一种废气处理用多喷嘴循环水箱的制作方法

本申请涉及半导体废气处理，具体而言，涉及一种废气处理用多喷嘴循环水箱。

背景技术：

1、随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。

2、排放出的无组织废气多数比空气重，如果排放进大气，经过蔓延后会沉积在地面上，并达到很高的浓度，造成严重的环境污染，危害人体健康。如若遇到火种，将造成火灾，甚至产生爆炸。

3、因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

4、为了防止废气排放中存在的问题发生，人们通常将其集中起来烧掉，以绝后患，但焚烧废气处理设备在运行过程中，需要使用大量的水降温，造成大量冷却水的资源消耗。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种废气处理用多喷嘴循环水箱，通过循环水对废气喷淋溶解的形式，在喷淋塔以及反应塔进行废气的吸附溶解处理，同时水箱前后设置有视窗，便于观察以及维护内部配件。

2、为了实现上述目的，第一方面，本实用新型提供一种废气处理用多喷嘴循环水箱，包括前高后低的水箱主体，所述水箱主体内部高低交接的部位设置有前后竖向隔板，用于将水箱主体内部分隔为前后空间，所述前后竖向隔板上设置有过滤组件；

3、所述水箱主体的前部设置有反应塔接口及洗涤塔接口，水箱主体前部空间中设置有多组喷嘴组件，用于对导入水箱主体中的废气进行喷淋；

4、前部空间设置有左右竖向隔板，用于将前部空间进行分隔，用以能够使左右分隔空间分别与所述反应塔接口及所述洗涤塔接口相对应；

5、所述水箱主体的前部以及后部分别设置有视窗。

6、在可选的实施方式中，所述视窗包括位于前部的视窗板，所述水箱主体的前部设置有视窗口，所述视窗口焊接有视窗法兰，所述视窗法兰后部设置有卡钳用凹槽，位于视窗法兰的中间部位设置有定位销；

7、视窗板包括透明pvc或亚克力板，位于所述视窗板的边缘设置有定位孔及卡钳用凹槽，所述视窗板通过多个卡钳固定在所述视窗口上；

8、所述视窗板与所述视窗口之间通过带胶密封垫密封连接。

9、在可选的实施方式中，所述反应塔接口及所述洗涤塔接口设置在所述水箱主体的前部顶板上，均包括卡钳法兰，并通过o型圈与反应塔及洗涤塔密封连接；

10、所述反应塔接口上均布有多个用于预留安装配件的支撑立板，所述水箱主体的前部顶板上还设置有多个kf法兰。

11、在可选的实施方式中，所述水箱主体的后部设置有立式水泵，所述视窗还包括设置在后部顶板上的后部透明视窗，后部顶板上设置有水泵连接口及视窗连接口，所述立式水泵连接在水箱法兰板上，所述水箱法兰板通过紧固件与所述水泵连接口固定连接；

12、所述后部透明视窗包括透明pvc或亚克力材质的视窗孔板，视窗孔板通过紧固件与所述视窗连接口固定连接；

13、所述立式水泵与所述后部透明视窗之间设置有用于安装浮球液位传感器的kf法兰；

14、所述水箱主体后部侧板上设置有就地液位计，且预留有光电液位传感器的安装位。

15、在可选的实施方式中，所述左右竖向隔板设置在所述水箱主体前部空间的中部，用于能够将前上部到后上部直至水箱底部的空间隔开；

16、所述过滤组件设置在所述前后竖向隔板的下部，包括过滤组件主体、pvc压板及过滤网，所述过滤组件主体上设置有凹槽，所述过滤网安装在所述凹槽中，并通过所述pvc压板压装固定，所述pvc压板通过pvc螺丝压装固定在过滤组件主体上。

