述测试座设有调整底板；所述调整底板设有沿横向方向滑动的横向调整台；所述调整底板转动设有沿横向方向延伸设置的横向调整丝杆；所述横向调整台设有沿横向方向延伸设置的横向调整滑轨；所述调整底板设有与横向调整滑轨滑动连接的横向调整滑块；所述横向调整丝杆套设有横向调整螺母；所述横向调整螺母与横向调整台连接；所述横向调整丝杆连接有横向调整旋钮；

12、所述横向调整台设有沿纵向方向滑动的纵向调整台；所述横向调整台转动设有沿纵向方向延伸设置的纵向调整丝杆；所述纵向调整台设有沿纵向方向延伸设置的纵向调整滑轨；所述横向调整台设有与纵向调整滑轨滑动连接的纵向调整滑块；所述纵向调整丝杆套设有纵向调整螺母；所述纵向调整螺母与纵向调整台连接；所述纵向调整丝杆连接有纵向调整旋钮；

13、所述纵向调整台设有沿高度方向滑动的升降调整台；所述纵向调整台转动设有沿高度方向延伸设置的升降调整丝杆；所述升降调整台设有沿高度方向延伸设置的升降调整滑轨；所述纵向调整台设有与升降调整滑轨滑动连接的升降调整滑块；所述升降调整丝杆套设有升降调整螺母；所述升降调整螺母与升降调整台连接；所述升降调整丝杆连接有升降调整旋钮；所述升降调整台与活动板连接。

14、本发明进一步设置为，所述吸附机构包括设于旋转座外周的吸附座、沿高度方向活动穿设于吸附座的吸附杆、设于吸附杆顶部的吸附下压平台以及设于吸附杆底部的金属吸嘴；所述吸附下压平台的底部与吸附座之间设有吸附缓冲弹簧；所述金属吸嘴的底部设有真空孔；

15、所述测试座设有用于与金属吸嘴接触的导电件。

16、本发明进一步设置为，所述金属吸嘴与吸附杆之间设有与真空孔连通的真空通道；

17、所述导电件为金属弹片；所述金属弹片的一端与测试座连接；所述金属弹片的另一端设有金属接触块；

18、所述金属吸嘴的中部设有用于与金属接触块接触的环形接触部；所述金属吸嘴的底部套设有保护罩。

19、本发明进一步设置为，所述机台设有立柱；所述下压机构包括设于立柱的下压座、升降活动设于下压座的下压板以及设于下压板的下压杆；所述下压座设有沿高度方向延伸设置的下压直线模组；所述下压直线模组的输出端与下压板连接；所述下压杆用于吸附下压平台下降。

20、本发明进一步设置为，所述上料机构包括设于机台的振动盘以及设于机台的直振器；所述直振器的一端与振动盘连接；所述吸附机构用于吸取直振器另一端的晶粒。

21、本发明进一步设置为，所述上料机构、测试机构、分选座以及下压机构的数量均为两个；两个上料机构、两个测试机构、两个分选座以及两个下压机构均以旋转座的圆心旋转对称设置。

22、本发明的有益效果：本发明采用旋转式圆周多工位布局，在旋转座外周均匀设置多个吸附机构，配合沿旋转方向依次排布的上料机构、测试机构和分选座，可同时完成晶粒的上料吸附、电性能测试以及分类下料多个工序，多个吸附机构循环交替工作，减少了工序间的等待时间，有效地提高了整体工作效率。

1.一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：包括机台(1)；所述机台(1)转动设有旋转座(12)；所述旋转座(12)沿圆周方向设有多个吸附机构(2)；

2.根据权利要求1所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述测试机构包括设于机台(1)的测试座(5)；所述测试座(5)设有测试平台(52)；所述测试座(5)设有活动板(53)；所述活动板(53)设有探针板(54)；所述探针板(54)设有测试探针(542)；所述吸附机构(2)活动设于测试平台(52)的顶部；所述下压机构用于下压吸附机构(2)从而使得晶粒放置于测试平台(52)；

3.根据权利要求2所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述测试平台(52)的底部设有第一测试导向柱(521)；所述第一测试导向柱(521)升降滑动设于测试座(5)；所述第一缓冲弹簧(522)套设于第一测试导向柱(521)外；

4.根据权利要求2所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述活动板(53)的顶部设有限位杆(531)；所述限位杆(531)的底部设有第二测试导向柱(532)；所述第二测试导向柱(532)的底部设有限位块(534)；所述第二测试导向柱(532)活动穿设于探针板(54)的另一端；所述第二缓冲弹簧(533)套设于第二测试导向柱(532)外；所述第二缓冲弹簧(533)设于探针板(54)的底部与限位块(534)的顶部之间；

5.根据权利要求2所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述测试座(5)设有调整底板(55)；所述调整底板(55)设有沿横向方向滑动的横向调整台(56)；所述调整底板(55)转动设有沿横向方向延伸设置的横向调整丝杆(551)；所述横向调整台(56)设有沿横向方向延伸设置的横向调整滑轨(561)；所述调整底板(55)设有与横向调整滑轨(561)滑动连接的横向调整滑块(552)；所述横向调整丝杆(551)套设有横向调整螺母(553)；所述横向调整螺母(553)与横向调整台(56)连接；所述横向调整丝杆(551)连接有横向调整旋钮(554)；

6.根据权利要求2所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述吸附机构(2)包括设于旋转座(12)外周的吸附座(21)、沿高度方向活动穿设于吸附座(21)的吸附杆(22)、设于吸附杆(22)顶部的吸附下压平台(23)以及设于吸附杆(22)底部的金属吸嘴(24)；所述吸附下压平台(23)的底部与吸附座(21)之间设有吸附缓冲弹簧(25)；所述金属吸嘴(24)的底部设有真空孔(26)；

7.根据权利要求6所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述金属吸嘴(24)与吸附杆(22)之间设有与真空孔(26)连通的真空通道(27)；

8.根据权利要求6所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述机台(1)设有立柱(11)；所述下压机构包括设于立柱(11)的下压座(6)、升降活动设于下压座(6)的下压板(61)以及设于下压板(61)的下压杆(62)；所述下压座(6)设有沿高度方向延伸设置的下压直线模组(63)；所述下压直线模组(63)的输出端与下压板(61)连接；所述下压杆(62)用于驱动吸附下压平台(23)下降。

9.根据权利要求1所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述上料机构包括设于机台(1)的振动盘(31)以及设于机台(1)的直振器(32)；所述直振器(32)的一端与振动盘(31)连接；所述吸附机构(2)用于吸取直振器(32)另一端的晶粒。

10.根据权利要求1所述的一种高效晶粒测试分选机，其特征在于：所述上料机构、测试机构、分选座(4)以及下压机构的数量均为两个；两个上料机构、两个测试机构、两个分选座(4)以及两个下压机构均以旋转座(12)的圆心旋转对称设置。