掩模组件以及用于制造显示装置和电子设备的方法与流程

实施例涉及掩模组件、用于制造显示装置的方法和用于制造电子设备的方法，并且更具体地，涉及可以改善沉积质量的掩模组件、用于制造显示装置的方法和用于制造电子设备的方法。

背景技术：

1、近来，电子设备被广泛使用。电子设备以各种形式（诸如移动电子设备和固定电子设备）被利用，并且这些电子设备包括可以向用户提供诸如图像或视频的视觉信息以支持各种功能的显示装置。

2、显示装置视觉地显示数据，并且通过沉积诸如有机层、无机层和金属层的各种层来形成。沉积材料可以被沉积在显示基板上以形成显示装置的多个层。也就是说，沉积材料可以从沉积源喷射，并且通过掩模组件沉积在显示基板上。

技术实现思路

1、在形成多个层时，期望防止阴影现象，以改善沉积质量。

2、实施例可以提供可以改善沉积质量的掩模组件、用于制造显示装置的方法和用于制造电子设备的方法。

3、然而，这仅是例示性实施例，并且本公开的范围不限于此。

4、另外的特征将部分地在接下来的描述中阐述，并且部分地将从该描述显而易见，或者可以通过实践本公开的呈现的实施例而得知。

5、在本公开的实施例中，一种掩模组件包括：掩模片，多个沉积孔限定在所述掩模片中；以及掩模框架，支撑所述掩模片，其中所述多个沉积孔中的每个包括主孔以及从所述主孔径向向外地限定的副孔。

6、在一实施例中，所述副孔可以被设置以围绕所述主孔的周边。

7、在一实施例中，所述副孔可以提供为多个副孔，并且所述多个副孔可以沿着所述主孔的周边间隔开。

8、在一实施例中，所述主孔可以具有多边形形状，所述多个副孔的数量可以提供为与所述多边形的边缘的数量对应，并且所述多个副孔可以被设置以分别面对所述多边形的所述边缘。

9、在一实施例中，所述主孔可以具有圆形形状，并且所述副孔可以具有分段环形形状。

10、在一实施例中，所述副孔可以提供为多个副孔，并且所述多个副孔可以包括限定为围绕所述主孔的第一副孔以及限定在所述第一副孔外部以围绕所述第一副孔的第二副孔。

11、在一实施例中，所述主孔的径向宽度可以大于所述副孔的径向宽度。

12、在一实施例中，从所述主孔的周边到所述副孔的内周边的距离可以小于所述副孔的径向宽度。

13、在本公开的实施例中，一种用于制造显示装置的方法，包括：设置显示基板和沉积源以彼此面对；将掩模组件设置在所述显示基板与所述沉积源之间；以及将沉积材料从所述沉积源通过所述掩模组件的沉积孔沉积在所述显示基板上的沉积区域中，其中所述沉积孔被设置以与所述沉积区域对应并且包括主孔以及从所述主孔径向向外地限定的副孔，并且在平面图中，所述主孔和所述副孔设置在所述沉积区域内。

14、在一实施例中，所述将所述沉积材料沉积在所述显示基板上的所述沉积区域中可以包括通过在所述沉积区域中沉积所述沉积材料来形成子像素的发射层。

15、在一实施例中，所述子像素的所述发射层可以通过将穿过所述主孔和所述副孔的所述沉积材料沉积在所述沉积区域中来形成。

16、在一实施例中，所述显示基板可以包括设置在所述子像素的所述发射层下方的像素电极，并且所述主孔的尺寸可以与所述像素电极的暴露部分的尺寸相同。

17、在一实施例中，所述将所述掩模组件设置在所述显示基板与所述沉积源之间可以包括将所述副孔的外周边设置为与所述沉积区域的周边重叠。

18、在一实施例中，所述将所述掩模组件设置在所述显示基板与所述沉积源之间可以包括将所述副孔的外周边设置为与所述沉积区域的周边向内隔开。

19、在一实施例中，所述副孔可以被设置以围绕所述主孔的周边。

20、在一实施例中，可以提供多个副孔，并且所述多个副孔可以沿着所述主孔的周边间隔开。

21、在一实施例中，所述主孔可以具有多边形形状，所述多个副孔的数量可以提供为与所述多边形的边缘的数量对应，并且所述多个副孔中的每个可以被设置以面对所述多边形的所述边缘中的每个。

22、在一实施例中，所述主孔可以具有圆形形状，并且所述副孔可以具有分段环形形状。

23、在一实施例中，所述多个副孔可以包括限定为围绕所述主孔的第一副孔以及限定在所述第一副孔外部以围绕所述第一副孔的第二副孔。

24、在本公开的实施例中，一种用于制造电子设备的方法，包括：设置显示基板和沉积源以彼此面对；将掩模组件设置在所述显示基板与所述沉积源之间；以及将沉积材料从所述沉积源通过所述掩模组件的沉积孔沉积在所述显示基板上的沉积区域中，其中所述沉积孔被设置以与所述沉积区域对应并且包括主孔以及从所述主孔径向向外地限定的副孔，并且在平面图中，所述主孔和所述副孔设置在所述沉积区域内。

25、不同于上述那些特征和优点的其它特征和优点将从以下详细描述、权利要求书和附图而变得显而易见。

1.一种掩模组件，包括：

2.根据权利要求1所述的掩模组件，

3.根据权利要求1所述的掩模组件，

4.根据权利要求3所述的掩模组件，

5.根据权利要求3所述的掩模组件，

6.根据权利要求2所述的掩模组件，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的掩模组件，

8.根据权利要求1至4中任一项所述的掩模组件，

9.一种用于制造显示装置的方法，所述方法包括：

10.根据权利要求9所述的方法，

11.根据权利要求10所述的方法，

12.根据权利要求11所述的方法，

13.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，

14.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，

15.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，

16.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，

17.根据权利要求16所述的方法，

18.根据权利要求16所述的方法，

19.根据权利要求16所述的方法，

20.一种用于制造电子设备的方法，所述方法包括：