一种方便搬运的光罩载具的制作方法

本技术涉及光罩载具的，尤其是涉及一种方便搬运的光罩载具。

背景技术：

1、在半导体制造领域，光罩（photomask）作为关键的光刻工具，用于将电路图案转移到晶圆上，其运输过程需严格避免污染、振动和损伤。传统的光罩载具通常采用金属或塑料外壳设计，虽然提供了基本的保护，但往往体积庞大、重量较重，导致在洁净室或生产线间搬运时不便于操作，容易增加人工成本和潜在风险。随着集成电路工艺向更精细节点发展，对光罩的精度和洁净度要求日益提升，现有的载具在便携性方面的不足已成为制约生产效率的瓶颈，因此亟需一种结构优化且便于握持或携带的光罩载具。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本实用新型的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

2、鉴于现有技术中存在以下技术问题，本实用新型提供了一种方便搬运的光罩载具，包括承载盒体、盖板组件、天车盘以及锁紧机构，所述盖板组件通过所述锁紧机构装配与所述承载盒体；所述天车盘通过连接组件可拆卸的装配于所述承载盒体，所述连接组件包括上连接组件和下连接组件，所述上连接组件包括上滑块一和上滑块二，所述下连接组件下滑道一和下滑道二，所述天车盘的两侧设有上滑块一，所述上滑块一对应的滑动连接于所述承载盒体上的所述下滑道一，所述天车盘下端远离所述盖板组件的一侧设置有上滑块二，所述上滑块二对应的滑动连接于所述承载盒体上的所述下滑道二。

3、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述下滑道一和所述下滑道二的周围设置有凸边，并且所述下滑道一的宽度从里至外呈逐渐增大。

4、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述承载盒体的两侧设置有把手，所述承载盒体的两侧设置有回字形凸块一，所述把手上设置有回字形凸块二，所述回字形凸块一匹配于所述回字形凸块二。

5、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述锁紧机构包括转轮、连接臂、锁舌组件以及s型弹性件，所述转轮可转动的设置在所述盖板组件中，所述转轮通过所述连接臂连接于所述锁舌组件，所述转轮通过所述s型弹性件连接于所述盖板组件，所述转轮上开设有两个中心对称的滑道，所述连接臂通过光轴滑动连接于所述滑道，所述光轴上配置有滑套。

6、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述盖板组件包括盖板壳体和面板，所述盖板壳体安装在所述承载盒体的开口处，所述面板和所述盖板壳体形成容纳空间，所述锁紧机构处于所述容纳空间中。

7、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述滑道中设置有缓冲件。

8、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述转轮上开设有转动孔，所述转动孔的四周设置有凸点。

9、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述连接臂上开设有连接孔，所述连接孔中配置有连接销，所述连接销固定在所述盖板壳体上。

10、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述锁舌组件包括安装轴、转动轴以及锁舌，所述转动轴固定设置在所述安装轴的上方，所述锁舌固定连接于所述转动轴。

11、作为一种方便搬运的光罩载具的优选技术方案，所述连接臂远离所述转轮的一端设置有安装槽，所述安装轴安装在所述安装槽中，所述盖板壳体上设置有支架，所述转动轴可转动的连接于所述支架，所述盖板壳体上开设有通槽，所述锁舌可穿过所述通槽锁紧于所述承载盒体上的锁扣，所述盖板壳体上远离面板的一侧设置有凹陷处，所述凹陷的两侧设置有两组长条凸起，每个所述长条凸起上设置有若干压点凸起，所述压点凸起呈菱形状。

12、本实用新型通过设置天车盘与承载盒体之间的可拆卸连接结构，使得天车盘能够快速装配或拆卸，提升了使用过程中的灵活性和便利性；上滑块与下滑道的滑动配合结合凸边及逐渐增大的滑道宽度设计，不仅保证了导向与限位功能，还能有效降低装配难度，避免错位，提高安装的稳定性；承载盒体两侧的把手与回字形凸块的匹配设计，使搬运过程中握持更加稳固，不易滑脱，同时增强了承载盒体与把手之间的连接牢靠性，从而整体上实现了操作便捷、搬运安全、装配可靠的有益效果。

1.一种方便搬运的光罩载具，其特征在于，包括承载盒体、盖板组件、天车盘以及锁紧机构，所述盖板组件通过所述锁紧机构装配与所述承载盒体；所述天车盘通过连接组件可拆卸的装配于所述承载盒体，所述连接组件包括上连接组件和下连接组件，所述上连接组件包括上滑块一和上滑块二，所述下连接组件下滑道一和下滑道二，所述天车盘的两侧设有上滑块一，所述上滑块一对应的滑动连接于所述承载盒体上的所述下滑道一，所述天车盘下端远离所述盖板组件的一侧设置有上滑块二，所述上滑块二对应的滑动连接于所述承载盒体上的所述下滑道二。

2.根据权利要求1所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述下滑道一和所述下滑道二的周围设置有凸边，并且所述下滑道一的宽度从里至外呈逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述承载盒体的两侧设置有把手，所述承载盒体的两侧设置有回字形凸块一，所述把手上设置有回字形凸块二，所述回字形凸块一匹配于所述回字形凸块二。

4.根据权利要求1所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述锁紧机构包括转轮、连接臂、锁舌组件以及s型弹性件，所述转轮可转动的设置在所述盖板组件中，所述转轮通过所述连接臂连接于所述锁舌组件，所述转轮通过所述s型弹性件连接于所述盖板组件，所述转轮上开设有两个中心对称的滑道，所述连接臂通过光轴滑动连接于所述滑道，所述光轴上配置有滑套。

5.根据权利要求4所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述盖板组件包括盖板壳体和面板，所述盖板壳体安装在所述承载盒体的开口处，所述面板和所述盖板壳体形成容纳空间，所述锁紧机构处于所述容纳空间中。

6.根据权利要求5所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述滑道中设置有缓冲件。

7.根据权利要求6所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述转轮上开设有转动孔，所述转动孔的四周设置有凸点。

8.根据权利要求7所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述连接臂上开设有连接孔，所述连接孔中配置有连接销，所述连接销固定在所述盖板壳体上。

9.根据权利要求8所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述锁舌组件包括安装轴、转动轴以及锁舌，所述转动轴固定设置在所述安装轴的上方，所述锁舌固定连接于所述转动轴。

10.根据权利要求9所述的方便搬运的光罩载具，其特征在于，所述连接臂远离所述转轮的一端设置有安装槽，所述安装轴安装在所述安装槽中，所述盖板壳体上设置有支架，所述转动轴可转动的连接于所述支架，所述盖板壳体上开设有通槽，所述锁舌可穿过所述通槽锁紧于所述承载盒体上的锁扣，所述盖板壳体上远离面板的一侧设置有凹陷处，所述凹陷的两侧设置有两组长条凸起，每个所述长条凸起上设置有若干压点凸起，所述压点凸起呈菱形状。