一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置的制作方法

本技术涉及搬运掩模版的传送装置，具体为一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置。

背景技术：

1、光罩版盒是用于存储和转运光刻核心精密部件“光罩版”的密封防护容器，核心作用是在光罩版的仓储、机台装卸及转运过程中，隔绝灰尘、微粒等污染物，避免光罩版表面纳米级图案受到刮伤、碰撞或环境侵蚀，同时配合设备定位结构确保光罩版精准安装，是保障光刻工艺精度、防止光罩版损坏的关键防护载体。光罩版盒通常安装在光刻机的光罩版槽内。

2、未加装防呆装置的光刻机会有操作错误的风险，机台unload光罩时取走光罩盒导致光罩scratch or damage。

3、为此，需要给出解决方案。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

5、一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，包括机台、挡板、光罩版槽、光罩版盒、限位机构和控制机构，所述挡板设置在所述机台上，所述光罩版槽内凹设置在所述机台的顶部的前端，所述光罩版盒设置在所述光罩版槽的内部，所述限位机构设置在所述机台的内部，所述控制机构设置在所述机台和光罩版槽上；

6、所述限位机构包括转槽、步进电机、转轴、连接板、限位板、限位槽和插条，所述转槽左右对立内凹设置在所述光罩版槽的底部，所述步进电机设置在每个所述转槽的前端且位于所述机台的前端，所述转轴设置在每个所述步进电机的后端且位于所述转槽的内部，所述连接板设置在每个所述转轴的上下左右四个方向，所述限位板设置在每个所述连接板远离所述转轴的一端，所述限位槽设置在每个所述限位板的外端，所述插条对应每个位于顶部的所述限位槽的位置设置在所述光罩版盒的底部。

7、优选的，所述转轴、连接板和限位板一体成型，所述插条和所述光罩版盒一体成型，周向的每个所述限位槽的宽度不一。

8、优选的，所述控制机构包括伸缩槽、气缸、限位块、触碰传感器、控制面板、黄灯和绿灯，所述伸缩槽对立内凹设置在所述光罩版槽的左右两端，所述气缸设置在每个所述伸缩槽的里端，所述限位块设置在每个所述气缸的输出端，所述触碰传感器设置在所述光罩版槽的后端，所述控制面板设置在所述光罩版槽的前端的底部，所述黄灯和绿灯分别呈左右结构设置在所述控制面板上。

9、优选的，所述伸缩槽呈矩形结构均位于所述光罩版槽的前后方向的中部，所述限位块呈长方体结构。

10、(三)有益效果

11、本实用新型提供了一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置。具备以下有益效果：

12、1.通过限位槽与插条的契合设计及灯光状态联动，实现机械+信号双重防呆，杜绝操作失误导致的光罩版损伤。

13、2.底部插条-限位槽咬合与顶部气缸-限位块固定的双重结构，大幅提升光罩版盒稳定性，防止脱落或盒盖弹出。

14、3.控制面板操控便捷，灯光信号直观指引，降低操作门槛，提升光刻工艺效率与可靠性。

15、4.步进电机可调整限位槽朝向，适配不同规格光罩版盒，减少适配成本与维护难度。

1.一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，其特征在于：包括机台(1)、挡板(2)、光罩版槽(3)、光罩版盒(4)、限位机构(5)和控制机构(6)，所述挡板(2)设置在所述机台(1)上，所述光罩版槽(3)内凹设置在所述机台(1)的顶部的前端，所述光罩版盒(4)设置在所述光罩版槽(3)的内部，所述限位机构(5)设置在所述机台(1)的内部，所述控制机构(6)设置在所述机台(1)和光罩版槽(3)上；

2.根据权利要求1所述的一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，其特征在于：所述转轴(53)、连接板(54)和限位板(55)一体成型，所述插条(57)和所述光罩版盒(4)一体成型，周向的每个所述限位槽(56)的宽度不一。

3.根据权利要求2所述的一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，其特征在于：所述控制机构(6)包括伸缩槽(61)、气缸(62)、限位块(63)、触碰传感器(64)、控制面板(65)、黄灯(66)和绿灯(67)，所述伸缩槽(61)对立内凹设置在所述光罩版槽(3)的左右两端，所述气缸(62)设置在每个所述伸缩槽(61)的里端，所述限位块(63)设置在每个所述气缸(62)的输出端，所述触碰传感器(64)设置在所述光罩版槽(3)的后端，所述控制面板(65)设置在所述光罩版槽(3)的前端的底部，所述黄灯(66)和绿灯(67)分别呈左右结构设置在所述控制面板(65)上。

4.根据权利要求3所述的一种可以防止光罩版槽脱落的外加防呆装置，其特征在于：所述伸缩槽(61)呈矩形结构均位于所述光罩版槽(3)的前后方向的中部，所述限位块(63)呈长方体结构。