一种TrayScan检测装置的制作方法

本技术涉及集成电路领域，特别是一种tray scan检测装置。

背景技术：

1、在芯片测试分选过程中，当前所使用的上下料搬运机构普遍缺乏对芯片状态的实时检测机制。由于无法在吸取前判断芯片在tray盘、预温盘或小车中的摆放姿态，容易因芯片歪斜而导致吸取失败或芯片压损；同样，在放置芯片后，也无法有效检测芯片是否摆放端正，影响后续流程的稳定性。

技术实现思路

1、本实用新型目的在于解决上述技术问题，提供一种tray scan检测装置。

2、一种tray scan检测装置，包括激光反射组件、相机激光组件和上下料吸头组件；所述激光反射组件和所述相机激光组件分别与所述上下料吸头组件连接，所述相机激光组件拍摄所述激光反射组件发出的激光在被拍摄物上的成像，所述相机激光组件的照射方向可移动，所述激光反射组件的激光与所述相机激光组件之间的夹角可变。

3、在本方案中，所述激光反射组件发出的激光照射的被拍摄物指的是用于盛放芯片的tray盘和/或tray scan机构和/或tray scan机构的上料装置和/或tray scan机构的出料装置等用于盛放芯片的承载物。所述tray盘和/或tray scan机构和/或tray scan机构的进料装置和/或tray scan机构的出料装置盛放的芯片位置可能摆放姿态不端正或没有盛放芯片。

4、通过本实用新型的方案可以对芯片的摆放姿态进行拍摄，可对进料的全流程过程都进行检测，避免遗漏关键环节；且适配性强，相机激光组件照射方向可移动、激光反射组件反射方向可改变，能应对被拍摄物在不同位置的检测需求；检测精准高效，能够快速识别芯片摆放姿态不正或缺料问题，减少后续工序故障。在高速运行情况下相机进行抓拍不影响机台效率；对于需要读码的芯片，通过相机对芯片进行读码节省空间；可根据使用场景，相机激光组件和激光反射组件可不同方向安装使用。

5、优选地，所述激光反射组件安装在上下料吸头组件下方，所述相机激光组件安装在上下料吸头组件上方。空间紧凑高效，组件围绕所述上下料吸头组件集成安装，无需额外占用大面积安装空间，且检测与取放可同步联动，吸头上下料过程中，下方激光反射组件与上方相机激光组件可同步完成检测，减少单独检测的工序耗时。

6、优选地，所述激光反射组件包括固定板r、固定板l、反光镜、压板和反光镜安装板，所述固定板r和固定板l分别安装在所述反光镜安装板两端所述反光镜通过所述压板安装于所述反光镜安装板上。该结构简单，安装牢固。

7、优选地，所述相机激光组件包括安装连接二板、相机安装板、相机、相机镜头、激光源张紧件、激光灯、激光源固定板、激光源安装板、安装连接一板，所述相机镜头安装于相机上，激光源安装板安装于相机安装板上，所述激光源张紧件、激光源固定板和激光源安装板将激光灯固定，所述安装连接一板安装在相机激光组件安装板上。该结构能够牢牢锁住激光灯，避免检测过程中因部件松动影响激光照射精度。且模块化集成度高，各部件通过专属安装板分层组装，结构便于后期维护、更换单个部件。

8、优选地，所述上下料吸头组件包括料臂主梁架、相机激光组件安装板、吸头组件和吸头，所述相机激光组件安装板安装于所述吸头组件上，所述吸头安装于所述吸头组件的下方，所述吸头组件安装于所述料臂主梁架上并可平移式运动。取放与检测协同高效，吸头组件平移过程中可同步完成芯片取放和姿态/缺料检测，无需单独移动检测组件，缩短单次操作周期。