17、在可选的实施方式中，过滤组件主体的侧面设置有密封圈凹槽以及过滤密封圈，所述前后竖向隔板上设置有焊接固定板，所述过滤组件主体与所述焊接固定板组配连接。

18、在可选的实施方式中，所述前后竖向隔板的中部设置有通气孔，用于使前后空间压力相通；

19、所述水箱主体的上部设置有热电偶组件，所述热电偶组件设置在所述反应塔接口的下部；

20、所述喷嘴组件通过穿板固定，且通过横穿左右分隔空间中的圆柱条底托支撑；

21、所述穿板内部设置有密封圈，位于所述穿板上的开孔部位设置有密封圈，所述喷嘴组件通过活接头与外部的水管接头连接。

22、在可选的实施方式中，所述洗涤塔接口的下方设置有pvc材质的抽屉组件，所述抽屉组件通过所述圆柱条底托支撑；

23、所述抽屉组件包括位于底部的孔板，所述孔板上的空间用于安装水质分散填料。

24、在可选的实施方式中，所述前后竖向隔板的中部设置有排水管，所述排水管的底部延伸至前部空间的水箱底板上，且所述排水管通过穿板接头固定在所述前后竖向隔板的上部，所述穿板接头用于外接排水阀门或者排水管路，将前部空间底部的颗粒杂质进行外排。

25、在可选的实施方式中，所述立式水泵的出水口连接有循环水管路，所述循环水管路上设置有浮子流量计以及分流管路，所述分流管路用于将立式水泵输出的液体分流到所述喷嘴组件。

26、通过将循环水箱设置为前高后低的水箱主体结构，能够利于对水箱内部空间进行分区，水箱前后设置的视窗结构，便于对水箱内部的状态进行观测，同时便于维护内部配件。

27、水箱主体内部设置的前后竖向隔板，能够将水箱内部空间分成前后空间，隔板可快速安装拆卸过滤网，将水箱内部分成前部污水区以及后部净水区。

28、通过设置的多组喷嘴组件，结合每组喷嘴组件的多个喷嘴，可以有效清理废气中的粉尘及增大废气与水的接触面积。

29、本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

1.一种废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，包括前高后低的水箱主体，所述水箱主体内部高低交接的部位设置有前后竖向隔板，用于将水箱主体内部分隔为前后空间，所述前后竖向隔板上设置有过滤组件；

2.根据权利要求1所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述视窗包括位于前部的视窗板，所述水箱主体的前部设置有视窗口，所述视窗口焊接有视窗法兰，所述视窗法兰后部设置有卡钳用凹槽，位于视窗法兰的中间部位设置有定位销；

3.根据权利要求1所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述反应塔接口及所述洗涤塔接口设置在所述水箱主体的前部顶板上，均包括卡钳法兰，并通过o型圈与反应塔及洗涤塔密封连接；

4.根据权利要求1所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述水箱主体的后部设置有立式水泵，所述视窗还包括设置在后部顶板上的后部透明视窗，后部顶板上设置有水泵连接口及视窗连接口，所述立式水泵连接在水箱法兰板上，所述水箱法兰板通过紧固件与所述水泵连接口固定连接；

5.根据权利要求1所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述左右竖向隔板设置在所述水箱主体前部空间的中部，用于能够将前上部到后上部直至水箱底部的空间隔开；

6.根据权利要求1所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，过滤组件主体的侧面设置有密封圈凹槽以及过滤密封圈，所述前后竖向隔板上设置有焊接固定板，所述过滤组件主体与所述焊接固定板组配连接。

7.根据权利要求4所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述前后竖向隔板的中部设置有通气孔，用于使前后空间压力相通；

8.根据权利要求7所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述洗涤塔接口的下方设置有pvc材质的抽屉组件，所述抽屉组件通过所述圆柱条底托支撑；

9.根据权利要求7所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述前后竖向隔板的中部设置有排水管，所述排水管的底部延伸至前部空间的水箱底板上，且所述排水管通过穿板接头固定在所述前后竖向隔板的上部，所述穿板接头用于外接排水阀门或者排水管路，将前部空间底部的颗粒杂质进行外排。

10.根据权利要求7所述的废气处理用多喷嘴循环水箱，其特征在于，所述立式水泵的出水口连接有循环水管路，所述循环水管路上设置有浮子流量计以及分流管路，所述分流管路用于将立式水泵输出的液体分流到所述喷嘴组件。