一种动态路径与气流辅助提升光刻胶膜层质量的方法及装置
本发明属于晶圆的涂胶与先进封装,尤其涉及一种动态路径与气流辅助提升光刻胶膜层质量的方法及装置。背景技术:1、在先进半导体制造过程中,光刻技术是实现微细结构和电路...
本发明属于晶圆的涂胶与先进封装,尤其涉及一种动态路径与气流辅助提升光刻胶膜层质量的方法及装置。背景技术:1、在先进半导体制造过程中,光刻技术是实现微细结构和电路...
本发明属于栅极驱动电路,特别涉及一种基于电流源工作区切换的抗干扰栅极驱动电路。背景技术:1、在功率半导体栅极驱动控制领域,当前亟待解决的核心问题主要集中在抗干扰...
本申请涉及行李转运,具体而言,涉及行李服务机器人。背景技术:1、在机场、车站等交通场景的行李转运作业中,普遍采用输送机与另一输送机对接的流水线结构实现行李连续输...
本发明涉及高压带电作业安全领域,尤其涉及一种高压带电作业工具的异常检测方法、装置和设备。背景技术:1、高压带电作业是电力系统运维、检修过程中的关键环节。在高压带...
本发明提供一种无金属催化的炔烃多卤化反应方法,属于合成。背景技术:1、多卤代烯烃是分子中烯键碳原子上连接有两个或两个以上卤素原子的烯烃化合物。其中,偕二卤代烯烃...
本技术涉及蒸发器辅助连接设备,具体涉及一种直燃式液氮蒸发器换热室门的液压锁。背景技术:1、液氮蒸发器是一种利用液氮在蒸发过程中吸收大量热量的特性来实现高效冷却的...
本技术涉及保鲜容器,尤其涉及一种莲藕保鲜容器。背景技术:1、藕,属莲科植物,藕微甜而脆,可生食也可煮食,是常用餐菜之一,藕也是药用价值相当高的植物,它的根叶,花...
本发明涉及数据库迁移,特别是涉及一种sql语法兼容性评估方法、介质及设备。背景技术:1、在数据库替代、异构数据库迁移、云数据库切换和应用系统适配过程中,源数据库...
本发明属于高分子复合材料,具体涉及一种低介电常数超细纤维复合材料及其制备方法。背景技术:1、以高分子尼龙以及聚氨酯为主要原材料的超细纤维(以下简称“超纤”)复合...
本技术涉及智能温控器的电子设备领域,特别涉及一种手持式智能温控器系统。背景技术:1、智能温控器是一种通过自动化调节控制温度的设备,主要用于管理地暖空调、热水器、...