9、优选地，所述激光反射组件和所述相机激光组件均可在所述料臂主梁架上平移运动。

10、优选地，所述相机激光组件包括激光灯夹块、激光灯安装板、左侧相机安装板、相机镜头、相机、激光灯、右侧相机安装板和相机支柱；所述激光灯夹块与激光灯安装板将所述激光灯固定，所述激光灯安装板安装于所述左侧相机安装板上，所述相机镜头安装于所述相机上，所述相机镜头安装于所述右侧相机安装板，所述相机支柱安装于所述右侧相机安装板与所述左侧相机安装板上。该结构使得结构稳固可靠，各功能部件（激光灯、相机）对应专属安装板，可单独微调激光角度或相机位置，无需整体拆卸。

11、优选地，所述激光反射组件包括反光镜左支架、压板、反光镜安装板、反光镜和反光镜右支架，所述反光镜左支架与反光镜右支架安装于所述反光镜安装板，所述反光镜通过所述压板固定在所述反光镜安装板上，所述激光反射组件安装在所述吸头组件上。

12、优选地，所述吸头安装在所述吸头组件下方，所述吸头组件安装于所述料臂主梁架上，所述相机激光组件安装板安装于所述吸头组件上。

13、优选地，所述相机激光组件包括激光灯，所述激光灯与所述反光镜之间的角度可调整。在上下料的全过程中，激光灯均可以通过反光镜的调整照射到被拍摄物上，从而全流程地监测芯片的位置状态。

1.一种tray scan检测装置，其特征在于，包括激光反射组件、相机激光组件和上下料吸头组件；所述激光反射组件和所述相机激光组件分别与所述上下料吸头组件连接，所述相机激光组件拍摄所述激光反射组件发出的激光在被拍摄物上的成像，所述相机激光组件的照射方向可移动，所述激光反射组件的激光与所述相机激光组件之间的夹角可变。

2.根据权利要求1所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述激光反射组件安装在上下料吸头组件下方，所述相机激光组件安装在上下料吸头组件上方。

3.根据权利要求1所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述激光反射组件包括固定板r、固定板l、反光镜、压板和反光镜安装板，所述固定板r和固定板l分别安装在所述反光镜安装板两端所述反光镜通过所述压板安装于所述反光镜安装板上。

4.根据权利要求1所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述相机激光组件包括安装连接二板、相机安装板、相机、相机镜头、激光源张紧件、激光灯、激光源固定板、激光源安装板、安装连接一板，所述相机镜头安装于相机上，激光源安装板安装于相机安装板上，所述激光源张紧件、激光源固定板和激光源安装板将激光灯固定，所述安装连接一板安装在相机激光组件安装板上。

5.根据权利要求1所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述上下料吸头组件包括料臂主梁架、相机激光组件安装板、吸头组件和吸头，所述相机激光组件安装板安装于所述吸头组件上，所述吸头安装于所述吸头组件的下方，所述吸头组件安装于所述料臂主梁架上并可平移式运动。

6.根据权利要求5所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述激光反射组件和所述相机激光组件均可在所述料臂主梁架上平移运动。

7.根据权利要求1所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述相机激光组件包括激光灯夹块、激光灯安装板、左侧相机安装板、相机镜头、相机、激光灯、右侧相机安装板和相机支柱；所述激光灯夹块与激光灯安装板将所述激光灯固定，所述激光灯安装板安装于所述左侧相机安装板上，所述相机镜头安装于所述相机上，所述相机镜头安装于所述右侧相机安装板，所述相机支柱安装于所述右侧相机安装板与所述左侧相机安装板上。

8.根据权利要求5所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述激光反射组件包括反光镜左支架、压板、反光镜安装板、反光镜和反光镜右支架，所述反光镜左支架与反光镜右支架安装于所述反光镜安装板，所述反光镜通过所述压板固定在所述反光镜安装板上，所述激光反射组件安装在所述吸头组件上。

9.根据权利要求5所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述吸头安装在所述吸头组件下方，所述吸头组件安装于所述料臂主梁架上，所述相机激光组件安装板安装于所述吸头组件上。

10.根据权利要求8所述的tray scan检测装置，其特征在于，所述相机激光组件包括激光灯，所述激光灯与所述反光镜之间的角度可调整。