二极管制造用混酸冷却装置的制作方法

本技术涉及二极管制造设备，具体涉及一种用于二极管制造过程中对混酸进行冷却的装置。

背景技术：

1、在二极管制造工艺中，芯片需经过混酸进行酸蚀处理，该过程对混酸温度有严格要求，需将混酸温度控制在 11℃±3℃范围内，混酸温度的稳定性直接决定二极管产品质量。

2、现有混酸冷却装置在实际使用中存在两大核心问题：其一，冷却效果不佳，混酸温度易逐渐升高，无法维持工艺所需的温度范围；其二，结构设计存在缺陷，易发生酸液进水故障，不仅会改变混酸的浓度、破坏混酸性能，还会导致后续二极管制造工艺异常，大幅增加产品不良率，难以满足二极管制造的工艺标准与质量需求。

3、基于此，亟需一种能稳定控制混酸温度、避免酸液进水且具备杂质分离功能的混酸冷却装置，以解决现有技术的不足。

技术实现思路

1、针对现有混酸冷却装置冷却效果差、易发生酸液进水、无杂质分离功能导致产品不良率高的问题，本实用新型提供一种二极管制造用混酸冷却装置，实现混酸快速冷却、温度稳定控制、防酸液进水及杂质分离的功能。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、一种二极管制造用混酸冷却装置，包括酸泵（1）、酸池（2）、冷却水箱（3）、冷却盘管（4）、输液管（5）、回液管（6）、过滤器（7）、隔板（8）及进液管（9）；

4、所述酸池（2）内部固定设置有隔板（8），所述隔板（8）将酸池（2）分隔为相互独立且顶部连通的第一酸槽（21）和第二酸槽（22），所述隔板（8）的高度低于酸池（2）的内侧壁高度，使第一酸槽（21）内的酸液可溢流至第二酸槽（22），且密度大的杂质沉积于第一酸槽（21）底部；所述酸池（2）的内壁内衬一层四氟材料层，隔板（8）外侧也包覆一层四氟材料层且与酸池（2）的内壁上的四氟材料层形成一体；

5、所述冷却水箱（3）为中空腔体结构，其内部固定安装有冷却盘管（4），所述冷却盘管（4）的进液端通过输液管（5）与酸泵（1）的出液端连通，所述酸泵（1）的进液端通过进液管（9）与酸池（2）的第二酸槽（22）底部连通；所述冷却盘管（4）的出液端通过回液管（6）与酸池（2）的第一酸槽（21）顶部连通；

6、所述进液管（9）上串联安装有过滤器（7），用于过滤酸液中的悬浮杂质；

7、所述冷却盘管（4）、输液管（5）、回液管（6）及进液管（9）均采用四氟管制作而成。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

9、冷却效率高且温度稳定：通过酸泵驱动酸液在 “酸池 - 冷却盘管 - 酸池” 间形成闭环循环，冷却盘管置于冷却水箱内，可对酸液进行持续、均匀冷却，确保混酸温度稳定在 11℃±3℃的工艺范围内，解决现有装置冷却效果差的问题；

10、防酸液进水与腐蚀：冷却盘管、输液管、回液管及进液管均采用耐酸、耐腐蚀的四氟管制作，避免管路腐蚀泄漏导致酸液进水，保障混酸浓度与性能稳定；

11、杂质分离功能：酸池内的隔板将酸液回流路径分为 “第一酸槽（杂质沉积）- 第二酸槽（溢流纯净酸液）”，配合输液管上的过滤器，实现双重杂质过滤，避免杂质堵塞管路或影响酸蚀工艺，降低产品不良率。

1.一种二极管制造用混酸冷却装置，其特征在于，包括酸泵（1）、酸池（2）、冷却水箱（3）、冷却盘管（4）、输液管（5）、回液管（6）、过滤器（7）、隔板（8）及进液管（9）；所述酸池（2）内部固定设置有隔板（8），所述隔板（8）将酸池（2）分隔为第一酸槽（21）和第二酸槽（22），所述隔板（8）的高度低于酸池（2）的内侧壁高度；所述冷却水箱（3）内部固定安装有冷却盘管（4），所述冷却盘管（4）的进液端通过输液管（5）与酸泵（1）的出液端连通，所述酸泵（1）的进液端通过进液管（9）与酸池（2）的第二酸槽（22）连通；所述冷却盘管（4）的出液端通过回液管（6）与酸池（2）的第一酸槽（21）连通；所述进液管（9）上串联安装有过滤器（7）；所述冷却盘管（4）、输液管（5）、回液管（6）及进液管（9）均采用四氟管制作而成；所述酸池（2）的内壁内衬一层四氟材料层，隔板（8）外侧也包覆一层四氟材料层且与酸池（2）的内壁上的四氟材料层形成一体。

2.根据权利要求 1 所述的二极管制造用混酸冷却装置，其特征在于，所述第一酸槽（21）的容积为酸池（2）总容积的 1/3，所述第二酸槽（22）的容积为酸池（2）总容积的 2/3。

3.根据权利要求 1 所述的二极管制造用混酸冷却装置，其特征在于，所述冷却盘管（4）为蛇形管结构，且所述冷却盘管（4）完全浸没于冷却水箱（3）内的冷却水中。

4.根据权利要求 1 所述的二极管制造用混酸冷却装置，其特征在于，所述回液管（6）延伸至第一酸槽（21）内的端口距离第一酸槽（21）底部 10-15cm。

5.根据权利要求 1 所述的二极管制造用混酸冷却装置，其特征在于，所述过滤器（7）采用四氟材质滤芯，且所述过滤器（7）靠近酸泵（1）设置；过滤器（7）的壳体内侧也内衬一层四氟材料层。