一种半导体镀膜用遮挡装置的制作方法

本技术涉及半导体镀膜，尤其涉及一种半导体镀膜用遮挡装置。

背景技术：

1、在半导体器件制造过程中，镀膜工艺是实现器件电学性能、光学性能与稳定性的关键环节，其核心要求是在晶圆表面特定区域精准沉积薄膜，同时避免非目标区域被镀膜材料污染；

2、传统遮挡装置多采用单一压环或边缘夹持结构固定晶圆，压环固定易因压力不均导致晶圆形变，尤其对薄型晶圆损伤风险高；因此，需要对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体镀膜用遮挡装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种半导体镀膜用遮挡装置，包括矩形盒，所述矩形盒一端面开口并插设有抽屉，所述矩形盒顶面中部放置有晶圆，所述矩形盒顶面开有与晶圆同轴的通孔，所述矩形盒顶面固接有与晶圆同轴的固定外环，所述固定外环内壁上安装有用于固定晶圆底面边缘的固定组件，所述抽屉顶面开有与通孔同轴的对接孔，所述抽屉底面位于对接孔处开有一圈环槽，所述环槽内壁周侧等距开有多条朝向环槽轴心倾斜的限位槽，所述环槽顶面抵接设有挡片，所述挡片顶面中部均匀开有多个用于镀膜的通槽。

3、优选地，所述限位槽顶面一处均设有定位柱，所述挡片顶面抵接设有限位环，所述限位环外壁周侧固接有与限位槽对应的限位板，所述限位板上开有对接定位柱的定位孔。

4、优选地，所述抽屉一端对称开有两个伸缩槽，两个所述伸缩槽内设有弹簧伸缩杆，所述弹簧伸缩杆伸缩端抵接矩形盒内壁，所述抽屉远离弹簧伸缩杆的一侧端设有卡块，所述矩形盒内壁开有对应卡块的卡槽。

5、优选地，所述矩形盒外壁位于卡槽上端开有复位槽，所述复位槽内设有复位弹簧，所述复位弹簧一端固接有滑移设置在复位槽内的推杆，所述推杆一端伸出复位槽并固接有复位块，所述矩形盒外壁开有连通卡槽的连接槽，所述复位块一端部分块身伸入连接槽内。

6、优选地，所述固定组件包括转动内环，所述转动内环内壁周侧等距开有多个斜通槽，所述斜通槽内活动设有挡块，所述转动内环与固定外环之间设有安装环，所述安装环与转动内环相对面上开一圈安装槽，所述挡块顶面一端穿设有转轴，所述转轴固接在安装槽内。

7、优选地，所述转动内环外壁一处固接有把手，所述把手一侧固接有弧形伸缩杆，所述弧形伸缩杆的固定端固接有位于安装槽内的固定块，所述把手一端依次伸出安装环与固定外环的外壁，所述安装环与固定外环位于把手处均开有滑移槽。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过固定外环内壁的固定组件中转动内环与安装环配合，在转动内环的斜通槽内活动设有挡块，挡块通过转轴与安装环的安装槽连接，转动内环转动时可推动挡块沿斜通槽移动，便于根据晶圆尺寸调节挡块的抵接位置，提高了挡块对不同规格晶圆的适配性，进而能够实现对平放晶圆底面边缘的精准抵接支撑；再通过转动内环外壁的把手与弧形伸缩杆配合，弧形伸缩杆固定端连接固定块，转动把手后弧形伸缩杆可固定转动内环位置，便于锁定挡块的抵接状态，提高了晶圆放置的稳定性，进而能够避免传统压环压力不均对晶圆的挤压；最终解决了传统遮挡装置采用单一压环或边缘夹持固定晶圆易导致晶圆形变、对薄型晶圆损伤风险高的问题，提高了晶圆放置的可靠性与对薄型晶圆的保护效果。

1.一种半导体镀膜用遮挡装置‌，包括矩形盒（1），其特征在于：所述矩形盒（1）一端面开口并插设有抽屉（2），所述矩形盒（1）顶面中部放置有晶圆，所述矩形盒（1）顶面开有与晶圆同轴的通孔，所述矩形盒（1）顶面固接有与晶圆同轴的固定外环（3），所述固定外环（3）内壁上安装有用于固定晶圆底面边缘的固定组件，所述抽屉（2）顶面开有与通孔同轴的对接孔，所述抽屉（2）底面位于对接孔处开有一圈环槽，所述环槽内壁周侧等距开有多条朝向环槽轴心倾斜的限位槽，所述环槽顶面抵接设有挡片（8），所述挡片（8）顶面中部均匀开有多个用于镀膜的通槽。

2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜用遮挡装置，其特征在于：所述限位槽顶面一处均设有定位柱（10），所述挡片（8）顶面抵接设有限位环，所述限位环外壁周侧固接有与限位槽对应的限位板，所述限位板上开有对接定位柱（10）的定位孔。

3.根据权利要求2所述的一种半导体镀膜用遮挡装置‌，其特征在于：所述抽屉（2）一端对称开有两个伸缩槽，两个所述伸缩槽内设有弹簧伸缩杆（11），所述弹簧伸缩杆（11）伸缩端抵接矩形盒（1）内壁，所述抽屉（2）远离弹簧伸缩杆（11）的一侧端设有卡块，所述矩形盒（1）内壁开有对应卡块的卡槽。

4.根据权利要求3所述的一种半导体镀膜用遮挡装置‌，其特征在于：所述矩形盒（1）外壁位于卡槽上端开有复位槽，所述复位槽内设有复位弹簧（9），所述复位弹簧（9）一端固接有滑移设置在复位槽内的推杆，所述推杆一端伸出复位槽并固接有复位块（12），所述矩形盒（1）外壁开有连通卡槽的连接槽，所述复位块（12）一端部分块身伸入连接槽内。

5.根据权利要求4所述的一种半导体镀膜用遮挡装置‌，其特征在于：所述固定组件包括转动内环，所述转动内环内壁周侧等距开有多个斜通槽，所述斜通槽内活动设有挡块（4），所述转动内环与固定外环（3）之间设有安装环，所述安装环与转动内环相对面上开一圈安装槽，所述挡块（4）顶面一端穿设有转轴，所述转轴固接在安装槽内。

6.根据权利要求5所述的一种半导体镀膜用遮挡装置‌，其特征在于：所述转动内环外壁一侧固接有把手（7），所述把手（7）一侧固接有弧形伸缩杆（6），所述弧形伸缩杆（6）的固定端固接有位于安装槽内的固定块（5），所述把手（7）一端依次伸出安装环与固定外环（3）的外壁，所述安装环与固定外环（3）位于把手（7）处均开有滑移槽。